Використання суміші газів (C2H2+N2) для отримання надтвердих карбонітридних покриттів на основі молібдену
| Автори | В.М. Береснєв1 , О.В. Соболь2 , О.Д. Погребняк3 , С.В. Литовченко1 , А.А. Мейлєхов2, У.С. Немченко1 , В.А. Столбовий4, Н.С. Євтушенко1 , Д.А. Колесников5, М.Г. Ковалева5, . , З.М. Проценко7, І.В. Дощечкінa8 |
| Афіліація | 1 Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, пл. Свободи 4, 61000 Харків, Україна 2 Національний технічний університет «Харківський Політехнічний Інститут», вул. Кирпичова 21, 61000 Харків, Україна 3 Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна 4 Національний научний центр «Харківський фізико-технічний інститут», вул. Академічна, 1, 61108 Харків, Україна 5 Белгородський національний дослідницький університет, вул. Побєди, 85, 308015, Белгород, Росія 6 Науковий центр фізики і технологій МОН і НАН України, пл. Свободи, 6, 61022 Харків, Україна 7 Сумський державний педагогічний університет ім. А.С. Макаренка, вул. Роменська, 87, 40001 Суми, Україна 8 Харківський національний автотранспортний університет, вул. Я. Мудрого, 25, 61200 Харків, Україна |
| Е-mail | |
| Випуск | Том 9, Рік 2017, Номер 5 |
| Дати | Одержано 12.07.2017, у відредагованій формі - 13.09.2017, опубліковано online - 16.10.2017 |
| Цитування | В.М. Береснєв, О.В. Соболь, О.Д. Погребняк, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 9 № 5, 05043 (2017) |
| DOI | 10.21272/jnep.9(5).05043 |
| PACS Number(s) | 52.77.Dq, 81.07.Bc, 61.82.Rx |
| Ключові слова | Газова суміш, Вакуумно-дугове випаровування, Елементний склад (9) , Тиск (30) , Фазовий склад (33) , Структура (223) , Нанокристаліти (3) , Надтвердий стан (2) , Скретч-тестирование. |
| Анотація | Вивчено вплив робочого тиску та співвідношення компонент суміші газів (C2H2+N2) на елементний і фазовий склад, структуру та фізико-механічні характеристики вакуумно-дугових покриттів на основі вольфраму. Показано, що для високотемпературного застосування нітриди гірші порівняно з карбідами. В температурному інтервалі осадження 400-550 °С в результаті плазмо-хімічних реакцій при складі газової атмосфери 80% C2H2+20% N2 максимальний вміст атомів азота в покритті не перевищує 1,5 ат.%. Для суміші 40% C2H2+60 %N2 максимальне співвідношення N/C (в ат.%) зростає до 10,5 % при максимальному тиску 310 – 3 Торр. Відносний вміст атомів азоту збільшується з підвищенням тиску суміші. Плазмово-хімічні реакції при осадженні в суміші газів призводять до формування фаз з нанометровим розміром кристалітів і фазовим складом на основі -MoC (80% C2H2+20% N2) і фаз -MoC и -Mo2N (при меншому вмісті C2H2 (40% C2H2+60% N2) в газовій суміші. Установлено, що визначальним фактором підвищенням твердості є робочий тиск суміші газів при осадженні. При найбільшому тиску 310 – 3 Торр, коли формується текстура [100] нанокристалітів карбиду молибдена (-MoC) досягається надтвердий стан з твердістю 50,5 ГПа. |
|
Перелік цитувань English version of article |
Інші статті цього номера
1) Електрохімічні властивості системи нанопористий вуглець/апротонний електроліт [05001-1-05001-5]2) Numerical Simulation and Mathematical Modeling of 3D DG SOI MOSFET with the Influence of Biasing with Back Gate [05002-1-05002-4]
3) Simulation and Performance Analysis of 32 nm FinFet based 4-Bit Carry Look Adder [05003-1-05003-4]
4) Кінетичні явища та термоелектричні властивості полікристалічних тонких плівок на основі сполук PbSnAgTe [05004-1-05004-6]
5) Структурно-фазові та електрофізичні властивості нанокомпозитів на базі системи «скло -Ni3B», отриманих відпалюваннямям електронним пучком [05005-1-05005-4]
6) Вплив морфології поверхні та особливостей структурної орієнтації парофазних конденсатів SnTe:1%Sb на їх термоелектричні параметри [05006-1-05006-4]
7) Optimisation of Doped Antimony Sulphide (Sb2S3) Thin Films for Enhanced Device Applications [05007-1-05007-4]
8) Вплив поверхневого легування на адсорбційну здатність нанопорошкових металооксидів для сенсорів газів [05008-1-05008-5]
9) Structural and Dielectric Characterization of Sm2MgMnO6 [05009-1-05009-5]
10) Вольтамперометричний аналіз фазового складу тонких плівок Zn-Ni, електроосаджених зі слабколужного полілігандного електроліту [05010-1-05010-7]
11) Tемпературна залежність провідності спряжених полімерів, легованих карбоновими нанотрубками [05011-1-05011-5]
12) Теорія міжзонного оптичного поглинання в квантових ямах на основі об’ємних матеріалів з анізотропними непараболічними зонами [05012-1-05012-8]
13) Superconductivity and Kondo Effect of PdxBi2Se3 Whiskers at Low Temperatures [05013-1-05013-5]
14) Електродинамічні характеристики кераміки на основі системи SrO – Al2O3 – SiO2 [05014-1-05014-5]
15) High-performance Monte Carlo Simulation of Multilayer Magnetic Films [05015-1-05015-4]
16) Морфологія поверхні тонких плівок CdTe отриманих методом відкритого випаровування у вакуумі [05016-1-05016-5]
17) Бічні планарні діодні переходи на листі графену з різними областями функціоналізації [05017-1-05017-8]
18) Вплив заміщення на механізм провідності ультрадисперсних літій-залізних шпінелей, заміщених іонами магнію [05018-1-05018-6]
19) Спектрально-люмінесцентні властивості титано-марганцевих оксидів [05019-1-05019-7]
20) Processes of Nucleation of Amorphous As-S Films at Condensation on Carbon Substrates [05020-1-05020-5]
21) Особливості мікроструктури та перколяційна поведінка поліпропіленгліколю, наповненого багатошаровими вуглецевими нанотрубками [05021-1-05021-6]
22) Термоелектричні властивості наноструктурованих матеріалів на основі телуриду свинцю [05022-1-05022-7]
23) Електронні стани на нерівній поверхні GaAs (100), створеній поверхневою акустичною хвилею та адсорбованими атомами [05023-1-05023-7]
24) Синтез, люмінесцентні та структурні властивості нанокристалів Cd1 – xCuxS і Cd1 xZnxS [05024-1-05024-6]
25) Спектроскопічні еліпсометричні дослідження та температурна поведінка діелектричних функцій шаруватого кристалу TlInS2 [05025-1-05025-6]
26) Отримання та оптичні властивості підкладинок з поверхневою наноструктурою [05026-1-05026-5]
27) Anisotropic Electrical Properties of a Square Superlattice [05027-1-05027-4]
28) Structural and Optoelectronic Properties of Nanocrystalline CdTe Thin Films Synthesized by Using SILAR Technique [05028-1-05028-4]
29) Вплив заміщення йонами Cd2+ на магнітні властивості Ni-Cd феритів [05029-1-05029-5]
30) Розмірний ефект у наночастинках триметилсилільованого кремнезему [05030-1-05030-5]
31) Видима люмінесценція ІnGaN/GaN cвітлодіодів ультрафіолетового випромінювання 365 нм [05031-1-05031-5]
32) Методичні засади вивчення питань нанотехнологій у курсі загальної фізики вищих навчальних закладів [05032-1-05032-8]
33) Оптичні явища і процеси, індуковані ультракороткими лазерними імпульсами в халькогенідних та халькогалоїдних склоподібних напівпровідниках [05033-1-05033-5]
34) Ріст поверхневих мікро- і наноструктур у процесі профілювання вглиб кристалів PbTe плазмою Ar [05034-1-05034-7]
35) Структура та оптичні властивості тонких плівок CdS та CdTe для сонячних елементів на гнучких підкладках, отриманих магнетронним розпиленням на постійному струмі [05035-1-05035-6]
36) The Structure of Mn and Co Nanoparticles Obtained in Direct Surfactant Micelles [05036-1-05036-4]
37) Вплив методів визначення параметрів бар'єрного переходу на їх точність [05037-1-05037-5]
38) Вплив товщини шарів MoNх/CrNy у багатошаровому покриті і азотування на структурні і механічні характеристики [05038-1-05038-4]
39) Вплив гідростатичного тиску на електронну структуру кристала NiMnAs [05039-1-05039-6]
40) Структура та електропровідність полімерних композиційних матеріалів,сформованих у магнітному полі [05040-1-05040-5]
41) Математичне моделювання фізичних процесів перетворення електромагнітного поля в поле пружних коливань в мікротовщинних шарах металів [05041-1-05041-7]
42) Estimation of the Dihedral Angle Between Metal Nanoparticles During Their Coalescence [05042-1-05042-4]
43) Розподіл щільності станів для визначення фотопровідності a-Si:H [05044-1-05044-4]
44) Titanium Carbide Obtained by Magnetron Sputtering of Graphite on Heated Titanium Substrate [05045-1-05045-3]
45) Отримання та люмінесцентні властивості гетерошарів α-ZnSe з поверхневою наноструктурою [05046-1-05046-3]
46) Вплив термічного відпалу на оптичні властивості плівок телуриду кадмію [05047-1-05047-3]
47) Synthesis and Characterization of a New Aluminum Complex bis (8-hydroxy quinoline) (1-10 phenanthroline) Aluminum Al (Phen)q2 [05048-1-05048-3]
48) Defects in Graphene Nanoribbons and Flakes: Influence on the Conductivity [05049-1-05049-3]
