Автори | Я.І. Лепіх , Т.І. Лавренова, Н.М. Садова |
Афіліація | Міжвідомчий науково-навчальний фізико-технічний центр МОН і НАН України при Одеському національному університеті імені І.І. Мечникова, вул. Дворянська, 2, 06582 Одеса, Україна |
Е-mail | ndl_lepikh@onu.edu.ua |
Випуск | Том 9, Рік 2017, Номер 5 |
Дати | Одержано 24.08.2017, опубліковано online - 16.10.2017 |
Цитування | Я.І. Лепіх, Т.І. Лавренова, Н.М. Садова, Ж. нано- електрон. фіз. 9 № 5, 05005 (2017) |
DOI | 10.21272/jnep.9(5).05005 |
PACS Number(s) | 60.61 |
Ключові слова | Матеріали для плівкових елементів гібридних інтегральних схем, Структурно-фазові та електрофізичні властивості. |
Анотація | В роботі досліджено можливість заміни провідників на основі дорогоцінних рутенієвих, срібло – паладієвих та золотих матеріалів в товстоплівкових елементах гібридних інтегральних схем провідниками на основі бориду нікелю. Досліджено структурно-фазові та електрофізичні властивості плівкових провідникових елементів на основі Ni3B, отриманих при відпалюванні за допомогою електронного пучка (ЕП) і в печі. Встановлено, що функціональні матеріали на основі Ni3В достатньо стабільні при радіаційно-термічній дії і можуть бути використані при виготовленні провідникових паст. Провідникові елементи на основі нікелю, які відпалені за допомогою ЕП, за своїми електрофізичними параметрами не поступаються провідникам на основі сполук рутенію, срібла-паладію, витримуючи багатократне випалення без погіршення властивостей. |
Перелік цитувань |