Вплив розміру зерна на деформацію в наноплівці оксиду міді для застосувань у газовій сенсориці

Автори Divya Aparna Narava, S.K. Tripathy, Sanjay Kumar
Приналежність

Gayatri Vidya Parishad College of Engineering (Autonomous), Madhurawada, Visakhapatanam, A.P., India

Е-mail
Випуск Том 11, Рік 2019, Номер 5
Дати Одержано 05 липня 2019; у відредагованій формі 20 жовтня 2019; опубліковано online 25 жовтня 2019
Посилання Divya Aparna Narava, S.K. Tripathy, Sanjay Kumar, Ж. нано- електрон. фіз. 11 № 5, 05040 (2019)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.11(5).05040
PACS Number(s) 68.37.Hk, 68.55.–a, 78.40.–q
Ключові слова Заборонена зона (19) , Теплове випаровування, Рентгенівська дифракція (21) , Пропускні та оптичні характеристики.
Анотація

У дослідженні наноплівка оксиду міді синтезується на скляній підкладці методом термічного випаровування для застосувань у газовій сенсориці. Під час осадження відстань між джерелом та підкладкою підтримується постійною, а тиск у камері становить 1,010 – 4 Тор. Швидкість осадження коливається від 6 до 10 Å/с. Товщина плівки підтримується постійною на рівні 150 нм. Плівку піддавали термічній обробці при різній температурі та протягом різного часового інтервалу, щоб отримати оптимальний результат. Структурне дослідження проводиться за допомогою формули Дебая-Шеррера. Рентгенодифракційний аналіз виявляє, що деформація збільшується зі зменшенням розміру зерна, що корисно для вивчення зондування різних газів.

Перелік посилань