Електричні властивості нанокристалів поруватого кремнію в діелектричній матриці

Автори I. Оленич1, I. Гірник1, L. Orovcík2
Афіліація

1Львівський національний університет імені Івана Франка, вул. Драгоманова, 50, 79005 Львів, Україна

2Institute of Materials and Machine Mechanics Slovak Academy of Sciences, Dubravska cesta 9, 845 13 Bratislava, Slovak Republic

Е-mail iolenych@gmail.com
Випуск Том 11, Рік 2019, Номер 5
Дати Одержано 07 червня 2019; у відредагованій формі 20 жовтня 2019; опубліковано online 25 жовтня 2019
Цитування I. Оленич, I. Гірник, L. Orovcík, Ж. нано- електрон. фіз. 11 № 5, 05016 (2019)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.11(5).05016
PACS Number(s) 73.63.–b, 81.07.–b
Ключові слова Поруватий кремній (21) , Електропровідність (32) , Імпеданс (22) , Енергія активації (12) , Термостимульована деполяризація (4) , Рівні захоплення (2) .
Анотація

У роботі отримано нанокристали поруватого кремнію в епоксидній матриці. Отримані фотоелектрохімічним травленням монокристалічних пластин з кристалографічними орієнтаціями [100] та [111] шари поруватого кремнію відокремлювали від кремнієвої підкладки за допомогою епоксидної смоли. Системи на основі наночастинок поруватого кремнію характеризувалися скануючою електронною мікроскопією. Розмір кремнієвих нанокристалів у перерізі становив від одиниць до декількох десятків нанометрів. На основі комплексних досліджень методами імпедансної та термоактиваційної спектроскопії досліджено процеси перенесення та релаксації нерівноважних носіїв заряду. Побудовано імпедансну модель отриманих наносистем і визначено її електричні параметри. Внутрішній опір відокремлених нанокристалів поруватого кремнію становив понад 10 ГОм і на декілька порядків перевищував типовий опір поруватого шару на кремнієвій підкладці. Встановлено активаційний механізм перенесення зарядів у температурному діапазоні 270-350 К та визначено енергію активації електропровідності. На основі спектрів термостимульованої деполяризації виявлено локалізовані електронні стани, які впливають на перенесення зарядів у наносистемах поруватого кремнію. Розрахований енергетичний розподіл густини заповнення станів володіє максимумом у діапазоні 0,45-0,6 еВ. Виявлені рівні захоплення нерівноважних носіїв заряду ймовірно пов'язані з електрично активними дефектами на межі розділу між нанокристалами кремнію та епоксидною смолою.

Перелік цитувань