Високовакуумний насос орбітронного типу: електрофізичні принципи роботи та особливості конструкції
| Автори | В.Б. Лобода1 , J.Q. Ren1,2, M.Я. Довжик1, С.М. Хурсенко1 , M.C. Liang2 |
| Афіліація |
1 Сумський національний аграрний університет, Суми 40021, Україна 2 Henan Institute of Science and Technology, 453003 Xinxiang, China |
| Е-mail | loboda-v@i.ua |
| Випуск | Том 11, Рік 2019, Номер 5 |
| Дати | Одержано 27 квітня 2019; у відредагованій формі 08 жовтня 2019; опубліковано online 25 жовтня 2019 |
| Цитування | В.Б. Лобода, J.Q. Ren, M.Я. Довжик, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 11 № 5, 05010 (2019) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.11(5).05010 |
| PACS Number(s) | 07.30.Cy |
| Ключові слова | Надвисокий безмасляний вакуум, Орбітронний гетерно-іонний вакуумний насос, Мас-спектр залишкової атмосфери. |
| Анотація |
У статті представлені результати досліджень роботи орбітронного гетерно-іонного вакуумного насоса (ОГІН) з азотною кріопанеллю. У роботі наведено розраховані середні значення питомих швидкостей відкачування різних газів плівкою титану. Особливістю ОГІН є те, що в ньому електрони емітовані термокатодом використовуються як для розігріву і сублімації Ті, так і для іонізації газових молекул. Активні гази відкачуються завдяки хемосорбції неперервно відновлюваної титанової плівки, інертні гази – внаслідок іонізації їх атомів електронами, що рухаються в порожнині насоса, подальшого прискореного руху утворених іонів до стінки корпусу насоса їх імплантацією в титанову плівку й „замуровуванням” у ній атомів Ті, що осідають. Тими ж прискореними електронами іонізується і певна частина молекул активних газів та молекули важких вуглеводнів, які також сорбуються титановою плівкою. У статті також описані констру-ктивні особливості ОГІН та режими його роботи. За допомогою мас-спектрометра МХ7304А вивчений склад залишкової атмосфери вакуумної камери при її відкачуванні до надвисокого вакууму у залежності від режимів роботи ОГІН. Установлено, що основною особливістю мас-спектрів залишкової атмосфери вакуумної камери при її відкачуванні ОГІН є повна відсутність у мас-спектрах піків з М > 44 а.о.м. (молекул важких вуглеводнів). Основною складовою залишкової атмосфери при водяному охолодженні ОГІН є метан СН4, кількість якого і визначає граничний вакуум у камері. При використанні азотної кріопанелі основною складовою залишкової атмосфери є водяна пара Н2О. Зроблено висновок, що зконструйований ОГІН з азотною кріопанеллю є ефективним відкачуючим засобом для створення надвисокого безмасляно-го вакууму в металевих вакуумних установках, які повністю прогріваються. |
|
Перелік цитувань |
Інші статті цього номера
1) Перенесення тепла в одновимірному димерному ланцюгу [05001-1-05001-5]2) Вплив обробки у водневій плазмі тліючого розряду на шари оксиду цинку, виготовлені імпульсним електрохімічним осадженням і методом SILAR [05002-1-05002-7]
3) Фундаментальне дослідження властивостей квазімонокристалічного кремнію після хімічної обробки: порівняння з монокристалічним та багатокристалічним кремнієм [05003-1-05003-5]
4) Структурні та п'єзоелектричні властивості BSb під високим тиском: дослідження DFT [05004-1-05004-4]
5) Аналітична оцінка струму рекомбінації різкого асиметричного p-n переходу [05005-1-05005-8]
6) Зростання тонкої плівки паладію, нанесеної на струмові електроди з нержавіючої сталі вологим хімічним методом для суперконденсатора з активного вуглецю, та її електрохімічні властивості [05006-1-05006-5]
7) Вплив морфології поруватого шару GaAs на параметри контакту Шотткі паладій / поруватий GaAs [05007-1-05007-5]
8) Оцінка та вилучення електричних параметрів різних фотоелектричних моделей за допомогою ітераційних методів [05008-1-05008-7]
9) Вплив збільшення концентрацій при отриманні тонкої плівки Cu2ZnSnS4 [05009-1-05009-5]
10) Структурні, оптичні, морфологічні та теплові властивості наночастинок CuO, підготовлених методом золь-гелю [05011-1-05011-4]
11) Ефективність поки що найкращого алгоритму ABC порівняно з аналітичними методами для вилучення параметрів діода Шоткі [05012-1-05012-5]
12) Фізичні уявлення впливу внутрішнього магнітного поля на процеси в трибоконтакті текстурованих лункових поверхонь [05013-1-05013-5]
13) Щільність поверхневих станів в 3D топологічних ізоляторах у присутності магнітного поля з урахуванням гексагональних спотворень решітки [05014-1-05014-6]
14) Функціоналізовані вуглецеві нанотрубки на поруватому кремнії для сенсорних застосувань [05015-1-05015-4]
15) Електричні властивості нанокристалів поруватого кремнію в діелектричній матриці [05016-1-05016-5]
16) Синтез та характеристики тонких плівок ZnS, легованих Cu, осаджених методом центрифугування [05017-1-05017-6]
17) Моделювання сферичних металевих нанокластерів, що містять моновакансію [05018-1-05018-8]
18) Вплив дефектів на якість контактних систем для фотоелектричних перетворювачів [05019-1-05019-5]
19) Структура, електричні та корозійні властивості квазікристалічних тонких плівок Al–Cu–Fe–Sc [05020-1-05020-5]
20) Вимушена прецесія феромагнітної наночастинки зі скінченною анізотропією, зваженої в рідині: нелінійні аспекти [05021-1-05021-5]
21) Формування хвилі просторового заряду з широким частотним спектром в пролітній секції двопотокового супергетеродинного ЛВЕ клістронного типу з гвинтовим електронним пучком [05022-1-05022-8]
22) Параметр Грюнайзена та явна частина узагальнюючої міри ангармонізму твердих розчинів системи Fe-Ni [05023-1-05023-4]
23) DFT-моделювання протонування молекул аміаку на поверхні кремнію р-типу [05024-1-05024-4]
24) Оптичні та електричні властивості пористого кремнію n-типу, отриманого методом електрохімічного травлення та дослідження впливу на нього γ-випромінювання [05025-1-05025-6]
25) Покращені оптичні та діелектричні властивості нанокомпозитів PANI/rGO для застосування в суперконденсаторах [05026-1-05026-5]
26) Вплив відхилення від стехіометрії на термоелектричні властивості полікристалів і тонких плівок Bi2Te3 в температурному інтервалі 77-300 K [05027-1-05027-6]
27) Формування та моделювання нанорозмірних рівнів самоорганізованих структур в некристалічних тонких плівках систем Ge-As-Te(S, Se) [05028-1-05028-8]
28) Фізика і технологія гетеросистем на основі плівок германію і германію з галієм [05029-1-05029-4]
29) Ефективні маси носіїв у виродженій зоні провідності:взаємодія особливостей густини електронних станів та намагніченості [05030-1-05030-6]
30) Вплив умов технології на формування центрів світіння у квантових точках CdS [05031-1-05031-4]
31) Електронні та магнітні властивості перовскітів RMO3 (M = Co, Fe): дослідження з перших принципів [05032-1-05032-5]
32) Використання адсорбованих органічних молекул як легуючих домішок для створення вбудованих латеральних p-n переходів у листі чорного фосфорену [05033-1-05033-5]
33) Модифікація поверхні нанокристалів ZnО:Mn, синтезованих кріохімічним методом [05034-1-05034-5]
34) Моделювання фотонних кристалів мікрохвильового діапазону з використанням матриць інтерференції [05035-1-05035-4]
35) Актуальні проблеми комп’ютерної параметричної ідентифікації ЯМР та ЯКР спектрів: огляд [05036-1-05036-10]
36) Триботехнічні властивості багатошарових покриттів (TiZr)N/(TiSi) N з нанометровою товщиною [05037-1-05037-4]
37) Електрохімічне дослідження нанокомпозитів оксид графену/оксид ітрію, легованих азотом [05038-1-05038-4]
38) Вплив концентрації графенових нанопластинок на теплопровідність силіконової термопасти [05039-1-05039-4]
39) Вплив розміру зерна на деформацію в наноплівці оксиду міді для застосувань у газовій сенсориці [05040-1-05040-4]
40) Вплив заміщення іонів нікелю на структуру і електричні властивості нанорозмірного літій-залізного фериту, отриманого методом золь-гель автогоріння [05041-1-05041-7]
41) Вплив концентрації rGO на теплову стійкість нанокомпозитів PANI/rGO [05042-1-05042-3]
42) Оптичні властивості квантових точок ZnSe в вуглецевих матрицях [05043-1-05043-3]
