Фізика і технологія гетеросистем на основі плівок германію і германію з галієм

Автори Є.Ф. Венгер, О.Ю. Колядіна, П.Л. Нелюба, В.В. Холевчук, Л.О. Матвеєва, І.М. Матіюк, В.Ф. Мітін
Афіліація

Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, пр. Науки, 45, 03028 Київ, Україна

Е-mail matveeva@isp.kiev.ua
Випуск Том 11, Рік 2019, Номер 5
Дати Одержано 15 липня 2019; у відредагованій формі 21 жовтня 2019; опубліковано online 25 жовтня 2019
Цитування Є.Ф. Венгер, О.Ю. Колядіна, П.Л. Нелюба, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 11 № 5, 05029 (2019)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.11(5).05029
PACS Number(s) 68.55.а1, 73.50.h
Ключові слова Гетероепітаксія, Внутрішні механічні напруження, Поглинання і електровідбивання світла, Зонна структура (7) , Електронні параметри плівок і підкладки.
Анотація

Термічним осадженням у вакуумі на підкладках арсеніду галію отримані тонкі плівки германію і германію з 1,05 % галію. Товщина плівок була 1 мкм, товщина підкладок 300 мкм, швидкість росту плівок була 1,75 Å/с. Дослідження проведені методами профілографії поверхні плівок, спектроскопії поглинання і електровідбивання світла. В плівках і на межі поділу визначали ширину забороненої зони, параметри уширення спектру, час енергетичної релаксації збуджених світлом носіїв заряду і механічні напруження. Виявлено додаткову межу поділу германій-галій. Напруження розтягу на ній 6,8·108 Па були більшими напружень стиснення 2,6·108 Па на межі поділу плівка-підкладка.

Перелік цитувань