Автори | Є.Ф. Венгер, О.Ю. Колядіна, П.Л. Нелюба, В.В. Холевчук, Л.О. Матвеєва, І.М. Матіюк, В.Ф. Мітін |
Афіліація |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, пр. Науки, 45, 03028 Київ, Україна |
Е-mail | matveeva@isp.kiev.ua |
Випуск | Том 11, Рік 2019, Номер 5 |
Дати | Одержано 15 липня 2019; у відредагованій формі 21 жовтня 2019; опубліковано online 25 жовтня 2019 |
Цитування | Є.Ф. Венгер, О.Ю. Колядіна, П.Л. Нелюба, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 11 № 5, 05029 (2019) |
DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.11(5).05029 |
PACS Number(s) | 68.55.а1, 73.50.h |
Ключові слова | Гетероепітаксія, Внутрішні механічні напруження, Поглинання і електровідбивання світла, Зонна структура (7) , Електронні параметри плівок і підкладки. |
Анотація |
Термічним осадженням у вакуумі на підкладках арсеніду галію отримані тонкі плівки германію і германію з 1,05 % галію. Товщина плівок була 1 мкм, товщина підкладок 300 мкм, швидкість росту плівок була 1,75 Å/с. Дослідження проведені методами профілографії поверхні плівок, спектроскопії поглинання і електровідбивання світла. В плівках і на межі поділу визначали ширину забороненої зони, параметри уширення спектру, час енергетичної релаксації збуджених світлом носіїв заряду і механічні напруження. Виявлено додаткову межу поділу германій-галій. Напруження розтягу на ній 6,8·108 Па були більшими напружень стиснення 2,6·108 Па на межі поділу плівка-підкладка. |
Перелік цитувань |