Автори | Я.І. Лепіх , М.А. Глауберман |
Афіліація |
Одеський національний університет імені І.І. Мечникова, вул. Дворянська, 2, Одеса, Україна |
Е-mail | ndl_lepikh@onu.edu.ua |
Випуск | Том 13, Рік 2021, Номер 4 |
Дати | Одержано 21 березня 2021; у відредагованій формі 10 серпня 2021; опубліковано online 20 серпня 2021 |
Цитування | Я.І. Лепіх, М.А. Глауберман, Ж. нано- електрон. фіз. 13 № 4, 04009 (2021) |
DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.13(4).04009 |
PACS Number(s) | 75.50.Pp, 81.40.Wx |
Ключові слова | Магніточутливі транзисторні структури, Іонізуюче опромінення, Відпал (33) . |
Анотація |
Робота присвячена дослідженню впливу іонізуючого опромінення і температури на основні характеристики магніточутливих транзисторних структур (МТС). МТС широко використовуються у різних сферах науки і техніки, зокрема, як сенсори магнітного поля, сенсори положення та переміщення елементів конструкцій різних систем тощо. Характеристики МТС і, відповідно, пристроїв на їх основі можуть бути нестабільними через вплив зовнішніх факторів. Одним з таких факторів є іонізуюче випромінювання. В даній роботі досліджувався вплив опромінення на лінійному прискорювачі «Електроніка» швидкими електронами і на установці МРХ «Гама-25» -квантами на абсолютну чутливість МТР. Опромінювалися зразки МТС з різними значеннями поверхневого електричного опору різними дозами та інтенсивностями. Досліджувався також вплив термообробки зразків МТС після їх опромінення. Наводяться залежності чутливості МТС від різних інтегральних доз опромінення електронами та інтенсивності -квантів. Встановлена зміна залежності чутливості МТС від впливу температури на характеристики структур. Досліджено можливість використати вплив температури для стабілізації характеристик МТС. Визначено оптимальний діапазон температури відпалу МТС поблизу 450 С у повітрі та час нагріву, за яких у структурі напівпровідника не відбувається процес дефектоутворення, що могло б негативно вплинути на характеристики МТС і, відповідно, на пристрої на їх основі. Показано, що термообробка МТС після опромінення швидкими електронами та -квантами може з успіхом використовуватися для стабілізації характеристик МТС. |
Перелік посилань |