Вплив діелектрика ZrO2 на характеристики постійного струму і пригнічення витоку в транзисторі DH MOS-HEMT на основі AlGaN/InGaN/GaN

Автори V. Sandeep, J. Charles Pravin
Приналежність

Kalasalingam Academy of Research and Education, Virudhunagar, Tamil Nadu, India

Е-mail jcharlespravin@gmail.com
Випуск Том 13, Рік 2021, Номер 4
Дати Одержано 16 квітня 2021; у відредагованій формі 11 серпня 2021; опубліковано online 20 серпня 2021
Посилання V. Sandeep, J. Charles Pravin, Ж. нано- електрон. фіз. 13 № 4, 04007 (2021)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.13(4).04007
PACS Number(s) 73.40. – c, 85.30.Pq
Ключові слова AlGaN/GaN, Подвійна гетероструктура, MOS-HEMT, InGaN (4) , ZrO2 (4) , Ємність (18) , Порогова напруга (4) .
Анотація

У роботі вивчаються характеристики транзистора DH MOS-HEMT (Double Heterostructure Metal-Oxide-Semiconductor High Electron Mobility Transistor) на основі AlGaN/InGaN/GaN при використанні діоксиду цирконію (ZrO2) товщиною 10 нм як діелектрика. Оксидні діелектрики відіграють важливу роль у формуванні двовимірного електронного газу (2DEG). Запропоновано аналітичну модель для оцінки густини зарядів, концентрації носіїв, струму стоку, провідності та ємності затвора. Транзистори DH MOS-HEMTs на основі ZrO2 продемонстрували виняткові характеристики, а саме максимальну густину струму стоку (IDmax) та провідність (gmmax) у порівнянні з транзисторами HEMTs на основі InGaN. Завдяки високоякісній межі розділу між ZrO2 та бар'єрним шаром AlGaN, транзистор MOS-HEMT продемонстрував чудові концентрації носіїв та ємності затвора. Також проведено електростатичний аналіз на різних межах розділу та досліджено вплив товщини шару InGaN на покращення 2DEG. Отримані результати винятково узгоджуються з опублікованими експериментальними даними. Включення міцного high-k діелектричного матеріалу, такого як ZrO2, призвело до ефективного пригнічення витоку в діапазоні 10 – 7 мА/мм. Результати показують, що транзистор може бути ефективним рішенням як для потужних комутючих пристроїв, так і для мікрохвильових додатків.

Перелік посилань