Воднева обробка золотого контакту на кремнії
| Автори | A.G. Vasiljev1, О.I. Kozonushchenko1, T.A. Vasyliev1, V.V. Zhuravel1, T.P. Doroshenko2 |
| Приналежність |
1Institute of High Technologies, T. Shevchenko National University of Kyiv, 4g, Glushkova Ave., 03022 Kyiv, Ukraine 2V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, NAS of Ukraine, 45, Nauka Ave., 03028 Kyiv, Ukraine |
| Е-mail | taras.a.vasiliev@gmail.com |
| Випуск | Том 11, Рік 2019, Номер 3 |
| Дати | Одержано 25 лютого 2019; у відредагованій формі 12 червня 2019; опубліковано online 25 червня 2019 |
| Посилання | A.G. Vasiljev, О.I. Kozonushchenko, T.A. Vasyliev, et al., Ж. нано- електрон. фіз. 11 № 3, 03003 (2019) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.11(3).03003 |
| PACS Number(s) | 73.61. − r, 66.30. − h, 68.35.Fx |
| Ключові слова | р-кремній, Воднева обробка (2) , Водень (6) , Золотий контакт, Дифузія (31) , Питомий опір (15) . |
| Анотація |
Зразком для досліджень була пластина р-кремнію товщиною 0.35 мм. До протилежних поверхонь p-кремнієвого зразка було нанесено два золотих плівкові контакти товщиною 50 нм. Для виготовлення золотого плівкового контакту використано методи прямого підігріву контакту в вольфраму човні. Поверхня кремнієвої пластини була активована для відкладення золота шляхом занурення зразків у 0.5 % розчин плавикової кислоти. Після цього кремнієву пластину промили дистильованою водою, висушили і помістили в контейнер для субстратів. Після відкладення золотих плівкових контактів пластину p-кремнію розрізали на декілька зразків. Водневій обробці було піддано лише один контакт за допомогою електролізу в 10 % водяному розчині H2SO4. Золотий контакт був катодом, а графітовий електрод був анодом. Другий золотий плівковий контакт був ізольований під час електролізу. Електроліз тривав 6 хвилин. Щільність струму під час електролізу складала 117.5 А/м2. Оброблені воднем p-кремнієві зразки з золотими контактами зберігалися в кімнатних умовах. Досліджено часову залежність вольт-амперної характеристики зразків. Опір золотого плівкового контакту збільшився в перші кілька годин після водневої обробки. Але потім, протягом тижня після цього, опір золотого плівкового контакту постійно зменшувався. Протягом подальшого тижня опір золотого плівкового контакту не мінявся. Насиченість воднем золотого плівкового контакту викликала значне зниження опору золотого контакту. Після водневої обробки та витримки в кімнатних умовах остаточний опір золотого плівкового контакту знизився майже в 1.5 рази у порівнянні з опором контакту до водневої обробки. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Квантово-хімічне моделювання дивакансійних дефектів на поверхні алмазу С(100)-2×1 [03001-1-03001-6]2) Кристалічна структура, оптичні та провідні властивості наночастинок ZnO, легованих фтором [03002-1-03002-5]
3) Вимірювання температури стінки і ефекти на поверхні ракетного комплексa на основі напівпровідникового діода і електронної системи [03004-1-03004-7]
4) Вплив нуклеїнових кислот на окислення та фотолюмінесценцію поруватого кремнію [03005-1-03005-5]
5) Вплив сильного магнітного поля на енергетичні спектри двох донорів у сфалеритовій квантовій точці [03006-1-03006-4]
6) Електро- та теплопровідність потрійних композитів графітові нанопластинки/TiO2/епоксидна смола [03007-1-03007-7]
7) Вплив ультразвукового випромінювання на біологічні тканини: фізичні основи і технологічні принципи [03008-1-03008-4]
8) Структурні і фазові особливості формування квазікристалічних плівок Ti-Zr-Ni при нагріванні [03009-1-03009-4]
9) Модифікація дефектної структури кремнію під впливом радіації [03010-1-03010-6]
10) Вплив температури обробки на оптичні та морфологічні параметри органічного перовскіту CH3NH3PbI3, отриманого методом спрей-піролізу [03011-1-03011-4]
11) Структурні особливості формування пористого вуглецевого матеріалу, активованого гідроксидом калію [03012-1-03012-5]
12) Структурна інженерія і механічні властивості (Ti-V-Zr-Nb-Hf-Ta)N покриттів отриманих при різному тиску [03013-1-03013-6]
13) Полімерні матеріали, модифіковані напівпровідниковими речовинами, у вузлах тертя гальмівних пристроїв [03014-1-03014-8]
14) Вплив вакансій і пор, що виникають при опроміненні в поверхневому шарі металу, на струм польової емісії [03015-1-03015-5]
15) Електроосадження та механічні характеристики композитних покриттів Ni/SiC [03016-1-03016-5]
16) Визначення оптичних характеристик нанопокриттів з використанням перетворення Лоренца [03017-1-03017-6]
17) Просторовий перерозподіл міжвузлових атомів та вакансій у напівпровідниках під впливом імпульсного лазерного опромінення [03018-1-03018-6]
18) Вплив двовимірних дефектів на нефундаментальні втрати ефективності в сонячних елементах із мультикристалічного кремнію [03019-1-03019-5]
19) Поверхнево-бар’єрні структури Au/n-CdS: створення та електрофізичні властивості [03020-1-03020-6]
20) Золь-гель синтез, структура та оптичні властивості нікель-марганцевих феритів [03021-1-03021-5]
21) Дифузійне насичення сталі У8А в суміші порошків металів за участю хлористого амонію [03022-1-03022-7]
22) Особливості кристалізації аморфного срібла при 77 К в умовах лазерного ефекту Гершеля [03023-1-03023-4]
23) Моделювання ефективності сонячних елементів на основі гетеропереходу n-MgxZn1-xO/p-SnS із контактами ZnO:Al та ITO [03024-1-03024-7]
24) Використання методу мікродугового плазмового оксидування для підвищення антифрикційних властивостей поверхні титанового сплаву [03025-1-03025-5]
25) Тривимірні надзвичайно короткі оптичні імпульси в графені з неоднорідностями [03026-1-03026-4]
26) Температурні характеристики кремнієвого нанопровідного транзистора у залежності від товщини оксиду [03027-1-03027-4]
27) Енергетичний спектр сигналів акустичної емісії в сполучених суцільних середовищах [03028-1-03028-7]
28) Підвищення точності широкоапертурного фотометра на основі цифрової камери [03029-1-03029-6]
29) Електрофізичні властивості багатошарових плівкових систем на основі пермалою та срібла [03030-1-03030-4]
30) Вплив ультразвукової обробки на процеси фазоутворення в аморфному сплаві Fe76Ni4Si14B6 [03031-1-03031-4]
31) Модифікація оптичних властивостей поверхневих шарів та тонких плівок лазерною обробкою [03032-1-03032-5]
32) Оцінка впливу гідродинамічного режиму роботи грануляційного обладнання на нанопористу структуру гранул N4HNO3 [03033-1-03033-5]
33) Ефективний дизайн для копланарного суматора з нерівномірною точкою в технології клітинних автоматів [03034-1-03034-4]
34) Термостимульована люмінесценція і провідність кристалів β-Ga2O3 [03035-1-03035-7]
35) Вплив ортофосфорної кислоти на морфологію нанопористих вуглецевих матеріалів [03036-1-03036-6]
36) Формування впорядкованих масивів магнітних наночастинок з використанням різних методів отримання [03037-1-03037-5]
37) Формування графітових наноструктур на поверхні шаруватого кристалу n-InSe [03038-1-03038-3]
38) Огляд доступних теоретичних моделей для феромагнетизму за кімнатної температури в розбавлених магнітних напівпровідниках [03039-1-03039-3]
39) [05031-1-05031-1]
40) [05031-1-05031-1]
