Воднева обробка золотого контакту на кремнії

Автори A.G. Vasiljev1, О.I. Kozonushchenko1, T.A. Vasyliev1, V.V. Zhuravel1, T.P. Doroshenko2
Приналежність

1Institute of High Technologies, T. Shevchenko National University of Kyiv, 4g, Glushkova Ave., 03022 Kyiv, Ukraine

2V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, NAS of Ukraine, 45, Nauka Ave., 03028 Kyiv, Ukraine

Е-mail taras.a.vasiliev@gmail.com
Випуск Том 11, Рік 2019, Номер 3
Дати Одержано 25 лютого 2019; у відредагованій формі 12 червня 2019; опубліковано online 25 червня 2019
Посилання A.G. Vasiljev, О.I. Kozonushchenko, T.A. Vasyliev, et al., Ж. нано- електрон. фіз. 11 № 3, 03003 (2019)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.11(3).03003
PACS Number(s) 73.61. − r, 66.30. − h, 68.35.Fx
Ключові слова р-кремній, Воднева обробка, Водень (3) , Золотий контакт, Дифузія (22) , Питомий опір (10) .
Анотація

Зразком для досліджень була пластина р-кремнію товщиною 0.35 мм. До протилежних поверхонь p-кремнієвого зразка було нанесено два золотих плівкові контакти товщиною 50 нм. Для виготовлення золотого плівкового контакту використано методи прямого підігріву контакту в вольфраму човні. Поверхня кремнієвої пластини була активована для відкладення золота шляхом занурення зразків у 0.5 % розчин плавикової кислоти. Після цього кремнієву пластину промили дистильованою водою, висушили і помістили в контейнер для субстратів. Після відкладення золотих плівкових контактів пластину p-кремнію розрізали на декілька зразків. Водневій обробці було піддано лише один контакт за допомогою електролізу в 10 % водяному розчині H2SO4. Золотий контакт був катодом, а графітовий електрод був анодом. Другий золотий плівковий контакт був ізольований під час електролізу. Електроліз тривав 6 хвилин. Щільність струму під час електролізу складала 117.5 А/м2. Оброблені воднем p-кремнієві зразки з золотими контактами зберігалися в кімнатних умовах. Досліджено часову залежність вольт-амперної характеристики зразків. Опір золотого плівкового контакту збільшився в перші кілька годин після водневої обробки. Але потім, протягом тижня після цього, опір золотого плівкового контакту постійно зменшувався. Протягом подальшого тижня опір золотого плівкового контакту не мінявся. Насиченість воднем золотого плівкового контакту викликала значне зниження опору золотого контакту. Після водневої обробки та витримки в кімнатних умовах остаточний опір золотого плівкового контакту знизився майже в 1.5 рази у порівнянні з опором контакту до водневої обробки.

Перелік посилань