Електрофізичні властивості багатошарових плівкових систем на основі пермалою та срібла

Автори I.M. Пазуха, Д.O. Шуляренко
Приналежність

Сумський державний університет, вул. Рисмського-Корсакова 2, 40007 Суми, Україна

Е-mail iryna.pazukha@gmail.com
Випуск Том 11, Рік 2019, Номер 3
Дати Одержано 15 березня 2019; у відредагованій формі 20 червня 2019; опубліковано online 25 червня 2019
Посилання I.M. Пазуха, Д.O. Шуляренко, Ж. нано- електрон. фіз. 11 № 3, 03030 (2019)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.11(3).03030
PACS Number(s) 68.37.Lp, 68.60.Dv, 81.15.Ef
Ключові слова Багатошарова система, Пошарова конденсація, Питомий опір (10) , Термічний коефіцієнт опору (6) , Інтерфейсне розсіювання (2) .
Анотація

Представлені результати комплексного дослідження фазового стану та електрофізичних властивостей (питомий опір та термічний коефіцієнт опору (ТКО)) багатошарових плівкових систем [Py/Ag]n/П. Плівкові зразки на основі пермалоєвого сплаву (Py) та срібла були отримані методом електронно-променевого пошарового осадження у вакуумі 10 – 4 Пa за кімнатної температури. Загальна товщина зразків залишається незмінною і становить 54 нм, а кількість повторів бішару Py/Ag зростає з 1 до 16. Дослідження фазового стану плівок проводилося методом електронної дифракції. Фазовий стан плівок після конденсації відповідає комбінації двох ГЦК граток (ГЦК-Ni3Fe та ГЦК-Ag) та залишається незмінним при збільшення кількості повторів бішару у системі. Також було показано, що процес термообробки зразків не впливає їх фазовий склад. Термообробка зразків після конденсації проводилася у вакуумній камері протягом двох циклів «нагрівання ↔ охолодження» до температури заліковування дефектів у автоматичному режимі, що дозволило контролювати швидкість нагрівання, проводити запис експериментальних даних (опір та температура) та їх обробку. Результати досліджень електрофізичних властивостей показали, що для всіх зразків спостерігається металевий характер залежності питомого опору від температури. Величина питомого опору і ТКО мають порядок 10 – 7 Ом·м та 10 – 3 К – 1 відповідно, що є типовим для складових компонент досліджуваних систем. У той же час збільшення кількості повторів бішару Py/Ag з 1 до 16 приводить до зростання величини питомого опору з 0,78·10 – 7 до 2,40·10 – 7 Oм·м та до зменшення величини ТКО з 4,70·10 – 3 до 2,23·10 – 3 К – 1. Основними причинами зміни величини ( та ( може бути збільшення ймовірності інтерфейсного розсіювання електронів на межі поділу шарів, а також порушення суцільності окремих шарів при збільшенні кількості повторів бішару Py/Ag при незмінній загальній товщині шарів.

Перелік посилань