Моделювання та реалізація n-канального польового транзистора з подвійним затвором та тришаровою системою каналів із спроектованою деформацією для збагаченого струму стоку

Автори Kuleen Kumar, Rudra Sankar Dhar, Swagat Nanda
Приналежність

Department of Electronics & Communication Engineering, National Institute of Technology Mizoram, Aizawl, 796012 Mizoram, India

Е-mail kuleen.phd.ece@nitmz.ac.in
Випуск Том 14, Рік 2022, Номер 2
Дати Одержано 21 грудня 2021; у відредагованій формі 25 квітня 2022; опубліковано online 29 квітня 2022
Посилання Kuleen Kumar, Rudra Sankar Dhar, Swagat Nanda, Ж. нано- електрон. фіз. 14 № 2, 02028 (2022)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.14(2).02028
PACS Number(s) 73.23.Ad, 77.55.df
Ключові слова Деформований кремній, Квантове утримання носіїв, Балістичний транспорт (2) , Наноінженерія, DG-SHOI FET пристрої.
Анотація

Технологія напруженого кремнію з FET є домінуючою технологією, що забезпечує збагачення швидкості носіїв в нанорозмірних пристроях шляхом проектування розташування зонної структури. Зменшення витоку при одночасному збільшенні струму стоку є ще однією важливою метою, тому розглядається розробка FET з подвійним затвором у нанорежимі та з напруженим каналом. Таким чином, основним є реалізація двозатворної напруженої гетероструктури на ізоляторі (DG-SHOI) FET із тришаровим каналом (s-Si/s-SiGe/s-Si). Фізика двовісної деформації вивчається і генерується в каналі шляхом впровадження трьох шарів оптимальної товщини, тоді як вузькі області виснаження каналу суворо контролюються еквіпотенційними затворами. Отже, максимальна кількість носіїв заряду накопичується в каналі через квантове утримання носіїв, викликаючи балістичний транспорт через пристрій з довжиною каналу 22 нм, що призводить до зменшення міждолинного розсіювання. У порівнянні з існуючим 22-нм DGSOI FET спостерігається збільшення струму стоку на 56 % і посилення крутості на 87,6 %, у той час як DIBL зменшений для цього нещодавно розробленого та реалізованого DG-SHOI FET, що свідчить про прогрес у технології мікроелектроніки.

Перелік посилань