Зондування інтерфейсу за допомогою раманівської спектроскопії
| Автори | R. Brajpuriya |
| Афіліація |
Applied Science Cluster, University of Petroleum & Energy Studies, Dehradun, 248001 Uttrakhand, India |
| Е-mail | ranjeetbjp1@gmail.com |
| Випуск | Том 14, Рік 2022, Номер 5 |
| Дати | Одержано 16 вересня 2022; у відредагованій формі 20 жовтня 2022; опубліковано online 28 жовтня 2022 |
| Цитування | R. Brajpuriya, Ж. нано- електрон. фіз. 14 № 5, 05028 (2022) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.14(5).05028 |
| PACS Number(s) | 87.64.kp, 78.30.Cp, 68.37. – d |
| Ключові слова | Комбінаційне розсіяння, Тонкі плівки (76) , Наноструктури (25) . |
| Анотація |
Характеристики металу на поверхні кремнію були широко досліджені завдяки промисловій значущості силіциду перехідного металу в технології інтегральних схем і науковому інтересу до впливу адсорбованого шару на реконструкцію підкладки кремнію та гетеродифузію. Зважаючи на те, що взаємодія Co з Si не зовсім зрозуміла, все ще існують розбіжності щодо природи системи Co/Si. Кілька проблем залишаються невирішеними, включаючи передбачення фази, яка виділиться серед кількох фаз системи Co/Si як функція товщини плівки та температури. Тому, щоб зрозуміти останнє, тонкі плівки кобальту (Co) товщиною 10, 40 і 100 нм були виготовлені методом електронно-променевого осадження на кремнієві підкладки. Після осадження зразки додатково відпалювали при 200, 300 і 400 °C протягом 2 годин. Мікро-раманівська спектроскопія (через її неруйнівну природу) була використана для аналізу хімічного складу та утворення силіцидів на інтерфейсі в результаті зміни товщини та температури в осаджених і відпалених зразках. Результати демонструють, що вирощені плівки мають високу якість і не містять домішок. Дослідження показують, що силіцид утворюється під час осадження на інтерфейсі, а розвиток нової смуги при 1550 см – 1 у результаті відпалу свідчить про структурну трансформацію від CoSi до CoSi2, яка ще більше посилюється при вищих температурах відпалу. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Структурні, морфологічні та оптичні характеристики диселеніду кобальту, вирощеного методом прямого переносу пари (DVT) [05001-1-05001-4]2) Мікрохвильові властивості ГНП-полімерних композитів з сегрегованою провідною мережею [05002-1-05002-5]
3) Характеристики комбінованого (Si та Ge) інвертора FinFET-CMOS на основі співвідношення транзисторів навантаження до драйверу [05003-1-05003-6]
4) На шляху до інтелектуальних систем моніторингу: алгоритми штучного інтелекту на основі виявлення та діагностики несправностей на сонячних фотоелектричних електростанціях [05004-1-05004-5]
5) Мікродефекти та електричні властивості кристалів β-Ga2O3 та β-Ga2O3:Mg, вирощених методом зонної плавки [05005-1-05005-5]
6) Множинні трихвильові резонансні взаємодії в пролітній секції двопотокового супергетеродинного ЛВЕ з поздовжнім електричним полем [05006-1-05006-6]
7) Розрахунок електронної хвильової функції та потенціалу кристала в напівпровіднику зі структурою сфалериту при заданій температурі [05007-1-05007-5]
8) Аналіз потужності та порогової напруги 12T SRAM комірки 14 нм FinFET для додатків із низьким енергоспоживанням [05008-1-05008-6]
9) Еволюційна анізотропна поведінка листа DC04 з використанням функції Hill48 за гіпотезою неасоційованого правила потоку [05009-1-05009-5]
10) Вплив температури та товщини основи на фотоелектричні параметри сонячних елементів з аморфного кремнію [05010-1-05010-6]
11) Енергетичні характеристики майже сферичних металевих наночастинок [05011-1-05011-5]
12) Дослідження моно- та полікристалічних кремнієвих сонячних елементів різної форми для фотоелектричних пристроїв у форматі 3D: експеримент та моделювання [05012-1-05012-8]
13) Леговані фтором супергідрофобні наноквіти SnO2 (FTO), осаджені за допомогою розпилювального піролізу для застосування в сонячних елементах [05013-1-05013-6]
14) Технологічні особливості виготовлення реальних контактних систем для приладів наносистемної техніки [05014-1-05014-5]
15) Реалізація та аналіз L-подібного тунельного польового транзистора з використанням затвора та оксидної інженерії [05015-1-05015-4]
16) Effect of Phase Contrast and Geometrical Parameters on Bending Behavior of Sandwich Beams with FG Isotropic Face Sheets [05016-1-05016-6]
17) Розробка та аналіз дводіапазонної (27/38 ГГц) патч-антени еліптичної форми для додатків 5G [05017-1-05017-5]
18) Оцінка стану заліза у вологих зонах за допомогою георадара з антеною-метеликом, яка працює на частоті 1,6 ГГц [05018-1-05018-6]
19) Прогнозування електрофізичних і магнітних властивостей багатокомпонентних (високоентропійних) плівкових сплавів [05019-1-05019-4]
20) Електропровідні та поляризаційні властивості клатрату InSe[CS(NH2)2[С14Н10]] [05020-1-05020-6]
21) Вплив довжини поверхневої дифузії на шорсткість тонких шарів, отриманих випадковим осадженням [05021-1-05021-5]
22) Теоретичне дослідження впливу упаковки на температуру оптоволоконних кабелів [05022-1-05022-5]
23) Дослідження фотореактивності неорганічних нанокристалів зі значними органічними кольорами [05023-1-05023-10]
24) Кінетика фотопровідності в двосторонньому макропористому кремнії [05024-1-05024-5]
25) Вплив розмірів пристрою на електричні властивості DG-SOI-MOSFET за допомогою програмного забезпечення Octave [05025-1-05025-4]
26) Порівняння структурних та оптичних властивостей плівок CdSe, вирощених методами CSD та CBD [05026-1-05026-5]
27) Фрактальна структура нанопористого вуглецю, отриманого гідротермальною карбонізацією рослинної сировини [05027-1-05027-4]
28) Гетерошари гексагонального α-CdTe [05029-1-05029-5]
29) Теоретичне дослідження шпінельної структури CuCr2O4 в тетрагональній фазі з використанням теорії функціоналу густини [05030-1-05030-7]
