Вплив довжини поверхневої дифузії на шорсткість тонких шарів, отриманих випадковим осадженням

Автори A. Saoudi1,2 , L. Aissani3,4, S. Boulahrouz1,5, L. Radjehi4,6, O. Chahaoui1,2, M. Mebarki7, H. Djebaili1,2
Приналежність

1Mechanical Engineering Department, Abbes Laghrour-Khenchela University, PO Box 1252, Khenchela 40004, Algeria

2Engineering and Advanced Materials Science Laboratory (ISMA), Abbes Laghrour- Khenchela University, PO Box 1252, Khenchela 40004, Algeria

3Laboratory of Active Components and Materials, Larbi Ben M’Hidi University, Oum El Bouaghi, Algeria

4Matter Science Department, Abbes Laghrour-Khenchela University, PO Box 1252, Khenchela 40004, Algeria5` Electromechanical Engineering Laboratory, Annaba 23000, Algeria

5Electromechanical Engineering Laboratory, Annaba 23000, Algeria

6LASPIA Laboratoire des Structures, Propriétés et Interactions Inter Atomiques, Khenchela University, Khenchela 40000, Algeria

7Centre de Recherche en Technologie des Semi-conducteurs pour l’Energétique (CRTSE), 2, Bd Frantz Fanon, BP 140 Alger 7-Merveilles, 16038, Algeria

Е-mail saoudi_abdenour@univ-khenchela.dz
Випуск Том 14, Рік 2022, Номер 5
Дати Одержано 02 вересня 2022; у відредагованій формі 20 жовтня 2022; опубліковано online 28 жовтня 2022
Посилання A. Saoudi, L. Aissani, S. Boulahrouz, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 14 № 5, 05021 (2022)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.14(5).05021
PACS Number(s) 62.20.Qp, 68.60.Dv
Ключові слова Поверхня росту (5) , Шорсткість (8) , Довжина дифузії, Кореляція (6) , Коефіцієнти масштабування.
Анотація

У роботі описано теоретичну модель з використанням програмного забезпечення MATLAB, яка описує вплив довжини поверхневої дифузії D на топографію та динаміку росту тонких шарів, отриманих шляхом випадкового осадження. Одержані результати показують, що поверхня інтерфейсу стає більш гладкою при більшій довжині дифузії D. Для D > 0 показник росту змінюється відповідно до двох різних режимів, β1 = 0,5 представляє повністю випадковий режим росту, а показник β2 представляє режим дифузії частинок у напрямку до пустот, β2 зменшується зі збільшенням D. Шорсткість інтерфейсу ніколи не насичується при нульовій довжині дифузії, тоді як показник шорсткості приймає нижче значення приблизно α =  0,1450 при D = 4. Нарешті, коефіцієнти масштабування β, α та z безпосередньо залежать від довжини дифузії D і не пов'язані з розміром підкладки L. Отримані результати узгоджуються з іншими попередніми теоретичними та експериментальними роботами.

Перелік посилань