Еволюція властивостей іонно-плазмових покриттів на основі нітридів тугоплавких металів
| Автори | П.В. Турбін , В.М. Береснєв , Д.В. Горох |
| Афіліація |
Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, майдан Свободи, 4, 61022 Харків, Україна |
| Е-mail | |
| Випуск | Том 12, Рік 2020, Номер 5 |
| Дати | Одержано 21 серпня 2020; у відредагованій формі 15 жовтня 2020; опубліковано online 25 жовтня 2020 |
| Цитування | П.В. Турбін, В.М. Береснєв, Д.В. Горох, Ж. нано- електрон. фіз. 12 № 5, 05031 (2020) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.12(5).05031 |
| PACS Number(s) | 81.07.Bc, 61.05.сp,68.55.jm, 61.82.Rx |
| Ключові слова | Метод вакуумно-дугового осадження, Фізичні параметри формування покриттів, Фізико-технічні властивості покриттів. |
| Анотація |
Визначаються деякі закономірності формування покриттів на основі нітридів перехідних металів, отриманих вакуумно-дуговим методом. Покриття формувалися із застосуванням ВЧ імпульсної стимуляції підкладинки. З метою усунення крапельної фракції застосовувалася сепарація іонно-плазмового потоку. Для визначення фізико-механічних властивостей покриттів у роботі використовувалася растрова електронна мікроскопія і метод наноіндентування. Морфологія поверхні покриттів аналізувалася із застосуванням електронно-іонного мікроскопа. Еволюція фізико-механічних властивостей покриттів визначається фізичними параметрами осадження. Склад катодів, що розпорошуються; тиск реакційного газу; потенціал зміщення, який подається на підкладинку, визначають структурно-фазовий стан отриманих покриттів і, тим самим, їх фізико-технічні характеристики. Застосування кремнію як легуючого елемента дозволяє формувати міжкристалітний шар Si3N4. Сегрегація аморфної або квазіаморфної речовини в міжкристалітний простір визначає композитну структуру в покритті. Композитні покриття характеризуються досконалішими фізико-механічними властивостями. Отримані в роботі нанокомпозитні покриття досягають стану надтвердих покриттів (53 ГПа) і високих значень модуля пружності (430 ГПа). При певних умовах формування покриття набувають текстурованого стану. Проаналізована ступінь зміни розмірів областей когерентного розсіювання від умов осадження. Встановлено, що оптимальне управління фізичними параметрами осадження дозволяє формувати іонно-плазмові захисні покриття з програмованими властивостями. |
|
Перелік цитувань |
Інші статті цього номера
1) Фізико-хімічні характеристики нанокластерів кремнію-германію [05001-1-05001-5]2) Квазірівноважні процеси релаксації електронного збудження молекули азидомалахітового зеленого [05002-1-05002-7]
3) Розрахунки з перших принципів електронних властивостей гетероструктур на основі ZnO/GaN [05003-1-05003-6]
4) Механічна поведінка зміцнених частинками термопластичних матричних композитів з використанням моделювання методом кінцевих елементів [05004-1-05004-5]
5) Особливості впливу ультразвукових хвиль на біологічні тканини різних типів [05005-1-05005-4]
6) Оптичні властивості плівок селеніду цинку, які леговані європієм [05006-1-05006-5]
7) Вивчення резонансних дифракційних явищ на ґратках точним методом зв’язаних хвиль з модифікованою системою рівнянь [05007-1-05007-6]
8) Перспективи полімерних сонячних елементів – це виробництво енергії за низькою вартістю [05008-1-05008-5]
9) Першопринципне дослідження рідкоземельних мононитридів ScN і YN під тиском [05009-1-05009-5]
10) Аналіз та оцінка впливу кліматичних умов на фотоелектричний модуль з аморфного кремнію [05010-1-05010-5]
11) Осадження покриття іонно-плазмовим розпиленням мішені з max фази Ti2AlC [05011-1-05011-6]
12) Вплив технологічних факторів на електрофізичні характеристики фотоперетворювачів [05012-1-05012-5]
13) Синхронізація антиферомагнітного джозефсонівського осцилятора зовнішнім сигналом [05013-1-05013-4]
14) Композити поліетиленоксиду/титанату барію: оптичні, електричні та теплові властивості [05014-1-05014-4]
15) Структурні та оптичні характеристики мультиферроїчних наночастинок BiFeO3, синтезованих при різних температурах відпалу [05015-1-05015-6]
16) Озоночутливі властивості тонких плівок нанокристалічного карбіду кремнію [05016-1-05016-4]
17) Термоелектричні властивості ниткоподібних кристалів InSb [05017-1-05017-4]
18) Електронні властивості фталоцианінів перехідних елементів, отриманих за методами гібридного функціонала та рівняння Бете-Солпітера [05018-1-05018-5]
19) Виготовлення нової серії чотирикомпонентних сплавів шляхом гібридного фазового спікання [05019-1-05019-5]
20) Оптимізація 6Т бітової комірки із SRAM на основі співвідношення нанодротів SiNWT [05020-1-05020-4]
21) Design and Development of an Efficient Branch Predictor for an In-order RISC-V Processor [05021-1-05021-4]
22) Імітаційне дослідження тилового контакту метал-напівпровідник p-c-Si/Al кремнієвих сонячних елементів з гетеропереходами [05022-1-05022-4]
23) Чутливість сонячних елементів c-Si з HIT до структурних спотворень гідрогенізованого аморфного кремнію, що складає фронтальну частину пристрою [05023-1-05023-5]
24) Хвилеводні поляризатори з діафрагмами для опромінювачів супутникових антен Ku-діапазону [05024-1-05024-5]
25) Нанозаповнені антифрикційні полімерні композиційні матеріали для деталей вузлів тертя морського та річкового транспорту [05025-1-05025-6]
26) Формування нанопористої структури аміачної селітри в вихрових апаратах з попереднім зволоженням гранул [05026-1-05026-7]
27) Дослідження польових транзисторів на вуглецевих нанотрубках з коаксіальною геометрією [05027-1-05027-5]
28) Першопринципний розрахунок взаємодії крайової дислокації з домішковими атомами перехідних металів в кремнії [05028-1-05028-4]
29) Прямий синтез графену з переробленого сердечника акумулятора методом ексфоліації плазми низької густини та його застосування для видалення метиленового синього та родаміну В з водних розчинів [05029-1-05029-4]
30) Магнітні та магніторезистивні властивості тонкоплівкових сплавів на основі кобальту і міді [05030-1-05030-6]
31) Кутові розподіли розсіяних іонів і при ковзному падінні на поверхню (001)<110> [05032-1-05032-4]
32) Аналітичний розрахунок спектра частот і групових швидкостей акустичних фононів у квазідвовимірних наноструктурах [05033-1-05033-5]
33) Підвищення коефіцієнта посилення мікрополоскової патч-антени і решітчастої антени з використанням різних структур метаматеріалів для додатків телемедицини [05034-1-05034-5]
34) Дослідження нанопорошків нікелю та їх застосування як мастильних добавок [05035-1-05035-3]
