Formation of the Microcrystalline Structure in LiNbO3 Thin Films by Pulsed Light Annealing
| Автори | R.N. Zhukov1, T.S. Ilina1, E.A. Skryleva1, B.R. Senatulin1, I.V. Kubasov1, D.A. Kiselev1 , G. Suchaneck2, M.D. Malinkovich1, Yu.N. Parkhomenko1, A.G. Savchenko1 |
| Приналежність |
1National University of Science and Technology "MISiS", 4, Leninskiy Prosp., 119049 Moscow, Russian Federation 2TU Dresden, Solid State Electronics Laboratory, 01062 Dresden, Germany |
| Е-mail | dm.kiselev@gmail.com |
| Випуск | Том 10, Рік 2018, Номер 2 |
| Дати | Одержано 11.12.2017; у відредагованій формі 28.04.2018; опубліковано online 29.04.2018 |
| Посилання | R.N. Zhukov, T.S. Ilina, E.A. Skryleva, et al., J. Nano- Electron. Phys. 10 No 2, 02009 (2018) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.10(2).02009 |
| PACS Number(s) | 77.80.Dj, 68.55. – a, 77.55.H – |
| Ключові слова | Lithium niobate (3) , Li/Nb ratio, rf-magnetron sputtering (2) , Post-growth infrared rapid annealing, Piezoresponse force microscopy (4) , X-ray photoelectron spectroscopy (3) . |
| Анотація |
LiNbO3 thin films with a thickness of 200 nm were deposited onto Al2O3 substrate by RF-magnetron sputtering technique without intentional substrate heating. The results demonstrate that post-growth infrared pulsed light annealing of the amorphous LiNbO3 films leads to the formation of two phases, LiNbO3 and LiNb3O8. After annealing at temperatures of 700 to 800 °C, the percentage of the non-ferroelectric phase LiNb3O8 was minimal. The surface composition of the films annealed at different temperatures was examined by X-ray photoelectron spectroscopy. Piezoresponse force microscopy was used to study both the vertical and the lateral polarization and to visualize the piezoelectric inactivity of LiNb3O8 grains. A comparison of the results of PFM and XPS measurements revealed that there is a correlation between the fraction of the piezoelectric phase and the film composition: At an annealing temperature higher than 850 °C, the atomic ratio of lithium to niobium decreases compared to the initial value along with a decrease of the fraction of the piezoelectric phase. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Вплив матеріалу шару на частотні характеристики багатомодового приймача [02001-1-02001-5]2) Дослідження фотолюмінесценції ZnO наноструктур, вирощених гідротермічним методом [02002-1-02002-4]
3) Особливості електрон-електронної взаємодії в квантово-розмірних об’єктах [02003-1-02003-6]
4) Фізичні основи створення безконтактних ультразвукових частотних сенсорів для дослідження нанокристалічних феромагнітних матеріалів [02004-1-02004-9]
5) Nanoparticles Transport Using Polymeric Nano- and Microgranules: Novel Approach for Advanced Material Design and Medical Applications [02005-1-02005-6]
6) Electrothermal and Optical Properties of Hybrid Polymer Composites [02006-1-02006-5]
7) Механічні та електричні властивості феритів NixCo1 – xFe2O4 [02007-1-02007-6]
8) Електрофізичні властивості наноструктурованих сегнетоелектриків в потужних імпульсних електричних полях [02008-1-02008-5]
9) Physical Adsorption of N-containing Heterocycles on Hexagonal Boron Nitride: DFT-D3 Study [02010-1-02010-6]
10) Effects of Three-Dimensional Noncommutative Theories on Bound States Schrödinger Molecular under New Modified Kratzer-type Interactions [02011-1-02011-6]
11) Investigation of Urbach Energy of CdS Thin Films as Buffer Layer for CIGS Thin Film Solar Cell [02012-1-02012-5]
12) НВЧ теорія ефективного середовища для метаматеріала з циліндричними феромагнітними включеннями з довільною формою поперечного перерізу [02013-1-02013-6]
13) Множинні взаємодії хвиль в мультигармонічних двопотокових супергетеродинних лазерах на вільних електронах з гвинтовими електронними пучками [02014-1-02014-9]
14) Ентропія кластерної системи в розплаві кремнію [02015-1-02015-5]
15) The Influence of Laser Irradiation and Ultrasound on the Structure, Surface Condition and Electrical Properties of TiS2/C Composites [02016-1-02016-5]
16) Поліграфенові покриття на міді: механізми зародження та ростуПолиграфеновые покрытия на меди: механизмы зарождения и роста [02017-1-02017-6]
17) Структура та електрохімічні властивості пористих вуглецевих матеріалів, отриманих із сахаридів [02018-1-02018-7]
18) Photoluminescence Excitation in Nanocomposites Polyvinylpyrrolidone/ZnO [02019-1-02019-5]
19) Ionization of Impurities by a Constant Electric Field in Graphene with a Wide Forbidden Band [02020-1-02020-5]
20) Modelling Graphene-based Transparent Electrodes for Si Solar Cells by Artificial Neural Networks [02021-1-02021-6]
21) Energy Efficient Design of Four-operand Multiplier Architecture using CNTFET Technology [02022-1-02022-8]
22) Особливості впливу невеликих доз високоенергетичного гамма-випромінювання на фотоелектричні та спектральні характеристики структур власний оксид-ІnSe [02023-1-02023-7]
23) Фото-електричні властивості кремнієвих структур із нанокомпозитним епоксидно-полімерним шаром [02024-1-02024-6]
24) Термодинаміка квазістійких станів ПВХ з металонанодисперсним наповнювачем [02025-1-02025-5]
25) Неоднорідні стани в тонкошарових кристалах з неспівмірною надструктурою [02026-1-02026-6]
26) Comparative Study of Temperature Effect on Thin Film Solar Cells [02027-1-02027-6]
27) Механізми струмопереносу в анізотипних гетеропереходах p-NiO/n-SiC [02028-1-02028-4]
28) Фотоелектричні процеси в тонкоплівкових сонячних елементах на основі CdS / CdTe з органічним тильним контактом [02029-1-02029-4]
29) Електричні та фотоелектричні властивості поверхнево-бар’єрних структур МоOх/n-Si [02030-1-02030-6]
30) Studies on Cu and TiO2 Water-based Nanofluids: A Comparative Approach in Laminar Flow [02031-1-02031-6]
31) Використання вольфраму як бар’єрного шару у багатошарових рентгенівських дзеркалах Sc/Si [02032-1-02032-8]
32) Забезпечення синхронізації мод в волоконних кільцевих лазерах [02033-1-02033-8]
33) Refinement Analysis using the Rietveld Method of Nd1.2Fe1O3 Oxide Material Synthesized by Solid-State Reaction [02034-1-02034-4]
34) Вплив постійного і високовольтного імпульсного потенціалів зміщення на структуру і властивості вакуумно-дугових (TiVZrNbHf)Nх покриттів [02035-1-02035-6]
35) Properties of Undoped and (Al, In) Doped ZnO Thin Films Prepared by Ultrasonic Spray Pyrolysis for Solar Cell Applications [02036-1-02036-5]
36) Джозефсонівський контакт малої ємності у флуктуючому середовищі [02037-1-02037-7]
37) Transport Phenomena for Development Inductive Elements Based on Silicon Wires [02038-1-02038-5]
38) Effect of Iron Doping on Physical Properties of NiO Thin Films [02039-1-02039-4]
39) Indirect Interaction in Graphene Nanostructures [02040-1-02040-3]
40) Thin Film Systems Based on ZnO/SiC and ZnO/C [02041-1-02041-3]
41) Design of Band-Stop Filter Composed of Array Rectangular Split Ring Resonators [02042-1-02042-3]
42) HIFU Transducers Designs and Ultrasonic Treatment Methods for Biological Tissues [02043-1-02043-3]
43) Impact of Inter-Wall Distance on Physical Properties of Metal-Semiconducting Double Walled Carbon Nanotube Quantum Dot [02044-1-02044-3]
44) Performance of p-i-n Hydrogenated Amorphous Silicon Thin Film Solar Cells Device [02045-1-02045-3]
45) Collision of Two-dimensional Ultrashort Optical Pulses in the Medium with Carbon Nanotubes and the Order Parameter [02046-1-02046-3]
46) Structure Features of Bismuth Films Doped with Tellurium [02047-1-02047-3]
