Вплив постійного і високовольтного імпульсного потенціалів зміщення на структуру і властивості вакуумно-дугових (TiVZrNbHf)Nх покриттів

Автори О.В. Соболь1 , Г.О. Постельник1 , Р.П. Мігущенко1 , В.Ф. Горбань2, В.O. Столбовий3, О.В. Звягольский1
Приналежність

1Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Kирпичова 2, 61002 Харків, Україна

2Інститут проблем матеріалознавства ім. Францевича, вул. Кржижанівського, 3, 03142 Київ-142, Україна

3Національний науковий центр Харківський фізико-технічний інститут, вул. Академічна 1, 61108 Харків, Україна

Е-mail sool@kpi.kharkov.ua
Випуск Том 10, Рік 2018, Номер 2
Дати Одержано 11.12.2017; опубліковано online 29.04.2018
Посилання О.В. Соболь, Г.О. Постельник, Р.П. Мігущенко, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 10 № 2, 02035 (2018)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.10(2).02035
PACS Number(s) 64.75.St, 81.07.Bc, 62.25. – g, 61.05.cp, 61.82.Rx
Ключові слова Вакуумна дуга (6) , (TiVZrNbHf)Nх, Структурна інженерія (6) , Потенціал зміщення (8) , Імпульсний потенціал, Фазовий склад (33) , Структура (212) , Твердість (63) .
Анотація

Досліджено вплив постійного (Ub) і високовольтного імпульсного (Uip) потенціалів зміщення, що подаються на підкладку при конденсації, на структуру і властивості вакуумно-дугових (TiVZrNbHf)Nх покриттів. Встановлено, що зі збільшенням Ub зменшується число і розмір крапельної фази. Використання Uip сприяє однорідної морфології зростання в об'ємі покриття. Показано, що за рахунок збільшення Ub від 0 до 200 В в нітридних покриттях високоентропійних сплавів можна змінити текстуру росту [100] на [111]. Це призводить до збільшення твердості від 32 ГПа до 49 ГПа. Подача високовольтного потенціалу в імпульсної формі призводить до відносного зменшення середнього розміру кристалітів і формуванню бітекстурного стану.Обговорено умови і механізми формування переважної орієнтації кристалітів (аксіальної текстури) вакуумно-дугових (TiVZrNbHf)Nх покриттів і вплив текстури на механічні властивості.

Перелік посилань