Термодинамічні властивості монокристалів кремнію, легованих домішкою бора

Автори О.В. Панченко
Приналежність

Запорізька державна інженерна академія, пр. Соборний, 226, 69006 Запоріжжя, Україна

Е-mail pan.oks.81@mail.ru
Випуск Том 9, Рік 2017, Номер 1
Дати Одержано 01.09.2016, опубліковано online - 20.02.2017
Посилання О.В. Панченко, Ж. нано- електрон. фіз. 9 № 1, 01019 (2017)
DOI 10.21272/jnep.9(1).01019
PACS Number(s) 61.72.sd, 64.70.kg, 65.40.gd
Ключові слова Монокристали кремнію, Конфігураційна ентропія, Енергія Гіббса (3) , Параметр комплексоутворення, Домішка бору (3) .
Анотація У роботі описуються особливості термодинамічних властивостей монокристалів кремнію, легованих домішкою бору. Встановлено залежність розрахованої конфігураційної ентропії монокристалів від ступеню легування бором без урахування і з урахуванням параметра комплексоутворення домішки. Проведено аналіз енергії Гіббса при різних ступенях легування бором. Робота має за мету встановити вплив утворення комплексів бору на внутрішню енергію кристалу в цілому, розкрити та поглибити уяву про утворення комплексів домішки бору в монокристалах кремнію.

Перелік посилань

English version of article