Елементно-фазові та структурні дослідження полікристалічних поверхонь сполук сис-теми β-Ga2O3-SnO2

Автори П.В. Галій1 , В.І. Васильців1, А.П. Лучечко1 , П. Мазур2 , Т.М. Ненчук1 , О.В. Цвєткова1, І.Р. Яровець1
Приналежність

1Львівський національний університет імені Івана Франка, вул. Драгоманова, 50, 79005 Львів, Україна

2Institute of Experimental Physics, University of Wroclaw, 9, pl. Max Born, 50-204 Wroclaw, Poland

Е-mail galiy@electronics.lnu.edu.ua
Випуск Том 10, Рік 2018, Номер 5
Дати Одержано 08.07.2018, у відредагованій формі – 22.10.2018, опубліковано online 29.10.2019
Посилання П.В. Галій, В.І. Васильців, А.П. Лучечко та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 10 № 5, 05039 (2018)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.10(5).05039
PACS Number(s) 68.47.Fg; 68.37.Ps; 82.80.Pv
Ключові слова Високотемпературний твердофазовий синтез, Х-променева фотоелектронна спектроскопія (3) , Елементно-фазовий склад (2) , Топографія (4) , Атомна силова мікроскопія поверхонь.
Анотація

У роботі методом високотемпературного твердофазного синтезу одержані полікристалічні напівпровідникові матеріали (ПНМ) системи 2β-Ga2O3-SnO2. Експерименти показали, що ефективність синтезу у системi 2β-Ga2O3-SnO2 залежить від способу отримання вихiдних сполук. Дослідження поверхонь одержаних ПНМ на предмет можливого їх використання у електронних пристроях, що працюють на ефекті поля та на бар’єрах Шоткі для яких міжфазові межі метал/напівпровідник, метал/діелект­рик/напівпровідник та їх характеристики відіграють вирішальну роль. Зокрема, особливо, елементно-фазовий склад та шорсткість поверхонь ПНМ, які досліджувались адекватним набором експериментальних методів – дифракції повільних електронів (ДПЕ), Х-променевої фотоелектронної спектроскопії (ХФЕС) та атомно-силової мікроскопії (АСМ). Результати дослідження поверхонь ПНМ системи 2β-Ga2O3-SnO2 порівнюються з результатами для поверхонь сколювання монокристалічних β-Ga2O3 і вказують на те, що поверхня ПМН є цілком придатною для виготовлення напівпровідникових, керованих електричним полем, пристроїв метал/напівпровідник, метал/діелектрик/напівпровідник з металевим керуючим електродом, за умови вибору відносно гладких ділянок на поверхні ПНМ.

Перелік посилань

English version of article