Автори | Ю.П. Першин1, О.Ю. Девізенко1, Е.Н. Зубарєв1, В.В. Кондратенко1, D.L. Voronov2, E.M. Gullikson2 |
Афіліація |
1Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Курчатова 2, Харків 61002, Україна 2Advanced Light Source, Berkeley National Laboratory, 1, Cyclotron Road, MS 15R0217, Berkeley, CA 94720 |
Е-mail | |
Випуск | Том 10, Рік 2018, Номер 5 |
Дати | Одержано 18.07.2018; у відредагованій формі 24.10.2018; опубліковано online 29.10.2018 |
Цитування | Ю.П. Першин, О.Ю. Девізенко, Е.Н. Зубарєв, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 10 № 5, 05025 (2018) |
DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.10(5).05025 |
PACS Number(s) | 61.05.cm, 61.43.Dq, 68.65.Ac, 41.50. + h, 07.85.Fv |
Ключові слова | Багатошарове рентгенівське дзеркало (4) , Перемішані зони (2) , Бар'єрні шари (2) , Відбивна здатність (2) , Екстремальний ультрафіолет. |
Анотація |
Методами рентгенівської дифракції (0,154 нм), просвічувачої електронної мікроскопії поперечних зрізів і рефлектометрії в області екстремального ультрафіолету (41-51 нм) досліджені бар'єрні властивості шарів CrB2 товщиною 0.3-1.3 нм в багатошарових рентгенівських дзеркалах (БРД) Sc/CrB2/Si, виготовлених методом прямоточного магнетронного розпилення. Показано, що бар'єрні шари товщиною ~0,3 нм повністю розділяють шари Sc і Si і перешкоджають утворенню перемішаних зон ScSi. Більш тонкі шари діборида хрому взаємодіють з матричними шарами, формуючи шари з переважним вмістом ScB2 на кордонах Si-on-Sc і CrSi2 на кордонах Sc-on-Si. Показано, що БРД Sc/Si з бар'єрами на обох кордонах зберігають високу відбивну здатність на довжині хвилі ~47 нм. |
Перелік посилань |