Вплив умов нанесення тонких полімерних плівок в вакуумі на їх діелектричні властивості

Автори В.Г. Задорожний, О.Є. Сергєєва
Приналежність

Одеська національна академія харчових технологій, вул. Канатна, 112, 65039 Одеса, Україна

Е-mail
Випуск Том 10, Рік 2018, Номер 5
Дати Отримано 12.08.2018; у відредактованій формі – 20.10.2018; опубліковано online 29.10.2018
Посилання В.Г. Задорожний, О.Є. Сергєєва, Ж. нано- електрон. фіз. 10 № 5, 05010 (2018)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.10(5).05010
PACS Number(s) 73.61.Ph
Ключові слова Полімерні плівки (2) , Електронно-променеве нанесення, Діелектрична проникність (17) , Діелектричні втрати (3) .
Анотація

У роботі описується вплив умов проведення вторинної полімеризації на діелектричні властивості тонких полімерних плівок (e' і tgd), отриманих розкладанням і конденсацією полімерів в вакуумі. Розкладання полімеру проводилося електронним променем. Змінними параметрами при ініціюванні вторинної полімеризації були потужність електронного променя, що опромінює підкладку, температура конденсації (підкладки), густина струму електронів, які бомбардують підкладку і їх енергія, а також напруга ВЧ розряду при газорозрядному нанесенні плівок. Найкращі параметри опромінення лежать в певному інтервалі, а саме: Е = 200-400 еВ; j = 0,2-0,3 мА/см2. Як показують результати дослідження структури виготовлених плівок, саме в цьому інтервалі енергій електронів в плівках міститься мінімальна кількість вільних радикалів і ненасичених зв'язків. А саме вони і є центрами асиметрії і погіршують діелектричні втрати в плівках, особливо на високих частотах.

Перелік посилань

English version of article