П’єзоелектричні плівкові хвилеводи поверхневих акустичних хвиль

Автори М.Ф. Жовнір
Приналежність

Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут», вул. Політехнічна, 16/9, 03056 Київ-56, Україна,

Е-mail zhovnir101@gmail.com
Випуск Том 8, Рік 2016, Номер 4
Дати Одержано 02.06.2016, у відредагованій формі - 22.11.2016, опубліковано online - 29.11.2016
Посилання Н.Ф. Жовнир, Ж. нано- електрон. фіз. 8 № 4(1), 04007 (2016)
DOI 10.21272/jnep.8(4(1)).04007
PACS Number(s) 77.65.Dq, 64.60.Ej
Ключові слова Поверхневі акустичні хвилі (ПАХ) (2) , Хвилевід та концентратор ПАХ, Дисперсійне рівняння (2) , Дисперсія фазової швидкості хвилі (2) , Оптичне зондування.
Анотація Приведено результати математичного моделювання п’єзоелектричних плівкових хвилевідних структур поверхневих акустичних хвиль (ПАХ) на базі плівки ZnO на підкладці із плавленого кварцу. Отримані аналітичні співвідношення та результати чисельних розрахунків дозволяють визначати конструктивні параметри хвилевідних структур для забезпечення одномодового режиму поширення ПАХ. Результати експериментальних досліджень амплітуди та фази ПАХ у хвилевідних структурах, проведених на лазерній установці оптичного зондування, підтверджують теоретичні розрахунки.

Перелік посилань