Експрес метод аналізу морфологічних параметрів графенових покриттів на мідній підкладці

Автори О.В. Соболь1 , І.М. Колупаев1, А.В. Мураховскій1, В.С. Левіцкій2, Т.С. Кольцова3, М.В. Козлова3, Т.В. Ларіонова3, В.О. Соболь3
Приналежність

1 Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Кирпичова, 21, 61002 Харків, Україна

2 Санкт-Петербурзький державний електротехнічний університет "ЛЕТІ", вул. Професора Попова, 5, 197376 Санкт-Петербург, Росія

3 Санкт-Петербурзький політехнічний університет Петра Великого, вул. Політехнічна, 29, 19525 Санкт-Петербург, Російська Федерація

Е-mail
Випуск Том 8, Рік 2016, Номер 4
Дати Одержано 30.06.2016, у відредагованій формі - 22.11.2016, опубліковано online - 29.11.2016
Посилання О.В. Соболь, І.М. Колупаев, А.В. Мураховскій та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 8 № 4(1), 04013 (2016)
DOI 10.21272/jnep.8(4(1)).04013
PACS Number(s) 81.05.Uw: 61.05. – a, 64.70.Nd
Ключові слова Графеновие покриття на міді, Технологія CVD, Спектри комбінаційного розсіювання, Оптична мікроскопія (2) , Морфологія покриттів, Комп'ютерна обробка (3) , Мульти-пороговий аналіз, Умови зародження.
Анотація Для отримання шарів графена на мідній підкладці використана CVD технологія в газовій суміші метану, водню і аргону. Поряд з традиційними методами дослідження морфології зростання, такими як спектроскопія комбінаційного розсіювання світла та атомно-силова мікроскопія, в роботі для експрес оцінки ступеня заповнення і питомої площі областей графена використовувався метод многопорогових перетинів з 3-х мірним представлення зображення оптичної мікроскопії, де в якості третьої осі Z використовується шкала інтенсивності. На основі отриманих результатів зроблено висновки про закономірності формування графенових шарів. Виявлено наявність найбільш ймовірних площ формування графенових доменів (~ 13 мкм2) при невеликому часу (10-20 хвилин) процесу отримання. Збільшення часу процесу до 30 хвилин супроводжується підвищенням однорідності розподілу площ формованих доменів графена в діапазоні до 200 мкм2 при високій їх фрактальної розмірності в діапазоні значень HD 1,82 ... 2 0.

Перелік посилань