Структура і властивості зносостійких наноструктурованих покриттів на основі W, Cr та N

В роботі було досліджено вплив на структурно-фазовий стан і механічні властивості складу параметрів отримання нанокомпозитних та наношарових зносостійких покриттів на основі Cr, W та N, отриманих методом магнетронного розпилення. Нанонкомпозитні покриття CrWN осаджувались магнетронним методом із постійними магнітами DCMS з комплексної мішені, яка складалася з Cr та W з різним співвідношенням компонентів по площі. Елетронно-мікроскопічні дослідження отриманих CrWN-покриттів показали нанокристалічну дрібнодисперсну структуру з розміром зерна до 30 нм. Із даних аналізу елементного складу покриттів можна спостерігати чітку кореляцію між складом мішені та складом отриманого покриття. Для наношарових покриттів CrN/WN використовували дві металеві мішені з чистого Cr та W і покриття з нітриду хрому та нітриду вольфраму наносили послідовно методом магнетронного розпилення. Була отримана щільна і гладка мікроструктура багатошарових покриттів. Підтверджено наявність наношарової структури і показано послідовну зміну шарів CrN і WN. Спостерігались плавні та чіткі інтерфейси між шарами CrN та WN, що вказує на щільну і добру упаковану конфігурацію багатошарового покриття. Наношарові покриття CrN/WN демонстрували високу твердість близько 30 ГПа, що було вище, ніж для нанокомпозитного покриття CrWN, де твердість становило близько 23 ГПа.