Електродинамічні властивості резонаторних зондів для локальної НВЧ діагностики наноелектронних об'єктів

Автори О.Ю. Бабиченко , Ю.С. Васильєв , В.П. Карнаушенко, М.І. Пятайкіна , І.М. Щербань
Приналежність

Харківський національний університет радіоелектроніки, пр. Науки, 14, 61166 Харків, Україна

Е-mail ihor.shcherban@nure.ua
Випуск Том 16, Рік 2024, Номер 2
Дати Одержано 01 лютого 2024; у відредагованій формі 15 квітня 2024; опубліковано online 29 квітня 2024
Посилання О.Ю. Бабиченко, Ю.С. Васильєв, В.П. Карнаушенко, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 16 № 2, 02014 (2024)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.16(2).02014
PACS Number(s) 41.20.Jb, 07.79. – v
Ключові слова Резонаторні зонди, Чвертьхвильовий резонатор, Розподіл поля на відстані вістря-зразок, Нанооб'єкти, Електродинамічні властивості, Метод скінченних елементів, Локальна мікрохвильова діагностика, Ре-гульована чутливість, Ближнє поле (3) , Екванесцентне електромагнітне поле.
Анотація

У роботі основну увагу приділено деталізації розподілу ближнього еванесцентного поля залежно від геометрії апертурно-утворюючої області, електрофізичних властивостей об'єктів, що досліджуються, та оцінки прийомів сканування властивостей об'єктів по глибині. Наведено результати дослідження електродинамічних властивостей резонаторних зондів з коаксіальною апертурою, розроблених для локальної НВЧ діагностики різних об'єктів. Зокрема, аналізується вплив розміру та форми вістря, відстані вістря-зразок на розподіл поля класичного чвертьхвильового вимірювального резонаторного перетворювача. Наводяться кількісні залежності, що всебічно характеризують систему зонд-об'єкт по локальності та чутливості. Обговорюються різні варіанти зміни геометрії апертурного вузла зондів для оптимізації характеристик перетворення НВЧ сенсорів. Наводяться результати дослідження розподілу поля зонда з чутливістю, що перебудовується, за рахунок зміни положення кінця вістря щодо площини апертури. Встановлено залежність розподілу поля від усунення вістря у такому зонді. Досліджено різні варіації режимів роботи зонда з чутливістю, що перебудовується: занурення вістря в апертуру зонда, висування вістря усередину об'єкта, висування вістря зонда з апертури до поверхні об'єкта.

Перелік посилань