Кінетика розподілу надлишкових носіїв заряду в двосторонньому макропористому кремнії з різною товщиною пористих шарів

Автори В.Ф. Онищенко
Приналежність

Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, пр. Науки, 41, 03028 Київ, Україна

Е-mail onyshchenkovf@isp.kiev.ua
Випуск Том 14, Рік 2022, Номер 4
Дати Одержано 24 травня 2022; у відредагованій формі 14 серпня 2022; опубліковано online 25 серпня 2022
Посилання В.Ф. Онищенко, Ж. нано- електрон. фіз. 14 № 4, 04018 (2022)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.14(4).04018
PACS Number(s) 73.50.Pz
Ключові слова Макропористий кремній (6) , Релаксація (10) , Кінетика (6) , Розподіл надлишкових носіїв заряду.
Анотація

Представлена кінетика розподілу концентрації надлишкових неосновних носіїв заряду в двосторонньому макропористому кремнії з різною товщиною пористих шарів. Виявлена залежність тривалості неекспонентного початку релаксації розподілу концентрації надлишкових носіїв заряду в двосторонньому макропористому кремнії від товщини фронтального макропористого шару. Аналогічна залежність спостерігається в тильному макропористому шарі товщиною 200 мкм після припинення генерації надлишкових носіїв заряду світлом з довжиною хвилі 1,05 мкм. Концентрація надлишкових носіїв заряду у фронтальному макропористому шарі спадає швидко завдяки високій генерації та рекомбінації надлишкових носіїв заряду. Зменшення концентрації надлишкових неосновних носіїв заряду в тильному макропористому шарі товщиною 100 мкм та монокристалічній підкладці має дуже коротку не експонентну частину завдяки низькій генерації та рекомбінації надлишкових неосновних носіїв заряду, відповідно. Рівняння дифузії, записане для двостороннього макропористого кремнію, розв’язано чисельним методом. Для розв’язку використовували граничну та початкову умови. Гранична умова була записана на межах макропористих шарів. Початковий розподіл концентрації надлишкових неосновних носіїв заряду в двосторонньому макропористому кремнії у напрямку, паралельному порам, знайдений з системи рівнянь. Цей початковий розподіл розраховувався за умови освітлення макропористого кремнію світлом з довжинами хвиль 0,95 мкм та 1,05 мкм. В початковому розподілі концентрації неосновних надлишкових носіїв заряду спостерігається один або два максимуми. Два максимуми спостерігаються при освітлені двостороннього макропористого кремнію світлом з довжиною хвилі 0,95 мкм.

Перелік посилань