Формування варізонної активної області фотоелектричного перетворювача на основі твердих розчинів AlGaAs модуляцією потоку триметилалюмінію в методі МОСепітаксії

Автори С.І. Круковський1,2, Г.А. Ільчук2 , Р.С. Круковський1,2, І.В. Семків2, Е.О. Змійовська2, С.В. Токарєв2
Приналежність

11 НВП “ЕЛЕКТРОН-КАРАТ”, вул. Стрийська, 202, 79031 Львів, Україна

2Національний університет “Львівська політехніка”, вул. С. Бандери, 12, 79013 Львів, Україна

 

Е-mail goro0609@gmail.com
Випуск Том 10, Рік 2018, Номер 3
Дати Одержано 14.02.2018, опубліковано online 25.06.2018
Посилання С.І. Круковський, Г.А. Ільчук, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 10 № 3, 03025 (2018)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.10(3).03025
PACS Number(s) 61.72.uj, 73.61.Ey, 81.15.Gh
Ключові слова AlGaAs (5) , МОС-гідридна епітаксія, Варізонна структура.
Анотація

Представлено методику формування гетероструктури \р\р+ за допомогою методу МОС-гідридної епітаксії в температурному діапазоні 630-700 °С. Проведено дослідження розподілу концентрації носіїв заряду по товщині епітаксійних шарів - легованих кремнієм та концентрації по товщині шару твердого розчину 1-. високу структурну досконалість отриманих епітаксійних шарів структури. Створено сонячний елемент з активною площею 1 см2. Показано, значення коефіцієнта корисної дії (  25,37 %) отриманого сонячного елемента, що є вищим від такого значення елементів на основі GaAs.

Перелік посилань

English version of article