Вплив товщини пластини та кількості сіток трафаретного друку на Al-BSF у кристалічних кремнієвих сонячних елементах

Автори B. Labdelli1,2, A. Djelloul1 , L. Benharrat1, A. Boucheham1 , H. Mazari2, R. Chalal1, A. Manseri1
Приналежність

1Centre de Recherche en Technologie des Semi-Conducteurs pour l’Energétique ‘CRTSE’, 02 Bd Frantz Fanon, BP 140, 7 Merveilles, Alger, Algérie

2Laboratory, Department of Electronics, Sidi Bel Abbes University, B.P. 89, 22000 Algeria

Е-mail boutaleb200574@yahoo.fr
Випуск Том 15, Рік 2023, Номер 6
Дати Одержано 15 вересня 2023; у відредагованій формі 14 грудня 2023; опубліковано online 27 грудня 2023
Посилання B. Labdelli, A. Djelloul, L. Benharrat, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 15 № 6, 06027 (2023)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.15(6).06027
PACS Number(s) 61.72.Cc, 81.15._z, 61.72.uf, 84.60.Jt
Ключові слова Швидка термічна обробка, Трафаретний друк, Al-BSF, Кремній (84) , Сонячні батареї (2) .
Анотація

У роботі були проведені експериментальні дослідження процесу легування алюмінієвих (Al) паст, надрукованих трафаретним друком на кремнієвих поверхнях для сонячних елементів. Досліджений вплив товщини пластини та кількості сіток трафаретного друку на властивості поля задньої поверхні Al (Al-BSF) кремнієвих сонячних елементів Чохральського (Cz-Si). Використовувалися екрани з різною кількістю сіток (150, 200 і 400 меш) для друку різної кількості пасти Al (7, 9,4 та 12 мг/см2). Швидкий термічний відпал (RTP) при 750 °C і 800 °C протягом 60 с був застосований для формування AL-BSF. SEM показав утворення шорсткої поверхні з шаром легуючого шару товщиною 4,31 мкм на об’ємній кремнієвій пластині. Аналіз ECV та SIMS показав, що пікова температура відпалу 750 °C і кількість пасти Al 12 мг/см2 підходять для створення оптимального Al-BSF. Ця робота виявила, що на властивості Al-BSF сильно впливає кількість меш, яка використовується для трафаретного друку пасти Al. Однак не було помічено монотонного зв’язку з товщиною пластини. Маска з 150 меш дозволила отримати високі концентрації Al на поверхні, максимальну глибину дифузії та більший середній час життя носіїв заряду.

Перелік посилань