Автори | О.В. Соболь1 , О.А. Шовкопляс2 |
Афіліація | 1 Національний технічний університет “ХПІ”, вул. Фрунзе, 21, 61002, Харків, Україна 2 Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007, Суми, Україна |
Е-mail | sana@mss.sumdu.edu.ua |
Випуск | Том 6, Рік 2014, Номер 3 |
Дати | Одержано 14.05.2014, опубліковано online – 15.07.2014 |
Цитування | О.В. Соболь, О.А. Шовкопляс, Ж. Нано- електрон. фіз. 6 № 3, 03071 (2014) |
DOI | |
PACS Number(s) | 81.07.Bc, 81.15.Cd, 61.05.cp, 64.60.My, 64.70.Nd, 68.55.jm, 61.50.Ks |
Ключові слова | Іонно-плазмові покриття (2) , Квазібінарна система TiC-WC, Рентгеноструктурні дослідження (4) , Фазовий склад (34) , Текстура (13) , Субструктура (7) , Термічний фактор, Теплота утворення. |
Анотація | Проведені дослідження впливу температури осадження іонно-плазмових покриттів (магнетронна схема) квазібінарної системи TiC-WC різного складу. Показано суттєве розширення можливих структурних і субструктурних станів при нерівноважних умовах отримання матеріалу з іонно-плазмових потоків. Склад змінюється від однофазного (Ti, W)C до двофазного (Ti, W)C й α-W2C. Структура – від нетекстурованої до текстури з осями [111], [100] або [110]. Тип текстури залежить від температури осадження й складу. При однофазному стані на субструктурному рівні підвищення температури підкладки приводить до збільшення розмірів кристалітів і зменшення мікродеформації. Утворення другої фази приводить до зворотних ефектів – підвищенню дисперсності покриття і збільшенню мікродеформації. |
Перелік посилань |