Вплив термічного фактора на фазово-структурні й субструктурні станиіонно-плазмових покриттів квазібінарної системи TiC-WC

Автори О.В. Соболь1 , О.А. Шовкопляс2
Приналежність

1 Національний технічний університет “ХПІ”, вул. Фрунзе, 21, 61002, Харків, Україна

2 Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007, Суми, Україна

Е-mail sana@mss.sumdu.edu.ua
Випуск Том 6, Рік 2014, Номер 3
Дати Одержано 14.05.2014, опубліковано online – 15.07.2014
Посилання О.В. Соболь, О.А. Шовкопляс, Ж. Нано- електрон. фіз. 6 № 3, 03071 (2014)
DOI
PACS Number(s) 81.07.Bc, 81.15.Cd, 61.05.cp, 64.60.My, 64.70.Nd, 68.55.jm, 61.50.Ks
Ключові слова Іонно-плазмові покриття (2) , Квазібінарна система TiC-WC, Рентгеноструктурні дослідження (4) , Фазовий склад (33) , Текстура (11) , Субструктура (7) , Термічний фактор, Теплота утворення.
Анотація Проведені дослідження впливу температури осадження іонно-плазмових покриттів (магнетронна схема) квазібінарної системи TiC-WC різного складу. Показано суттєве розширення можливих структурних і субструктурних станів при нерівноважних умовах отримання матеріалу з іонно-плазмових потоків. Склад змінюється від однофазного (Ti, W)C до двофазного (Ti, W)C й α-W2C. Структура – від нетекстурованої до текстури з осями [111], [100] або [110]. Тип текстури залежить від температури осадження й складу. При однофазному стані на субструктурному рівні підвищення температури підкладки приводить до збільшення розмірів кристалітів і зменшення мікродеформації. Утворення другої фази приводить до зворотних ефектів – підвищенню дисперсності покриття і збільшенню мікродеформації.

Перелік посилань