| Автори | С.І. Шулима1, Н.А. Курган1, В.Х. Касіяненко2, 1 , В.Л. Карбівський1, В.В. Стоніс1, Н.О. Зуєва1, О.А. Пузько1, Л.П. Клюєнко1, О.І. Соболєв1 |
| Афіліація |
1Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України, 03142 Київ, Україна 2Вінницький національний технічний університет, 21021 Вінниця, Україна |
| Е-mail | kurgan@imp.kiev.ua |
| Випуск | Том 18, Рік 2026, Номер 3 |
| Дати | Одержано 20 лютого 2026; у відредагованій формі 14 червня 2026; опубліковано online 26 червня 2026 |
| Цитування | С.І. Шулима, Н.А. Курган, В.Х. Касіяненко, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 18 № 3, 03010 (2026) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.18(3).03010 |
| PACS Number(s) | 68.55.J –, 68.37.Hk, 07.85.Jy, 52.70.Gw, 52.70.Kz |
| Ключові слова | Тонкі плівки ZnO (3) , Радіочастотне магнетронне розпилення, Оптичні властивості (31) , Структурні властивості (11) , Енергія Урбаха (2) , Механічні напруження (5) . |
| Анотація |
Досліджено вплив концентрації допанта Bi на оптичні та структурні властивості тонких плівок ZnO, синтезованих методом радіочастотного магнетронного осадження, з фокусом на аналіз енергії Урбаха та внутрішніх механічних напружень. Показано, що підвищення концентрації Bi у плівках ZnO супроводжується зростанням механічних напружень, пов’язаних із локальними спотвореннями кристалічної гратки. Ці деформації можуть виникати внаслідок заміщення іонів Zn2+ більшими іонами Bi3+ або утворення вторинної фази Bi2O3, що в обох випадках спричиняє розвиток внутрішніх напружень у плівках. Встановлено, що при незначних концентраціях допанта Bi (до 1.8 ат. %) механічні напруження не впливають на діаметр наностовпчикової структури тонких плівок ZnO, тоді як при значних концентраціях (більше 5 ат. %) спостерігається пригнічення латерального росту наностовпчиків із відповідним зменшенням їх діаметрів. Показано, що енергія Урбаха допованих Bi плівок ZnO істотно перевищує відповідне значення для недопованих зразків, що вказує на розширення хвостів локалізованих станів у забороненій зоні внаслідок допування вісмутом. Хоча макроскопічні механічні напруження впливають на значення енергії Урбаха, її немонотонна залежність від концентрації Bi зумовлена насамперед іншими чинниками – зокрема локальними флуктуаціями електростатичного потенціалу та розорієнтацією наностовпчикової структури. |
|
Перелік посилань |