Визначення критичних значень параметрів системи нерухомих електронних потоків при обробці оксидних покриттів на протяжних оптичних елементах

Розроблено математичну модель зовнішнього рівномірно розподіленого теплового впливу на поверхню плоского двошарового елемента з оптичного скала К108 та оксидного покриття з Al₂O₃, MgO, що враховує температурні залежності їх теплофізичних властивостей (об’ємної теплоємності та коефіцієнта теплопровідності). Визначено критичні значення параметрів зовнішніх теплових впливів (теплових потоків та часів їх  дії), які призводять до руйнування покриттів (поява тріщин, відколів, відшарувань та ін.). Вирішено задачу реалізації рівномірно розподіленого теплового впливу вздовж поверхні оксидного покриття за допомогою системи нерухомих стрічкових електронних потоків (СЕП), що входять у вигляді програмно керованого модуля у оснастку сучасного електронно-променевого обладнання. Визначено допустимі режими обробки поверхонь покриттів (кількість СЕП, керовані параметри кожного СЕП (струм, прискорююча напруга та відстань до оброблюваної поверхні)), що дозволяють покращувати їх експлуатаційні характеристики та попереджати можливі руйнування у екстремальних умовах експлуатації приладів (підвищені температури нагріву, термоударні впливи та ін.). Електронно-променева обробка протяжних елементів з оптичного скла та керамік, елементів з п’єзокерамік, а також оптичних елементів з покриттями з оксидів металів визначається як потенційно спроможна для якісної обробки їх поверхонь за допомогою системи нерухомих СЕП, які можуть бути використані як елементна база у мікрооптиці, інтегральній та волоконній оптиці, функціональній електроніці та інших галузях точного приладобудування.