ВІМС аналіз тонких плівок мідно-нікелевих сплавів
| Автори | В.Б. Лобода1 , В.М. Зубко1, С.М. Хурсенко1 , А.І. Салтикова2 , А.В. Чепіжний1 |
| Приналежність |
1Сумський національний аграрний університет, 40021 Суми, Україна 2Сумський державний педагогічний університет ім. А.С. Макаренка, 40002 Суми, Україна |
| Е-mail | loboda-v@i.ua |
| Випуск | Том 16, Рік 2024, Номер 1 |
| Дати | Одержано 05 січня 2024; у відредагованій формі 16 лютого 2024; опубліковано online 28 лютого 2024 |
| Посилання | В.Б. Лобода, В.М. Зубко, С.М. Хурсенко, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 16 № 1, 01011 (2024) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.16(1).01011 |
| PACS Number(s) | 68.55.Nq, 68.49.Sf, 82.80.Ms |
| Ключові слова | Вторинно-іонний мас-спектрометричний аналіз, Тонкі плівки (64) , Мідно-нікелеві сплави (2) . |
| Анотація |
У статті наведено результати дослідження елементного та ізотопного складу плівок сплавів на основі Cu і Ni методом вторинно-іонного мас-спектрометричного аналізу (вторинно-іонний мас-спектрометр МС-7201 М). Плівки сплавів товщинами до 130 нм були отримані на скляних полірованих підкладках з попередньо нанесеним буферним шаром Al одночасним роздільним випаровуванням компонент у вакуумі 10-4 Па. Мідь випаровувалася зі стрічки з вольфрамової фольги товщиною 0,05 мм. Нікель випаровувався електронно-променевим способом за допомогою електронної діодної гармати. Швидкість конденсації становила 0,5-1,5 нм/с. Чистота випаровуваних металів становила щонайменше 99,98%. В якості зондууючих первинних іонів використовувалася іони Ar+ з енергією 5 кеВ. Результати якісного мас-спектрометричного аналізу вторинних іонів свідчать про високу чистоту плівок (відсутність гідридів, оксидів і карбідів Cu та Ni). Елементний склад плівок представлений ізотопами Ni58, Ni60 та Cu63, Cu65. Відношення ізотопних інтенсивностей складають та , що відповідає природній поширеності ізотопів нікелю та міді. Відношення ізотопних інтенсивностей практично не змінюється по всій товщині зразка. Було показано, що методом вторинно-іонної мас-спектрометрії можна проводити також і кількісний аналіз елементного складу плівкових сплавів. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Мікрополоскова патч-антена з високим коефіцієнтом посилення з круглим слотом для додатків WiGig у V-діапазоні [01001-1-01001-5]2) Широкосмуговий метаповерхневий поглинач із ультратонкими та гнучкими функціями для мікрохвильових застосувань [01002-1-01002-6]
3) Механічні властивості сплавів Pb–Sn–Ba для струмовідводів свинцево-кислотних акумуляторів, отриманих методом гартування з розплаву [01003-1-01003-6]
4) Вплив накопичення домішкових атомів Ni та Fe на електрофізичні властивості монокристалів Si [01004-1-01004-4]
5) Визначення критичних значень параметрів системи нерухомих електронних потоків при обробці оксидних покриттів на протяжних оптичних елементах [01005-1-01005-7]
6) Ефект електрон-фононної взаємодії в питомому опорі металевих плівок як елементів сенсорної електроніки [01006-1-01006-4]
7) Поглинання та пропускання макропористого кремнію та нанодротин [01007-1-01007-6]
8) Розрахунок показника заломлення з використанням оптичної забороненої зони: тонкі плівки для піролізу розпиленням TiO2 [01008-1-01008-4]
9) Фазові переходи та особливості структури нітратів двовалентних елементів [01009-1-01009-3]
10) Дослідження впливу технологічних факторів на високовольтні p0–n0 переходи на основі GaAs [01010-1-01010-5]
11) Полікристали оксиду цинку для гетеропереходу та інфрачервоний УФ-фотодетектор [01012-1-01012-6]
12) Фотопровідність кристалічного кремнію з аморфними включеннями [01013-1-01013-5]
13) Оптимізація матеріалу електронного транспортного шару для Cs2AgBiBr6 на основі сонячної батареї з використанням SCAPS [01014-1-01014-4]
14) Енергооптимізовані інформаційні системи для мобільної робототехніки у фізичних процесах [01015-1-01015-7]
15) Електронні та магнітні властивості твердого розчину Cr: ZnSeTe з катіонною вакансією [01016-1-01016-5]
16) Уніфіковане дослідження електротранспортних властивостей деяких рідких лужних елементів методом псевдопотенціалу [01017-1-01017-4]
17) Вплив температури на характеристики N-канального польового транзистора GaP Fin (GaP-FinFET) [01018-1-01018-4]
18) Оперативна ідентифікація несправності перемикача IGBT у двонаправленому мікромережевому інверторі, пов’язаному з розподіленими енергетичними ресурсами [01019-1-01019-5]
19) Оцінка електричних і теплових характеристик готового композиту PVA-Ag з наночастинками срібла [01020-1-01020-4]
20) Термодинамічний аналіз рівноважного складу парової фази системи Cd-I2 [01021-1-01021-4]
21) Синтез тонких плівок надпровідника NiS з високою електропровідністю [01022-1-01022-6]
22) Синтез тонких плівок SnO2 для вимірювання газу органічними сонячними елементами [01023-1-01023-3]
23) Наночастинки ZnO/ZnS: електрохімічний синтез, аналіз та перспективи застосування [01024-1-01024-4]
24) Вплив домішок алюмінія (Al: 0, 1, 2 і 3 мас.%) на електричні властивості гетеропереходу ZnO:Al/p-Si для застосувань в оптоелектроніці [01025-1-01025-5]
25) Електричні та механічні властивості епоксидних композитів, наповнених наночастинками вуглецю та Co3O4 [01026-1-01026-10]
26) Механіко-динамічні властивості п'єзоперетворювача за наявності активного акустичного екрана [01027-1-01027-6]
27) Квантово-статистичні властивості тримодової системи конденсатів Бозе-Ейнштейна атом-молекула для ненульових внутрішньовидових взаємодій: антигрупування [01028-1-01028-6]
28) Вплив термовідпалювання на фізичні властивості хімічно синтезованих нанокристалічних тонких плівок SnO2 [01029-1-01029-5]
29) Фізика високої ефективності кремнієвого сонячного елемента з нановключеннями халкогенідів свинцю [01030-1-01030-5]
