Експериментальне дослідження розподілу енергії при осадженні сфокусованим іонним променем в іонно-променевій літографії
| Автори | M. Muratov1, M. Myrzabekova1, N. Guseinov1, R. Nemkayeva1, D. Ismailov1, Ya. Shabelnikova2, S. Zaitsev2 |
| Приналежність |
1National Nanotechnological Laboratory of Open Type, Al-Farabi Kazakh National University, Almaty, Kazakhstan 2Institute of Microelectronics Technology and High-Purity Materials RAS, Chernogolovka, Russia |
| Е-mail | |
| Випуск | Том 12, Рік 2020, Номер 4 |
| Дати | Одержано 21 квітня 2020; у відредагованій формі 15 серпня 2020; опубліковано online 25 серпня 2020 |
| Посилання | M. Muratov, M. Myrzabekova, N. Guseinov, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 12 № 4, 04038 (2020) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.12(4).04038 |
| PACS Number(s) | 82.35. − x, 85.40.Hp |
| Ключові слова | Іонно-променева літографія, Покриття (76) , FIB (сфокусований іонний промінь), Полі-(метилметакрилат) (PMMA), Іон галію, Чутливість (22) , Контрастність. |
| Анотація |
Було проведено перше і ретельне порівняння чутливості найбільш часто використовуваного покриття PMMA 950K до впливу як електронів, так і іонів галію в широкому діапазоні доз опромінення при однаковій енергії пучка. Було встановлено, що покриття PMMA 950K має позитивну чутливість 0,15 мкКл/см2, і приблизно на три порядки більш чутливе до іонів галію, ніж до електронів в тих самих умовах. При високих дозах опромінення іонами галію, а також при опроміненні електронами спостерігається негативна чутливість. Також вивчали глибину травлення покриття PMMA 950K після його травлення в розчиннику залежно від дози опромінення. Виходячи з цього, була запропонована аналітична модель з використанням густини поглинутої енергії у формі зміщеного гаусіана, яка дозволила відновити контрастність покриття PMMA 950K та енергетичну довжину за експериментальними даними. Запропонована модель точно описує як експериментальні результати, так і результати моделювання. Було показано, що контрастність для покриття PMMA 950K становить γ ~ 3,1 для енергій іонів галію, а енергетична довжина є рівною Le = 43 нм. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Виготовлення та характеристика поліанілінових нановолоконних плівок різними методиками [04001-1-04001-5]2) Нелінійна модель розм’якшення поверхні льоду при терті, що враховує просторову неоднорідність температури [04002-1-04002-6]
3) Вплив різних режимів термічної обробки на електричні властивості та мікроструктуру n-Si [04003-1-04003-5]
4) Синтез та характеристика температурно-контрольованих наночастинок SnO2, виготовлених методом твердотільної реакції [04004-1-04004-6]
5) Моделювання динаміки руйнування двовимірного карбіду титану Ti2C при різних типах навантаження розтягу [04005-1-04005-4]
6) Особливості структурної організації наноалмазів у матриці поліетиленгліколю [04006-1-04006-6]
7) Характеристика кристалічної структури та магнітних властивостей результатів синтезу наночастинок таотриманих за допомогою методу співосадження [04007-1-04007-4]
8) Вплив рН на морфологію структури і магнітні властивості впорядкованої фази наночастинок кобальт-заміщеного літієвого фериту, синтезованого золь-гель методом [04008-1-04008-7]
9) Низькопрофільна ультраширокосмугова мікросмужкова антена на основі LTCC для додатків міліметрового діапазону до 100 ГГц [04009-1-04009-6]
10) Виготовлення та інтерпретація композиту цинку-церію: структурні та теплові дослідження [04010-1-04010-5]
11) Особливості початкової стадії формування квазікристалічних тонких плівок системи Ti-Zr-Ni [04011-1-04011-6]
12) Структурні дослідження механічно легованого порошку [04012-1-04012-5]
13) Адсорбція водню на іонах Li+ та Na+, оздоблених короненом та корануленом: DFT, SAPT0 та IGM дослідження [04013-1-04013-6]
14) Реалізація системи зонду Кельвіна для обробки поверхні напівпровідника [04014-1-04014-6]
15) Вплив слабкого обмеження на оптичні властивості хімічно синтезованих наночастинок ZnS [04015-1-04015-5]
16) Вплив векторного параметра порядку на динаміку 3D ультракоротких імпульсів у вуглецевих нанотрубках [04016-1-04016-4]
17) Структурні, оптичні та електричні властивості легованих Ce наночастинок SnO2, підготовлених методом горіння гелю з додаванням поверхнево-активних речовин [04017-1-04017-6]
18) Структурно-механічні дослідження сегнетоелектриків BaxPb1 − xTiO3 в залежності від температури спікання [04018-1-04018-5]
19) Вплив концентрації наночастинок на характеристики трансформаторної олії [04019-1-04019-4]
20) Вплив структури поруватого шару кремнію на адсорбцію газів [04020-1-04020-5]
21) Випромінювання світла з кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією [04021-1-04021-5]
22) Вирощування кристалів та електрооптичні характеристики сполуки In2Se2.7Sb0.3 [04022-1-04022-4]
23) Енергія електронів у прямокутних та циліндричних квантових дротах [04023-1-04023-5]
24) Комірка пам'яті 6T-SRAM з наднизьким енергоспоживанням, високим SNM, швидкодією і високою температурою в 3C-SiC за 130 нм технологією CMOS [04024-1-04024-4]
25) Вимірювання кута атаки ракетного аерофізічного комплексу в польоті на основі датчика Холла і електронної вимірювальної системи [04025-1-04025-5]
26) Особливості пружних та непружних властивостей радіаційно зв’язаних гідрогелів [04026-1-04026-5]
27) Структурні та оптичні властивості полікристалічного нанопорошку ZnO, синтезованого методом прямого осадження [04027-1-04027-5]
28) Удосконалення базової моделі сонячного колектора для PVT системи [04028-1-04028-5]
29) Вплив оксиду графену на властивості та вивільнення лікарських засобів з апатит-полімерних композитів [04029-1-04029-7]
30) Адгезійна міцність нанокомпозитних покриттів TiZrN/TiSiN на підкладці зі сталі з перехідним підшаром [04030-1-04030-6]
31) Термічний вплив на морфологію поверхні іонно-плазмового покриття [04031-1-04031-5]
32) Деякі властивості та структурні особливості композитних ПВХ/Сu плівок з наночастинками міді, отриманих методом електричного вибуху провідника [04032-1-04032-5]
33) Порівняльний аналіз застосування деяких карбонових матеріалів як контрастних речовин для фотоакустичної томографії [04033-1-04033-6]
34) Динаміка електропружної сферичної оболонки з заповнювачем при прийомі звуку [04034-1-04034-7]
35) Вплив хімічного складу і температури електроліту на розмір та структуру нанокристалів сульфіду кадмію, отриманих електролітичним методом [04035-1-04035-6]
36) Морфологічні особливості нанопористої структури гранул аміачної селітри на стадії фінального сушіння в багатоступеневих апаратах [04036-1-04036-6]
37) До теорії супергетеродинних ЛВЕ з поздовжнім електростатичним ондулятором [04037-1-04037-5]
38) Особливості магнетокалорічного ефекту в феромагнітних циліндричних нанодротах, що містять доменну стінку [04039-1-04039-3]
