Реалізація системи зонду Кельвіна для обробки поверхні напівпровідника
| Автори | C. Zegadi1 , Z. Lounis2, A. Haichour1 , A. Hadj Kaddour2, D. Ghaffor2 |
| Приналежність |
1Micro and Nanophysics Laboratory (LaMiN), National Polytechnic School of Oran, ENP Oran-Maurice AUDIN, BP1523 El-Mnaouer, 31000 Oran, Algeria 2LABMAT, National Polytechnic School of Oran, ENP Oran Maurice AUDIN, Oran, Algeria |
| Е-mail | chawki.zegadi@enp-oran.dz |
| Випуск | Том 12, Рік 2020, Номер 4 |
| Дати | Одержано 12 квітня 2020; у відредагованій формі 20 серпня 2020; опубліковано online 25 серпня 2020 |
| Посилання | C. Zegadi, Z. Lounis, A. Haichour, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 12 № 4, 04014 (2020) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.12(4).04014 |
| PACS Number(s) | 07.79. − v, 73.40.Cg, 68.37. − d |
| Ключові слова | Контактна різниця потенціалів, Зонд Кельвіна, Структура MIS, Поверхневі явища. |
| Анотація |
Знання електричних властивостей матеріалів неминуче в поверхневих технологіях, таких як мікротехнологія, корозія тощо. Що стосується поверхневих явищ, то робота виходу являє собою основну властивість. Вона була розроблена лордом Кельвіном і відповідає контактній різниці потенціалів між двома поверхнями матеріалів. У роботі збирання даних системи зонду Кельвіна (KPS) проводилося після послідовних випробувань в електронних обчисленнях і фізичних полях з метою отримання роботи виходу провідникових і напівпровідникових матеріалів. Ця система виявила велике значення управління напругою підтримки Vb для обчислення конденсатора, застосованого в структурі метал-діелектрик-напівпровідник для вимірювання поверхневого потенціалу напівпровідників. Деякі проблеми були вирішені під час створення системи, і відповідна частота 50 Гц була належним чином відрегульована. Однак вольт-амперне перетворення в KPS не проводилося через нечутливість використаних підсилювачів. Щоб зрозуміти цю складність експериментального дослідження сигналу, ми використали обчислення за допомогою коду Фортран. Воно підтвердило, що сигнал зонда Кельвіна має дуже слабку амплітуду порядка піковольт. З іншого боку, завдяки іншим доступним вимірювальним приладам, чутливість яких значно нижча, ніж сам сигнал, ці результати виправдовують експериментальні кроки. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Виготовлення та характеристика поліанілінових нановолоконних плівок різними методиками [04001-1-04001-5]2) Нелінійна модель розм’якшення поверхні льоду при терті, що враховує просторову неоднорідність температури [04002-1-04002-6]
3) Вплив різних режимів термічної обробки на електричні властивості та мікроструктуру n-Si [04003-1-04003-5]
4) Синтез та характеристика температурно-контрольованих наночастинок SnO2, виготовлених методом твердотільної реакції [04004-1-04004-6]
5) Моделювання динаміки руйнування двовимірного карбіду титану Ti2C при різних типах навантаження розтягу [04005-1-04005-4]
6) Особливості структурної організації наноалмазів у матриці поліетиленгліколю [04006-1-04006-6]
7) Характеристика кристалічної структури та магнітних властивостей результатів синтезу наночастинок таотриманих за допомогою методу співосадження [04007-1-04007-4]
8) Вплив рН на морфологію структури і магнітні властивості впорядкованої фази наночастинок кобальт-заміщеного літієвого фериту, синтезованого золь-гель методом [04008-1-04008-7]
9) Низькопрофільна ультраширокосмугова мікросмужкова антена на основі LTCC для додатків міліметрового діапазону до 100 ГГц [04009-1-04009-6]
10) Виготовлення та інтерпретація композиту цинку-церію: структурні та теплові дослідження [04010-1-04010-5]
11) Особливості початкової стадії формування квазікристалічних тонких плівок системи Ti-Zr-Ni [04011-1-04011-6]
12) Структурні дослідження механічно легованого порошку [04012-1-04012-5]
13) Адсорбція водню на іонах Li+ та Na+, оздоблених короненом та корануленом: DFT, SAPT0 та IGM дослідження [04013-1-04013-6]
14) Вплив слабкого обмеження на оптичні властивості хімічно синтезованих наночастинок ZnS [04015-1-04015-5]
15) Вплив векторного параметра порядку на динаміку 3D ультракоротких імпульсів у вуглецевих нанотрубках [04016-1-04016-4]
16) Структурні, оптичні та електричні властивості легованих Ce наночастинок SnO2, підготовлених методом горіння гелю з додаванням поверхнево-активних речовин [04017-1-04017-6]
17) Структурно-механічні дослідження сегнетоелектриків BaxPb1 − xTiO3 в залежності від температури спікання [04018-1-04018-5]
18) Вплив концентрації наночастинок на характеристики трансформаторної олії [04019-1-04019-4]
19) Вплив структури поруватого шару кремнію на адсорбцію газів [04020-1-04020-5]
20) Випромінювання світла з кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією [04021-1-04021-5]
21) Вирощування кристалів та електрооптичні характеристики сполуки In2Se2.7Sb0.3 [04022-1-04022-4]
22) Енергія електронів у прямокутних та циліндричних квантових дротах [04023-1-04023-5]
23) Комірка пам'яті 6T-SRAM з наднизьким енергоспоживанням, високим SNM, швидкодією і високою температурою в 3C-SiC за 130 нм технологією CMOS [04024-1-04024-4]
24) Вимірювання кута атаки ракетного аерофізічного комплексу в польоті на основі датчика Холла і електронної вимірювальної системи [04025-1-04025-5]
25) Особливості пружних та непружних властивостей радіаційно зв’язаних гідрогелів [04026-1-04026-5]
26) Структурні та оптичні властивості полікристалічного нанопорошку ZnO, синтезованого методом прямого осадження [04027-1-04027-5]
27) Удосконалення базової моделі сонячного колектора для PVT системи [04028-1-04028-5]
28) Вплив оксиду графену на властивості та вивільнення лікарських засобів з апатит-полімерних композитів [04029-1-04029-7]
29) Адгезійна міцність нанокомпозитних покриттів TiZrN/TiSiN на підкладці зі сталі з перехідним підшаром [04030-1-04030-6]
30) Термічний вплив на морфологію поверхні іонно-плазмового покриття [04031-1-04031-5]
31) Деякі властивості та структурні особливості композитних ПВХ/Сu плівок з наночастинками міді, отриманих методом електричного вибуху провідника [04032-1-04032-5]
32) Порівняльний аналіз застосування деяких карбонових матеріалів як контрастних речовин для фотоакустичної томографії [04033-1-04033-6]
33) Динаміка електропружної сферичної оболонки з заповнювачем при прийомі звуку [04034-1-04034-7]
34) Вплив хімічного складу і температури електроліту на розмір та структуру нанокристалів сульфіду кадмію, отриманих електролітичним методом [04035-1-04035-6]
35) Морфологічні особливості нанопористої структури гранул аміачної селітри на стадії фінального сушіння в багатоступеневих апаратах [04036-1-04036-6]
36) До теорії супергетеродинних ЛВЕ з поздовжнім електростатичним ондулятором [04037-1-04037-5]
37) Експериментальне дослідження розподілу енергії при осадженні сфокусованим іонним променем в іонно-променевій літографії [04038-1-04038-3]
38) Особливості магнетокалорічного ефекту в феромагнітних циліндричних нанодротах, що містять доменну стінку [04039-1-04039-3]
