Вплив різних режимів термічної обробки на електричні властивості та мікроструктуру n-Si
| Автори | Г.П. Гайдар1, П.І. Баранський2 |
| Приналежність |
1Інститут ядерних досліджень НАН України, пр. Науки, 47, 03028 Київ, Україна 2Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, пр. Науки, 45, 03028 Київ, Україна |
| Е-mail | gaydar@kinr.kiev.ua |
| Випуск | Том 12, Рік 2020, Номер 4 |
| Дати | Одержано 10 березня 2020; у відредагованій формі 15 серпня 2020; опубліковано online 25 серпня 2020 |
| Посилання | Г.П. Гайдар, П.І. Баранський, Ж. нано- електрон. фіз. 12 № 4, 04003 (2020) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.12(4).04003 |
| PACS Number(s) | 61.82.Fk |
| Ключові слова | Кремній (82) , Термічний відпал (5) , Швидкість охолодження, Концентрація носіїв заряду (4) , Рухливість носіїв заряду (2) , Мікроструктура (20) . |
| Анотація |
Виявлено особливості змін електричних властивостей і мікроструктури монокристалів кремнію n-типу, легованих домішкою фосфору різними методами (через розплав і методом ядерної трансмутації), в залежності від умов термічних обробок, які широко використовуються в дослідженнях з напівпровідниками і при створенні приладів на їх основі. Метод ядерної трансмутації базується на перетвореннях ізотопів кремнію при захопленні ними теплових нейтронів. Принципова відмінність цього методу від металургійного способу легування полягає в тому, що легуючі домішки не вводяться у вихідний матеріал ззовні, а утворюються в процесі опромінення безпосередньо з атомів матеріалу, який легують. За допомогою трансмутаційного легування можна отримувати високу однорідність розподілу домішок, що забезпечується випадковим розподілом ізотопів, рівномірністю нейтронного потоку і невеликими перерізами захоплення нейтронів, а також високу точність легування, внаслідок пропорційності концентрації введених домішок часу опромінення (при сталому нейтронному потоці). Встановлено, що ступінь дефектності відпалених кристалів n-Si залежить не тільки від часу високотемпературного відпалу, а й від швидкості охолодження зразків. Виявлено, що тривалий високотемпературний відпал зразків n-Si, незалежно від способу легування, сприяє генерації глибоких донорних центрів у разі як повільного, так і швидкого охолодження, і знижує концентрацію носіїв заряду в зразках, легованих через розплав, у 1,5-2 рази, а в трансмутаційно легованих – у 1,5-3,5 рази, причому в останньому випадку ефект сильніше виражений у разі швидкого охолодження. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Виготовлення та характеристика поліанілінових нановолоконних плівок різними методиками [04001-1-04001-5]2) Нелінійна модель розм’якшення поверхні льоду при терті, що враховує просторову неоднорідність температури [04002-1-04002-6]
3) Синтез та характеристика температурно-контрольованих наночастинок SnO2, виготовлених методом твердотільної реакції [04004-1-04004-6]
4) Моделювання динаміки руйнування двовимірного карбіду титану Ti2C при різних типах навантаження розтягу [04005-1-04005-4]
5) Особливості структурної організації наноалмазів у матриці поліетиленгліколю [04006-1-04006-6]
6) Характеристика кристалічної структури та магнітних властивостей результатів синтезу наночастинок таотриманих за допомогою методу співосадження [04007-1-04007-4]
7) Вплив рН на морфологію структури і магнітні властивості впорядкованої фази наночастинок кобальт-заміщеного літієвого фериту, синтезованого золь-гель методом [04008-1-04008-7]
8) Низькопрофільна ультраширокосмугова мікросмужкова антена на основі LTCC для додатків міліметрового діапазону до 100 ГГц [04009-1-04009-6]
9) Виготовлення та інтерпретація композиту цинку-церію: структурні та теплові дослідження [04010-1-04010-5]
10) Особливості початкової стадії формування квазікристалічних тонких плівок системи Ti-Zr-Ni [04011-1-04011-6]
11) Структурні дослідження механічно легованого порошку [04012-1-04012-5]
12) Адсорбція водню на іонах Li+ та Na+, оздоблених короненом та корануленом: DFT, SAPT0 та IGM дослідження [04013-1-04013-6]
13) Реалізація системи зонду Кельвіна для обробки поверхні напівпровідника [04014-1-04014-6]
14) Вплив слабкого обмеження на оптичні властивості хімічно синтезованих наночастинок ZnS [04015-1-04015-5]
15) Вплив векторного параметра порядку на динаміку 3D ультракоротких імпульсів у вуглецевих нанотрубках [04016-1-04016-4]
16) Структурні, оптичні та електричні властивості легованих Ce наночастинок SnO2, підготовлених методом горіння гелю з додаванням поверхнево-активних речовин [04017-1-04017-6]
17) Структурно-механічні дослідження сегнетоелектриків BaxPb1 − xTiO3 в залежності від температури спікання [04018-1-04018-5]
18) Вплив концентрації наночастинок на характеристики трансформаторної олії [04019-1-04019-4]
19) Вплив структури поруватого шару кремнію на адсорбцію газів [04020-1-04020-5]
20) Випромінювання світла з кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією [04021-1-04021-5]
21) Вирощування кристалів та електрооптичні характеристики сполуки In2Se2.7Sb0.3 [04022-1-04022-4]
22) Енергія електронів у прямокутних та циліндричних квантових дротах [04023-1-04023-5]
23) Комірка пам'яті 6T-SRAM з наднизьким енергоспоживанням, високим SNM, швидкодією і високою температурою в 3C-SiC за 130 нм технологією CMOS [04024-1-04024-4]
24) Вимірювання кута атаки ракетного аерофізічного комплексу в польоті на основі датчика Холла і електронної вимірювальної системи [04025-1-04025-5]
25) Особливості пружних та непружних властивостей радіаційно зв’язаних гідрогелів [04026-1-04026-5]
26) Структурні та оптичні властивості полікристалічного нанопорошку ZnO, синтезованого методом прямого осадження [04027-1-04027-5]
27) Удосконалення базової моделі сонячного колектора для PVT системи [04028-1-04028-5]
28) Вплив оксиду графену на властивості та вивільнення лікарських засобів з апатит-полімерних композитів [04029-1-04029-7]
29) Адгезійна міцність нанокомпозитних покриттів TiZrN/TiSiN на підкладці зі сталі з перехідним підшаром [04030-1-04030-6]
30) Термічний вплив на морфологію поверхні іонно-плазмового покриття [04031-1-04031-5]
31) Деякі властивості та структурні особливості композитних ПВХ/Сu плівок з наночастинками міді, отриманих методом електричного вибуху провідника [04032-1-04032-5]
32) Порівняльний аналіз застосування деяких карбонових матеріалів як контрастних речовин для фотоакустичної томографії [04033-1-04033-6]
33) Динаміка електропружної сферичної оболонки з заповнювачем при прийомі звуку [04034-1-04034-7]
34) Вплив хімічного складу і температури електроліту на розмір та структуру нанокристалів сульфіду кадмію, отриманих електролітичним методом [04035-1-04035-6]
35) Морфологічні особливості нанопористої структури гранул аміачної селітри на стадії фінального сушіння в багатоступеневих апаратах [04036-1-04036-6]
36) До теорії супергетеродинних ЛВЕ з поздовжнім електростатичним ондулятором [04037-1-04037-5]
37) Експериментальне дослідження розподілу енергії при осадженні сфокусованим іонним променем в іонно-променевій літографії [04038-1-04038-3]
38) Особливості магнетокалорічного ефекту в феромагнітних циліндричних нанодротах, що містять доменну стінку [04039-1-04039-3]
