Вплив часу осадження на властивості тонких плівок ZnO, осаджених ультразвуковим спрей-піролізом, для оптоелектронних застосувань

Автори W. Daranfed1, N. Guermat2 , I. Bouchama2,3, K. Mirouh1 , S. Dilmi2, M.A. Saeed4
Приналежність

1Laboratory of Thin Films and Interface, Exact Faculty of Science, Department of Physics, University of Constantine 1, 25000 Constantine, Algeria

2Electronic Department, Faculty of Technology, University of Msila, Msila 28000, Algeria

3Laboratoire des Matériaux Inorganiques, Université de Msila, Algeria

4Physics Department, Faculty of Science, Universiti Teknologi Malaysia, Skudai-81310, Johor, Malaysia

Е-mail idris.bouchama@univ-msila.dz
Випуск Том 11, Рік 2019, Номер 6
Дати Одержано 09 червня 2019; у відредагованій формі 01 грудня 2019; опубліковано online 13 грудня 2019
Посилання W. Daranfed, N. Guermat, I. Bouchama, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 11 № 6, 06001 (2019)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.11(6).06001
PACS Number(s) 68.60.Bs, 82.30.Lp
Ключові слова Нелегований ZnO, Тонкі плівки (64) , Ультразвуковий розпилювальний піроліз, Прозорі електропровідні матеріали.
Анотація

Нелеговані тонкі плівки ZnO наносяться на скляні підкладки при 300 °C за допомогою ультразвукового спрей-піролізу. Ацетат цинку, оцтова кислота та метанол використовуються як прекурсори та розчинники. Підготовлені тонкі плівки мають товщину від 216 до 680 нм. Структурна трансформація спостерігається як функція часу осадження. Тонкі плівки, отримані за низького часу осадження, мають полікристалічну природу; вони кристалізуються у гексагональну структуру вюрциту і мають переважну орієнтацію вздовж осі с перпендикулярно підкладці, де максимальний розмір кристалітів становить 14,4 нм за найменшого часу осадження 5 хв. Однак ті плівки, які були отримані за час осадження вище 15 хв, демонструють аморфну природу, і ми спостерігаємо зникнення дифракційних піків. Для дослідження морфології плівок застосовувалася скануюча електронна мікроскопія. Зростання нанодротів у масштабі довжини у кілька мікрон добре видно для часу осадження 5 хв, а розширення – для часу 10 хв. Аморфна фаза тонких плівок ZnO була отримана при часі осадження 15 і 20 хв. Середній коефіцієнт пропускання усіх плівок перевищує 80 % у видимій області, а енергія забороненої зони для кристалічної фази збільшується з 3,17 до 3,45 еВ із збільшенням часу осадження. Низька питома провідність у діапазоні з 6,91 ( 10 – 3 до 6,60 (Ω.см) – 1 була отримана при збільшенні часу осадження з 5 до 10 хв, а провідність більше 1,90 ( 105 (Ω.см) – 1 – для часу осадження більше ніж 10 хв. Енергія Урбаха зменшується з 324 до 314 меВ із збільшенням часу осадження з 1 до 4 хв через деформацію та руйнування порядку у тонких плівках. Оптичні та електричні властивості осаджених тонких плівок виявили, що ці тонкі плівки мають потенційне застосування в оптоелектронних пристроях, особливо в сонячних батареях.

Перелік посилань