Структура та фізико-механічні властивості надтвердих багатошарових покриттів (TiAlСrY/Zr)/(TiAlСrYN/ZrN) з подвійним періодом модуляції структури
| Автори | В.Ю. Новіков1 , В.М. Бєрєснєв2, Д.А. Колєсніков1, О.Н. Іванов1 , С.В. Литовченко2 , Д.В. Горох2, О.В. Глухов3 , А.О. Козаченко1, Є.В. Крицина1, В.В. Cирота4 |
| Приналежність |
1Бєлгородський Державний Національний Дослідницький Університет, вул. Перемоги 85, 308015 Бєлгород, Російська Федерація 2Харківський Національний Університет ім. В.Н. Каразіна, пл. Свободи, 4, 61022 Харків, Україна 3Національний Університет Радіоелектроніки, Бульвар Науки, 14, 61166 Харків, Україна 4Бєлгородський Державний Технологічний Університет ім. В.Г. Шухова, вул. Костюкова, 46, 308012 Бєлгород, Російська Федерація |
| Е-mail | |
| Випуск | Том 11, Рік 2019, Номер 2 |
| Дати | Одержано 27 лютого 2019; у відредагованій формі 08 квітня 2019; опубліковано online 15 квітня 2019 |
| Посилання | В.Ю. Новіков, В.М. Бєрєснєв, Д.А. Колєсніков, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 11 № 2, 02027 (2019) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.11(2).02027 |
| PACS Number(s) | 68.55.Jk, 68.65.Ac |
| Ключові слова | Багатошарові покриття (6) , Період модуляції структури, Мікротвердість (27) , Адгезійна міцність (4) , Фазовий і елементний склад (2) . |
| Анотація |
У роботі описується отримання, встановлення механізмів та закономірностей формування фазового складу, структури багатошарових покриттів системи (TiAlСrY)N/ZrN з одинарним і системи (TiAlСrY/Zr)/(TiAlСrY)N/ZrN з подвійним періодом модуляції методом вакуумно-дугового осадження. Мішені розташовували на одній прямій на рівних відстанях від перпендикулярної осі, на якій кріпилися підкладинки. Обертання осі з підкладками здійснювали або безперервно, або з фіксованою затримкою у випарників. Покриття обох систем відрізняються високим ступенем ламінарності шарів. Покриття системи (TiAlСrY)N/ZrN мають виражену шарувату періодичну структуру всього обсягу покриття. Період модуляції (сумарна товщина бішару) такої структури становить близько 30 нм. У покриттях системи (TiAlСrY/Zr)/(TiAlСrYN/ZrN) чітко проглядається два періоди модуляції. Один період приблизно збігається з періодом модуляції зразків системи (TiAlСrY/Zr) N і становить близько 30 нм. Другий період модуляції становить приблизно 1.3 мкм. У нього входить 48 бішарів. Досліджено вплив парціального тиску азоту в камері на вміст азоту в покриттях, їх твердість і адгезійну міцність. Виявлено значне збільшення твердості 68.22 ГПа і адгезійної міцності покриттів з подвійним періодом модуляції структури. Запропоновано принципово новий технологічний підхід до процесу отримання багатошарових покриттів. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Моделювання механічних властивостей нанокристалічного SiC методом молекулярної динаміки [02001-1-02001-5]2) Рентгенівське дослідження наноструктури SiC на плівках Cu [02002-1-02002-4]
3) Вплив домішки Au на структурні та оптичні властивості тонких плівок ZnO, отриманих методом CVD [02003-1-02003-4]
4) Залежність продуктивності органічних сонячних елементів як функції товщини активного шару, світлової інтенсивності та температури теплового відпалу [02004-1-02004-5]
5) Ініціювання процесу вибухової кристалізації в аморфних сплавах системи Fe-Zr імпульсною лазерною обробкою [02005-1-02005-4]
6) Чотирикомпонентний напівпровідник халькопіритів Al(Ga,Mn)As2 та AlGa(As,P): дослідження базових принципів [02006-1-02006-5]
7) Електричні властивості гетероструктури Сu2O/Cd1 – xZnxTe [02007-1-02007-5]
8) Defect Pool Numerical Model in Amorphous Semiconductor Device Modeling Program [02008-1-02008-5]
9) Генерація електромагнітних коливань субміліметрового діапазону діодами GazIn1 – zAs з використанням ударної іонізації [02009-1-02009-5]
10) Вплив нагрівання газу і RF потужності розпилення на електричні, структурні та оптичні властивості тонких плівок ITO [02010-1-02010-7]
11) Ефект впливу довжини каналу на порогові характеристики безперехідних циліндричних польових транзисторів із затвором з діелектриків з високою проникністю [02011-1-02011-5]
12) Оптичні властивості хімічно синтезованих нанокомпозитів PANI-TiO2 [02012-1-02012-5]
13) Візуалізація структури сигналів функціонування елементів складних динамічних систем – когнітивні аспекти [02013-1-02013-4]
14) Закономірності впливу режимів електронно-променевої технології на експлуатаційні характеристики оптичних елементів [02014-1-02014-7]
15) Дослідження моделювання постійного, змінного та перехідного струмів кантілівера MEMS [02015-1-02015-5]
16) Вплив далекодіючої пасивації домішкових атомів поверхневими обірваними зв’язками на провідність поруватого кремнію [02016-1-02016-8]
17) Вимірювання концентрації донорної домішки телуру в пластинчастих зразках вісмуту методом час-пролітної масової спектрометрії [02017-1-02017-4]
18) Механічні властивості ґраток лужноземельних металів кальцію і стронцію [02018-1-02018-7]
19) Спін-орбітальне розщеплення валентної зони в кремнієвих ниткоподібних кристалах під дією деформації [02019-1-02019-8]
20) Взаємозв'язок між піроелектрикою та залишковою поляризацією в тонких плівках сегнетоелектричного полімеру з нанорозмірною структурою [02020-1-02020-5]
21) Нова технологія деконволюції для вдосконалення глибини різкостів мас-спектрометрії вторинних іонів [02021-1-02021-5]
22) Релятивістська корекція струму польової емісії у формалізмі Фаулера-Нордгейма [02022-1-02022-6]
23) Розрахунок рухливості електронів для напруженої наноплівки германію [02023-1-02023-6]
24) Дослідження адсорбції водню на h-BN за допомогою функціональної теорії щільності: ефекти домішки бору [02024-1-02024-5]
25) Одночасний вплив ширини забороненої зони віконного шару p-nc-SiOx:H та зворотного відбиття на характеристики сонячних елементів на основі a-Si:H [02025-1-02025-5]
26) Кристалічна структура і фізичні властивості високоентропійних сплавів [02026-1-02026-6]
27) Екситонні властивості барвників на основі перилен-диімідів [02028-1-02028-3]
28) Формування та УФ дослідження наночастинок сульфіду свинцю [02029-1-02029-4]
29) Роль плівок ППО у підвищенні ефективності сонячних елементів на основі гетеропереходів CdS/MoS2 [02030-1-02030-4]
30) Фізичні особливості двосторонньої дифузії літію в кремній для великогабаритних детекторів [02031-1-02031-4]
31) Міжфазна взаємодія як чинник діелектричних властивостей композитів на основі епоксидної смоли з графітовими нанопластинками [02032-1-02032-5]
32) Моделювання сенсора вібрацій на основі біморфної структури [02033-1-02033-8]
