Рентгенівське дослідження наноструктури SiC на плівках Cu
| Автори | G.S. Suyundykova1,2, B.Z. Mansurov1, G. Partizan1,2, А.K. Kenzhegulov1, B.S. Medyanova1,2, B.A. Aliev2, Zh.T. Nakysbekov2, B.E. Zhumadilov1,2 |
| Приналежність |
1Center of Innovative Technologies at the Institute of Combustion Problems, 20, Polezhaev St., 050050 Almaty, Kazakhstan 2Al-Farabi Kazakh National University, 71, Al-Farabi Ave., 050040 Almaty, Kazakhstan |
| Е-mail | sgserikkalievna@gmail.com |
| Випуск | Том 11, Рік 2019, Номер 2 |
| Дати | Одержано 22 жовтня 2018; у відредагованій формі 02 квітня 2019; опубліковано online 15 квітня 2019 |
| Посилання | G.S. Suyundykova, B.Z. Mansurov, G. Partizan, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 11 № 2, 02002 (2019) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.11(2).02002 |
| PACS Number(s) | 81.10.Bk, 81.15.Gh |
| Ключові слова | Карбід кремнію (6) , Хімічне осадження парів, Мікрохвильова плазма, Метод скануючої електронної мікроскопії, Рентгенівський аналіз (3) . |
| Анотація |
У статті представлені результати рентгенографічного дослідження наноструктур карбіду кремнію, синтезованих методом мікрохвильового хімічного пароутворення (MWCVD). Мідні плівки, нанесені методом магнетронного розпилення, використовувалися як каталізатори. Експерименти проводили при різних температурах від 600 °С до 900 °С (з кроком 100 °С). SEM дослідження зразків показали, що наноструктури мають діаметр 180-400 нм і довжину від 670 нм до 1.5 мкм. З досліджень скануючою електронною мікроскопією видно, що синтезовані наноструктури мають шорстку поверхню. Аналіз результатів експериментів з синтезу наноструктур карбіду кремнію методом MWCVD показує, що зростання наноструктур починається від 700 °С. Слід підкреслити, що інтенсивність піку SiC зростає зі збільшенням температури синтезу. Крім того, при збільшенні температури синтезу можна помітити, що з'являються піки наступного відбиття, характерні для карбіду кремнію. Результати рентгенівського аналізу показали, що зразки, вирощені при температурі 900 °С, мають найвищу ступінь кристалічності. Результати досліджень з використанням методів скануючої електронної мікроскопії і рентгенівського аналізу показали, що в ході експериментів, крім наноструктур карбіду кремнію, були отримані різні вуглецеві форми. Таким чином, при температурі 600 °С утворюються аморфні вуглецеві плівки, а при 700 °С утворюються наноструктури карбіду кремнію. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Моделювання механічних властивостей нанокристалічного SiC методом молекулярної динаміки [02001-1-02001-5]2) Вплив домішки Au на структурні та оптичні властивості тонких плівок ZnO, отриманих методом CVD [02003-1-02003-4]
3) Залежність продуктивності органічних сонячних елементів як функції товщини активного шару, світлової інтенсивності та температури теплового відпалу [02004-1-02004-5]
4) Ініціювання процесу вибухової кристалізації в аморфних сплавах системи Fe-Zr імпульсною лазерною обробкою [02005-1-02005-4]
5) Чотирикомпонентний напівпровідник халькопіритів Al(Ga,Mn)As2 та AlGa(As,P): дослідження базових принципів [02006-1-02006-5]
6) Електричні властивості гетероструктури Сu2O/Cd1 – xZnxTe [02007-1-02007-5]
7) Defect Pool Numerical Model in Amorphous Semiconductor Device Modeling Program [02008-1-02008-5]
8) Генерація електромагнітних коливань субміліметрового діапазону діодами GazIn1 – zAs з використанням ударної іонізації [02009-1-02009-5]
9) Вплив нагрівання газу і RF потужності розпилення на електричні, структурні та оптичні властивості тонких плівок ITO [02010-1-02010-7]
10) Ефект впливу довжини каналу на порогові характеристики безперехідних циліндричних польових транзисторів із затвором з діелектриків з високою проникністю [02011-1-02011-5]
11) Оптичні властивості хімічно синтезованих нанокомпозитів PANI-TiO2 [02012-1-02012-5]
12) Візуалізація структури сигналів функціонування елементів складних динамічних систем – когнітивні аспекти [02013-1-02013-4]
13) Закономірності впливу режимів електронно-променевої технології на експлуатаційні характеристики оптичних елементів [02014-1-02014-7]
14) Дослідження моделювання постійного, змінного та перехідного струмів кантілівера MEMS [02015-1-02015-5]
15) Вплив далекодіючої пасивації домішкових атомів поверхневими обірваними зв’язками на провідність поруватого кремнію [02016-1-02016-8]
16) Вимірювання концентрації донорної домішки телуру в пластинчастих зразках вісмуту методом час-пролітної масової спектрометрії [02017-1-02017-4]
17) Механічні властивості ґраток лужноземельних металів кальцію і стронцію [02018-1-02018-7]
18) Спін-орбітальне розщеплення валентної зони в кремнієвих ниткоподібних кристалах під дією деформації [02019-1-02019-8]
19) Взаємозв'язок між піроелектрикою та залишковою поляризацією в тонких плівках сегнетоелектричного полімеру з нанорозмірною структурою [02020-1-02020-5]
20) Нова технологія деконволюції для вдосконалення глибини різкостів мас-спектрометрії вторинних іонів [02021-1-02021-5]
21) Релятивістська корекція струму польової емісії у формалізмі Фаулера-Нордгейма [02022-1-02022-6]
22) Розрахунок рухливості електронів для напруженої наноплівки германію [02023-1-02023-6]
23) Дослідження адсорбції водню на h-BN за допомогою функціональної теорії щільності: ефекти домішки бору [02024-1-02024-5]
24) Одночасний вплив ширини забороненої зони віконного шару p-nc-SiOx:H та зворотного відбиття на характеристики сонячних елементів на основі a-Si:H [02025-1-02025-5]
25) Кристалічна структура і фізичні властивості високоентропійних сплавів [02026-1-02026-6]
26) Структура та фізико-механічні властивості надтвердих багатошарових покриттів (TiAlСrY/Zr)/(TiAlСrYN/ZrN) з подвійним періодом модуляції структури [02027-1-02027-6]
27) Екситонні властивості барвників на основі перилен-диімідів [02028-1-02028-3]
28) Формування та УФ дослідження наночастинок сульфіду свинцю [02029-1-02029-4]
29) Роль плівок ППО у підвищенні ефективності сонячних елементів на основі гетеропереходів CdS/MoS2 [02030-1-02030-4]
30) Фізичні особливості двосторонньої дифузії літію в кремній для великогабаритних детекторів [02031-1-02031-4]
31) Міжфазна взаємодія як чинник діелектричних властивостей композитів на основі епоксидної смоли з графітовими нанопластинками [02032-1-02032-5]
32) Моделювання сенсора вібрацій на основі біморфної структури [02033-1-02033-8]
