Нова технологія деконволюції для вдосконалення глибини різкостів мас-спектрометрії вторинних іонів

Автори N. Dahraoui1, M. Boulakroune2, D. Benatia1
Приналежність

1Electronics Department, Faculty of Engineer Sciences, University Batna 2, 05000 Batna, Algeria

2Electrical and Automatic Department, National Polytechnic School of Constantine, 25000 Constantine, Algeria

Е-mail
Випуск Том 11, Рік 2019, Номер 2
Дати Одержано 30 грудня 2018; у відредагованій формі 03 квітня 2019; опубліковано online 15 квітня 2019
Посилання N. Dahraoui, M. Boulakroune, D. Benatia, J. Nano- Electron. Phys. 11 No 2, 02021 (2019)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.11(2).02021
PACS Number(s) 68.49.Sf, 82.80.Ms
Ключові слова Фільтр Калмана (2) , Техніка шумопригнічення, Глибинні профілі SIMS, Вейвлет-усадка, Регуляризація Тихонова-Міллера, Глибина різкості.
Анотація

У роботі запропоновано ефективний метод відновлення сигналів SIMS від сильно розмитих дискретних піків. Ця методика ґрунтується на регуляризації Тихонова-Міллера, де включена апріорна модель розв’язку. Останній – це шумопригнічуючий сигнал, отриманий при використанні фільтра Калмана. Це цікавий методом оцінки, але він може бути використаний тільки тоді, коли ми можемо точно описати наш зразок.Порівнюючи результати запропонованої методики з результатами літератури, наш алгоритм дає найкращі результати без артефактів і коливань, пов'язаних з шумом, і значного поліпшення глибинного аналізу, у той час як коефіцієнт підсилення менш поліпшений, ніж коефіцієнт, отриманий методом вейвлетів. Таким чином, цей новий алгоритм може розширити межі вимірювань SIMS до граничної роздільної здатності.

Перелік посилань