Автори | N. Dahraoui1, M. Boulakroune2, D. Benatia1 |
Афіліація |
1Electronics Department, Faculty of Engineer Sciences, University Batna 2, 05000 Batna, Algeria 2Electrical and Automatic Department, National Polytechnic School of Constantine, 25000 Constantine, Algeria |
Е-mail | |
Випуск | Том 11, Рік 2019, Номер 2 |
Дати | Одержано 30 грудня 2018; у відредагованій формі 03 квітня 2019; опубліковано online 15 квітня 2019 |
Цитування | N. Dahraoui, M. Boulakroune, D. Benatia, J. Nano- Electron. Phys. 11 No 2, 02021 (2019) |
DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.11(2).02021 |
PACS Number(s) | 68.49.Sf, 82.80.Ms |
Ключові слова | Фільтр Калмана (2) , Техніка шумопригнічення, Глибинні профілі SIMS, Вейвлет-усадка, Регуляризація Тихонова-Міллера, Глибина різкості. |
Анотація |
У роботі запропоновано ефективний метод відновлення сигналів SIMS від сильно розмитих дискретних піків. Ця методика ґрунтується на регуляризації Тихонова-Міллера, де включена апріорна модель розв’язку. Останній – це шумопригнічуючий сигнал, отриманий при використанні фільтра Калмана. Це цікавий методом оцінки, але він може бути використаний тільки тоді, коли ми можемо точно описати наш зразок.Порівнюючи результати запропонованої методики з результатами літератури, наш алгоритм дає найкращі результати без артефактів і коливань, пов'язаних з шумом, і значного поліпшення глибинного аналізу, у той час як коефіцієнт підсилення менш поліпшений, ніж коефіцієнт, отриманий методом вейвлетів. Таким чином, цей новий алгоритм може розширити межі вимірювань SIMS до граничної роздільної здатності. |
Перелік цитувань |