Вплив високоентропійних складових нітридних шарів на вміст азоту і твердість вакуумно-дугових багатошарових покриттів (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N
| Автори | В.М. Береснєв1 , О.В. Соболь2 , С.В. Литовченко1 , У.С. Нємченко1 , В.О. Столбовий3, Д.О. Колесніков4, А.О. Мейлехов2, А.О. Постельник2, П.В. Турбін1,5, Л.В. Маліков1,5 |
| Афіліація | 1 Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, майдан Свободи, 4, 61022 Харків, Україна 2 Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Фрунзе, 21, 61002 Харків, Україна 3 Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут», вул. Академічна, 1, 61108 Харків, Україна 4 Бєлгородський державний національний дослідницький університет, вул. Перемоги, 85, 308015 Бєлгород, Російська Федерація 5 Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України, майдан Свободи, 6, 61022 Харків, Україна |
| Е-mail | |
| Випуск | Том 8, Рік 2016, Номер 2 |
| Дати | Одержано 14.04.2016, опубліковано online - 21.06.2016 |
| Цитування | В.М. Береснєв, О.В. Соболь, С.В. Литовченко, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 8 № 2, 02057 (2016) |
| DOI | 10.21272/jnep.8(2).02057 |
| PACS Number(s) | 81.07.Bc, 61.05.сp,68.55.jm, 61.82.Rx |
| Ключові слова | Багатошарове покриття (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N, Вміст азоту (3) , Структура (228) , Тиск робочого газу, Твердість (67) . |
| Анотація | Застосовуючи методи елементного аналізу, рентгеноструктурних досліджень і вимірювання мікротвердості, які необхідні для проведення комплексних досліджень за схемою: склад – структура – властивості, досліджені можливості структурної інженерії багатошарових (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N покриттів. Встановлено, що введення другого шару з високоентропійного сплаву навіть за умов відносно малого вмісту складових елементів (до 1 мас. %) супроводжується формуванням фази на основі ГЦК ґратки твердого розчину. Перехід від одношарових TiN-Cu покриттів до багатошарової системи (TiN-Cu)/(AlNbTiMoVCr)N супроводжується підвищенням відносного вмісту азоту в покритті і зростанням твердості, яка досягає значення 24,5 ГПа. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Fabrication of β-Silicon Carbide Nanowires from Carbon Powder and Silicon Wafer [02001-1-02001-4]2) Numerical Investigation of Spatial Effects on the Silicon Solar Cell [02002-1-02002-4]
3) An Analytical Universal Model for Symmetric Double Gate Junctionless Transistors [02003-1-02003-4]
4) Теплопровідність мікро- і нанокомпозитів на основі оксиду цинку [02004-1-02004-4]
5) Effect of Annealing on the Properties of Nanocrystalline CdS Thin Films Prepared by CBD Method [02005-1-02005-7]
6) Analysis of the Inhomogeneous Barrier in In/p-Si Schottky Contact and Modified Richardson Plot [02006-1-02006-6]
7) Налагодження електронних станів каталізаторів перехідних металів з використанням акцепторних атомів: розрахунок із перших принципів [02007-1-02007-5]
8) A Numerical Simulation of the Effect of Buffer Layer Band Gap on the Performances of nc-Si : H Based Solar Cells [02008-1-02008-6]
9) Structure and Charge States of the Selected Hydrogenated Silicon Clusters Si2-Si8 by Non-Conventional Tight-Binding Method [02009-1-02009-8]
10) Моделювання структури, термодинамічні властивості та температури фазових переходівкристалів II-VI [02010-1-02010-5]
11) Ferromagnetism in Mn-doped Chalcopyrite AlGaP2 Semiconductor [02011-1-02011-5]
12) Dye-sensitized Solar Cell Based on Flower-like ZnO Nanoparticles as Photoanode and Natural Dye as Photosensitizer [02012-1-02012-4]
13) Study of the Impact of Non-linear Piezoelectric Constants on the Acoustic Wave Propagation on Lithium Niobate [02013-1-02013-5]
14) Вплив ультразвуку на формування самоорганізованих однорідних нанокластерів [02014-1-02014-6]
15) Моделювання наноакустоелектронного перетворювача на основі графенових нанотрубок [02015-1-02015-4]
16) Електронна структура напівметалевого кристала CoFeMnSi, отримана з урахуванням сильних кореляцій 3d електронів [02016-1-02016-7]
17) Електропровідність дрібнокристалічного графіту при дії гідростатичного тиску [02017-1-02017-4]
18) Локальне розсіяння електронів на дефектах кристалічної гратки в InSb та InN [02018-1-02018-7]
19) Вплив безвакуумного відпалу на морфологію покриттів NbNх, NbNx : Si [02019-1-02019-5]
20) Нелінійне рівняння Шредінгера для опису малоамплітудних спінових хвиль в багатошарових магнітних матеріалах [02020-1-02020-7]
21) Особливості росту нанорозмірних шарів Mg2Si у багатошарових рентгенівських дзеркалах Si/Mg2Si [02021-1-02021-6]
22) Perspective Method of Betavoltaic Converter Creation [02022-1-02022-4]
23) Correlation Effect of Two Donors in a Nano Dot under the Influence of Magneticfield [02023-1-02023-3]
24) Структурна інженерія вакуумно-плазмових покриттів фаз проникнення [02024-1-02024-7]
25) Influence of Urbach Energy with Solution Molarity on the Electrical Conductivity in Undoped ZnO Thin Films [02025-1-02025-4]
26) Spray Deposited Nanocrystalline ZnO Transparent Electrodes: Role of Precursor Solvent [02026-1-02026-5]
27) A New Theoretical Study of Quantum Atomic Energy Spectra for Lowest Excited States of Central (PIHOIQ) Potential in Noncommutative Spaces and Phases Symmetries at Plan’s and Nanoscales [02027-1-02027-10]
28) Anodized Nanoporous Titania Thin Films for Dental Application: Structure’ Effect on Corrosion Behavior [02028-1-02028-6]
29) Структура та фізичні властивості композитів, сформованих на основі сульфіду молібдену [02029-1-02029-7]
30) Thermoelectric Properties of Oblique SiGe Whiskers [02030-1-02030-5]
31) Електронна структура, оптичні та сенсорні властивості нанодротиків ZnO [02031-1-02031-5]
32) Вплив інтенсивної пластичної деформації на процеси фазоутворення в аморфних сплавах [02032-1-02032-4]
33) Генератор дифракційного випромінювання з асиметричною відкритою резонансною системою. Частина 1. Результати “холодних” досліджень відкритої резонансної системи [02033-1-02033-7]
34) Генератор дифракційного випромінювання з асиметричною відкритою резонансною системою. Частина 2. Результати “гарячих” досліджень генератора дифракційного випромінювання [02034-1-02034-8]
35) Синтез та дослідження структурних, оптичних і фотокаталітичних характеристик V2O5/TiO2 нанокомпозитів [02035-1-02035-6]
36) Influence of the SHI Irradiation on the XRD, AFM, and Electrical Properties of CdSe Thin Films [02036-1-02036-3]
37) Dynamic Conduction in 2-Dimensional Conductor: Magneto-Conductivity Tensor under Rapid Oscillatory Electric Field [02037-1-02037-2]
38) Вимірювання елементного складу матеріалів за допомогою електронного спектра мас [02038-1-02038-6]
39) Spectral Measurement of Photon Emission from Individual Gold Nanoparticles Using Scanning Tunneling Microscopy [02039-1-02039-3]
40) Microelectromechanical Systems of the Impulse Betavoltaics Element for Electric Power of Biosensors [02040-1-02040-2]
41) Вплив технологічних режимів на фізичні властивості нанокристалів сульфіду кадмію отриманих електролітичним методом [02041-1-02041-6]
42) Efficient Design of Reversible Code Converters Using Quantum Dot Cellular Automata [02042-1-02042-8]
43) Синтез нанопорошків ZnO та ZnO : Mn методом ультразвукового піролізу аерозолю [02043-1-02043-5]
44) Features of Formation of Ohmic Contacts and Gate on Epitaxial Heterostructure of AlGaN / GaN High Electron Mobility Transistor [02044-1-02044-3]
45) Вплив технологічних факторів отримання на морфологію поверхні та електричні властивості плівок PbTe легованих Bi [02045-1-02045-6]
46) A New Nonrelativistic Atomic Energy Spectrum of Energy Dependent Potential for Heavy Quarkouniom in Noncommutative Spaces and Phases Symmetries [02046-1-02046-6]
47) Investigation of External Charges Effects on Piezoelectric ZnO Nanogenerator [02047-1-02047-6]
48) Ємнісні датчики для довгохвильового акустичного випромінювання направленими хвилями [02048-1-02048-5]
49) Виникнення додаткової електронної провідності кремнієвих структур в атмосфері вологого аміаку: квантовохімічне моделювання [02049-1-02049-7]
50) Властивості гідроксиапатиних покриттів на металооксидних носіях [02050-1-02050-6]
51) Вплив ефектів розмірності на термоелектричні властивості тонких плівок PbTe [02051-1-02051-6]
52) Вплив активаційного реагента на параметри електродних матеріалів суперконденсатора [02052-1-02052-3]
53) Influence of Size Effects on the Properties of Processed Iron Ore and Schungite Rock [02053-1-02053-6]
54) Вплив нанонаповнених полімерних покриттів на радіаційну стійкість в кристалах кремнію, що використовуються в сонячній енергетиці [02054-1-02054-5]
55) Structure and Optical Properties of Polycrystalline InxSb30 – xSe70 (0 ≤ x ≤ 25) Chalcogenide Alloys [02055-1-02055-5]
56) Структура та магніторезистивні властивості тришарових плівкових систем на основі пермалою та міді [02056-1-02056-6]
57) Field-emission Properties of Ni-C Nanocomposite Films [02058-1-02058-4]
