Вимірювання елементного складу матеріалів за допомогою електронного спектра мас

Автори О.В. Косуля1, В.Г. Вербицький2
Приналежність

1 Київський національний університет ім. Тараса Шевченка, просп. Глушкова, 4-г, 03022 Київ, Україна

2 Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут», вул. Політехнічна, 16, 03056 Київ, Україна

Е-mail
Випуск Том 8, Рік 2016, Номер 2
Дати Одержано 01.12.2015, опубліковано online - 21.06.2016
Посилання О.В. Косуля, В.Г. Вербицький, Ж. нано- електрон. фіз. 8 № 2, 02038 (2016)
DOI 10.21272/jnep.8(2).02038
PACS Number(s) 07.81. + a, 29.30.Dn
Ключові слова Мас-спектрометрія (8) , Магнітний аналізатор, Детектор іонів, Координатно-чутливий детектор, Мікроканальна пластина.
Анотація Робота присвячена конструкції багатоканального детектора у складі мас-спектрометра, який реалізує функції реєстрації, перетворення іон-лавина електронів та видачі інформації про їх кількість у кожному з каналі у вигляді логічних сигналів. Адаптації мас-спектрометра для роботи з експериментальними зразками приладів в якості детектора іонів і дослідженню експериментальних зразків приладів в складі мас-спектрометра.

Перелік посилань