Оптичні властивості плазмохімічних гідрогенізованих Si-C-N плівок
| Автори | А.О. Козак , В.І. Іващенко , О.К. Порада , Л.А. Іващенко , В.Я. Малахов, Т.В. Томіла |
| Приналежність | Інститут проблем матеріалознавства, НАН України, вул. Кржижанівського, 3, 03142 Київ, Україна |
| Е-mail | |
| Випуск | Том 7, Рік 2015, Номер 3 |
| Дати | Одержано 31.07.2015; у відредагованій формі – 14.10.2015; опубліковано online 15.10.2015 |
| Посилання | А.О. Козак, В.І. Іващенко, О.К. Порада, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 7 № 3, 03040 (2015) |
| DOI | |
| PACS Number(s) | 78.66.Jg |
| Ключові слова | PECVD (6) , Гексаметилдісилазан (3) , Si-C-N плівки (2) , FTIR (29) , Оптичні спектри (3) . |
| Анотація | Досліджено структурні властивості та енергетичну щілину Si-C-N плівок, осаджених плазмохімічним методом з гексаметилдісилазану, в інтервалі температур 200-700 °С. Плівки були отримані на кремнієвих і скляних підкладках, що дало можливість провести рентгеноструктурне дослідження та вивчити спектри інфрачервоного (FTIR) і оптичного пропускання. Представлення широкої смуги FTIR спектрів у вигляді гаусіан свідчить, що основний внесок роблять коливання Si-C, Si-N і Si-O зв'язків. Показано, що з підвищенням температури відбувається інтенсивна ефузія водню з плівок. Енергетична щілина зменшується з 2,3 до 1,6 еВ зі зміною температури підкладки з 200 до 700 °С. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Natural Dyes as Photosensitizers for Dye-sensitized Solar Cells [03001-1-03001-6]2) Structural and Optical Studies of 100 MeV Ni+7 Irradiated Cadmium Selenide Thin Films [03002-1-03002-3]
3) Оптичні властивості наночастинок оксиду цинку, легованих атомами Со, одержаних методом лазерної абляції в рідині [03003-1-03003-5]
4) Improvement of Mechanical, Thermal and Optical Properties of Barium Mixed Cobalt Tartrate Hydrate Crystals Grown by Gel Method [03004-1-03004-6]
5) CoRa: іноваційний програмний інструмент для Раманівської спектроскопії [03005-1-03005-4]
6) A Study the Aluminum Doped Zinc Oxide Thin Films [03006-1-03006-3]
7) Втрати фактору заповнення в сонячних елементах із мультикристалічного кремнію [03007-1-03007-4]
8) The Impact of Cracked Microparticles on the Mechanical and the Fracture Behavior of Particulate Composite [03008-1-03008-6]
9) Influence of the Calcination Temperature on the Combustion Synthesized Perovskite LaMnO3 Compound [03009-1-03009-6]
10) Study of Short Channel Effects in n-FinFET Structure for Si, GaAs, GaSb and GaN Channel Materials [03010-1-03010-5]
11) A First Principles Study of Chalcopyrite Mn-doped AlGaP2 Compounds [03011-1-03011-5]
12) Piecewise Linear and Nonlinear Window Functions for Modelling of Nanostructured Memristor Device [03012-1-03012-4]
13) Influence of Growth Temperature on Structure and Optical Properties of Tin Oxide Films by Spray Pyrolysis Method [03013-1-03013-4]
14) Simulation the Beta Power Sources Characteristics [03014-1-03014-5]
15) Optimizing the Emitter Layer for Higher Efficiency Solar Cell Based SiGe Using AMPS1D [03015-1-03015-4]
16) Структура та електрохімічні властивості композиту TiS2 / C, підданого лазерному опроміненню [03016-1-03016-5]
17) Синтез епітаксіальних шарів нітриду індію на підкладці поруватого фосфіду індію [03017-1-03017-3]
18) Структурні властивості полімерного нанокомпозиту сульфіду цинку з альгінатом [03018-1-03018-6]
19) Рухливість електронів в сульфіді кадмію [03019-1-03019-7]
20) Оптичні властивості нанокомпозиту CdS : Au НЧ [03020-1-03020-4]
21) Структура та оптичні властивості нікель-кобальтових феритів, отриманих методом золь-гель за участі автогоріння [03021-1-03021-7]
22) Особливості теплопровідності композитів на основі термопластичних полімерів та частинок алюмінію [03022-1-03022-5]
23) Сенсор хвильового фронту для визначення дефектів наноструктурованих поверхонь [03023-1-03023-6]
24) Ядерний квадрупольний резонанс і сенсорні властивості шаруватих напівпровідникових кристалів GaSe та InSe [03024-1-03024-5]
25) Фотолюмінесценція люмінофору ZnS, сонофрагментованого у розчині ізопропилового спирту [03025-1-03025-5]
26) Нанотрубки оксиду індію отримані методом радикало-променевої епітаксії [03026-1-03026-3]
27) Механізм протонування молекул аміаку на природно окисленій поверхні кремнію [03027-1-03027-5]
28) Розмірна залежність енергії Фермі сферичного металевого нанокластера [03028-1-03028-3]
29) Розсіювання електронів для одновісно деформованих монокристалів n-Ge [03029-1-03029-6]
30) Нелінійна рефракція водної суспензії наночастинок золота [03030-1-03030-6]
31) Розробка та експериментальна апробація електронної гармати [03031-1-03031-5]
32) Проблема граничного переходу до станів неперервного спектру в задачі про рух електрона в магнітному полі [03032-1-03032-3]
33) Рух нейтральної частинки відносно електрону в однорідному електричному полі [03033-1-03033-4]
34) Вивчення термоактивуємих процесів екстракції CO2 з карбонатних апатитів з використанням газової хроматографії [03034-1-03034-9]
35) Коливальні стани домішкових мікроутворень на гексагональної підкладці [03035-1-03035-5]
36) Researches of the Internal Mechanical Stresses Arising in Si-SiO2-PZT Structures [03036-1-03036-6]
37) Investigation of Temperature Sensors Based on Si
38) Вдосконалення автоматичної системи управління рухом фізичного об'єкту в умовах невизначеності [03038-1-03038-7]
39) Транспортування низьковольтного стрічкового гвинтового електронного пучка для конфокального гіротрона з імпульсною магнітною системою [03039-1-03039-7]
40) Comparing the Tribological Properties of the Coatings (Ti-Hf-Zr-V-Nb-Ta)N and (Ti-Hf-Zr-V-Nb-Ta)N + DLC [03041-1-03041-4]
41) Про модифікуючий вплив заліза на вакуумні конденсати алюмінію [03042-1-03042-4]
42) Про природу центрів електролюмінесценції в пластично деформованих кристалах кремнію p-типу [03043-1-03043-5]
43) Вплив іонної імплантації на структурно-напружений стан та механічні властивості нітридів високоентропійних сплавів (TiZrAlYNb)N і (TiZrHfVNbTa)N [03044-1-03044-6]
44) Optimizing the Materials Response in Humidity Capacitive Sensors [03045-1-03045-5]
45) Структура і властивості полімерних композитів і нанокомпозитів, підданих термомагнітній обробці [03046-1-03046-5]
46) A Recent Study of Quantum Atomic Spectrum of the Lowest Excitations for Schrödinger Equation with Typical Rational Spherical Potential at Planck's and Nanoscales [03047-1-03047-7]
47) Hydrogenation of Laser-crystallized a-Si:H Films [03048-1-03048-6]
48) Аномальні релаксаційні процеси у дворівневих системах [03049-1-03049-9]
49) Рентгенівський аналіз зразків, які містять наночастинки сполук кадмію [03050-1-03050-5]
50) Персоналії. Лобода Валерій Борисович [03051-1-03051-2]
