Hydrogenation of Laser-crystallized a-Si:H Films
| Автори | M.V. Khenkin1 , D.V. Amasev1, A.G. Kazanskii1 , P.A. Forsh1,2 |
| Афіліація | 1 Lomonosov Moscow State University, 1, Leninskie Gory, 119991 Moscow, Russia 2 National Research Centre “Kurchatov Institute”, 1, Akademika Kurchatova Pl.,123182 Moscow, Russia |
| Е-mail | mark.khenkin@gmail.com |
| Випуск | Том 7, Рік 2015, Номер 3 |
| Дати | Одержано 11.08.2015; опубліковано online 20.10.2015 |
| Цитування | M.V. Khenkin, D.V. Amasev, A.G. Kazanskii, P.A. Forsh, J. Nano- Electron. Phys. 7 No 3, 03048 (2015) |
| DOI | |
| PACS Number(s) | 71.23.Cq, 73.50.Pz, 79.20.Ds |
| Ключові слова | Amorphous hydrogenated silicon (2) , Nanocrystalline hydrogenated silicon, Laser crystallization (2) , Hydrogen content, Post-hydrogenation. |
| Анотація | Ultrafast laser processing of semiconductors is a rapidly developing field of material science at the moment. In particular, femtosecond laser crystallization of amorphous hydrogenated silicon thin films has a big potential in photovoltaics. However laser treatment causes dehydrogenation process which decreases materials’ photosensitivity and thus limiting its application for optoelectronics. In present paper we studied photoelectric properties of laser-modified amorphous silicon films. Two different hydrogenation procedures were employed to restore films’ hydrogen content: keeping in hydrogen plasma and in high-pressure hydrogen atmosphere. The effectiveness of applied procedures for increasing materials’ photosensitivity is discussed. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Natural Dyes as Photosensitizers for Dye-sensitized Solar Cells [03001-1-03001-6]2) Structural and Optical Studies of 100 MeV Ni+7 Irradiated Cadmium Selenide Thin Films [03002-1-03002-3]
3) Оптичні властивості наночастинок оксиду цинку, легованих атомами Со, одержаних методом лазерної абляції в рідині [03003-1-03003-5]
4) Improvement of Mechanical, Thermal and Optical Properties of Barium Mixed Cobalt Tartrate Hydrate Crystals Grown by Gel Method [03004-1-03004-6]
5) CoRa: іноваційний програмний інструмент для Раманівської спектроскопії [03005-1-03005-4]
6) A Study the Aluminum Doped Zinc Oxide Thin Films [03006-1-03006-3]
7) Втрати фактору заповнення в сонячних елементах із мультикристалічного кремнію [03007-1-03007-4]
8) The Impact of Cracked Microparticles on the Mechanical and the Fracture Behavior of Particulate Composite [03008-1-03008-6]
9) Influence of the Calcination Temperature on the Combustion Synthesized Perovskite LaMnO3 Compound [03009-1-03009-6]
10) Study of Short Channel Effects in n-FinFET Structure for Si, GaAs, GaSb and GaN Channel Materials [03010-1-03010-5]
11) A First Principles Study of Chalcopyrite Mn-doped AlGaP2 Compounds [03011-1-03011-5]
12) Piecewise Linear and Nonlinear Window Functions for Modelling of Nanostructured Memristor Device [03012-1-03012-4]
13) Influence of Growth Temperature on Structure and Optical Properties of Tin Oxide Films by Spray Pyrolysis Method [03013-1-03013-4]
14) Simulation the Beta Power Sources Characteristics [03014-1-03014-5]
15) Optimizing the Emitter Layer for Higher Efficiency Solar Cell Based SiGe Using AMPS1D [03015-1-03015-4]
16) Структура та електрохімічні властивості композиту TiS2 / C, підданого лазерному опроміненню [03016-1-03016-5]
17) Синтез епітаксіальних шарів нітриду індію на підкладці поруватого фосфіду індію [03017-1-03017-3]
18) Структурні властивості полімерного нанокомпозиту сульфіду цинку з альгінатом [03018-1-03018-6]
19) Рухливість електронів в сульфіді кадмію [03019-1-03019-7]
20) Оптичні властивості нанокомпозиту CdS : Au НЧ [03020-1-03020-4]
21) Структура та оптичні властивості нікель-кобальтових феритів, отриманих методом золь-гель за участі автогоріння [03021-1-03021-7]
22) Особливості теплопровідності композитів на основі термопластичних полімерів та частинок алюмінію [03022-1-03022-5]
23) Сенсор хвильового фронту для визначення дефектів наноструктурованих поверхонь [03023-1-03023-6]
24) Ядерний квадрупольний резонанс і сенсорні властивості шаруватих напівпровідникових кристалів GaSe та InSe [03024-1-03024-5]
25) Фотолюмінесценція люмінофору ZnS, сонофрагментованого у розчині ізопропилового спирту [03025-1-03025-5]
26) Нанотрубки оксиду індію отримані методом радикало-променевої епітаксії [03026-1-03026-3]
27) Механізм протонування молекул аміаку на природно окисленій поверхні кремнію [03027-1-03027-5]
28) Розмірна залежність енергії Фермі сферичного металевого нанокластера [03028-1-03028-3]
29) Розсіювання електронів для одновісно деформованих монокристалів n-Ge [03029-1-03029-6]
30) Нелінійна рефракція водної суспензії наночастинок золота [03030-1-03030-6]
31) Розробка та експериментальна апробація електронної гармати [03031-1-03031-5]
32) Проблема граничного переходу до станів неперервного спектру в задачі про рух електрона в магнітному полі [03032-1-03032-3]
33) Рух нейтральної частинки відносно електрону в однорідному електричному полі [03033-1-03033-4]
34) Вивчення термоактивуємих процесів екстракції CO2 з карбонатних апатитів з використанням газової хроматографії [03034-1-03034-9]
35) Коливальні стани домішкових мікроутворень на гексагональної підкладці [03035-1-03035-5]
36) Researches of the Internal Mechanical Stresses Arising in Si-SiO2-PZT Structures [03036-1-03036-6]
37) Investigation of Temperature Sensors Based on Si
38) Вдосконалення автоматичної системи управління рухом фізичного об'єкту в умовах невизначеності [03038-1-03038-7]
39) Транспортування низьковольтного стрічкового гвинтового електронного пучка для конфокального гіротрона з імпульсною магнітною системою [03039-1-03039-7]
40) Оптичні властивості плазмохімічних гідрогенізованих Si-C-N плівок [03040-1-03040-6]
41) Comparing the Tribological Properties of the Coatings (Ti-Hf-Zr-V-Nb-Ta)N and (Ti-Hf-Zr-V-Nb-Ta)N + DLC [03041-1-03041-4]
42) Про модифікуючий вплив заліза на вакуумні конденсати алюмінію [03042-1-03042-4]
43) Про природу центрів електролюмінесценції в пластично деформованих кристалах кремнію p-типу [03043-1-03043-5]
44) Вплив іонної імплантації на структурно-напружений стан та механічні властивості нітридів високоентропійних сплавів (TiZrAlYNb)N і (TiZrHfVNbTa)N [03044-1-03044-6]
45) Optimizing the Materials Response in Humidity Capacitive Sensors [03045-1-03045-5]
46) Структура і властивості полімерних композитів і нанокомпозитів, підданих термомагнітній обробці [03046-1-03046-5]
47) A Recent Study of Quantum Atomic Spectrum of the Lowest Excitations for Schrödinger Equation with Typical Rational Spherical Potential at Planck's and Nanoscales [03047-1-03047-7]
48) Аномальні релаксаційні процеси у дворівневих системах [03049-1-03049-9]
49) Рентгенівський аналіз зразків, які містять наночастинки сполук кадмію [03050-1-03050-5]
50) Персоналії. Лобода Валерій Борисович [03051-1-03051-2]
