Вплив іонної імплантації на структурно-напружений стан та механічні властивості нітридів високоентропійних сплавів (TiZrAlYNb)N і (TiZrHfVNbTa)N

Автори	О.В. Соболь¹ , І.В. Якущенко²
Приналежність	¹ Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Фрунзе, 21, 61002 Харків, Україна ² Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна
Е-mail	kosistivan@gmail.com
Випуск	Том 7, Рік 2015, Номер 3
Дати	Одержано 16.08.2015; у відредагованій формі – 17.10.2015; опубліковано online 20.10.2015
Посилання	О.В. Соболь, І.В. Якущенко, Ж. нано- електрон. фіз. 7 № 3, 03044 (2015)
DOI
PACS Number(s)	81.40.Wx
Ключові слова	Нітриди високоентропійних сплавів, Вакуумно-дугове випарування катоду, Фазовий та елементний склад (2) , Твердість (64) , Іонна імплантація (6) , Негативні іони (2) .
Анотація	В результаті осадження наноструктурних багатокомпонентних нітридних покриттів (TiZrAlYNb)N і (TiZrHfVNbTa)N відбувається формування фази з ГЦК решіткою з розмірами кристалітів до 7 нм та 17-20 нм, відповідно. В отриманих покриттях розвиваються напруження стискання, рівні – 2,97 ГПа та – 3,86 ГПа для шестиелементних нітридів, та – 0,25 ГПа і – 3,14 ГПа для п’ятиелементних покриттів. Виявлена залежність зміни напруження від концентрації азоту в покритті, та обговорені можливі причини спостережуваної кореляції. Імплантація іонів Au- приводить до розупорядковування структури покриттів в імплантованому шарі, зменшенню розмірів нанокристалітів, і, як результат, збільшенню нанотвердості покриттів до 39 ГПа.
	Перелік посилань Повний текст Переклад англійською

Інші статті цього номера

1) Natural Dyes as Photosensitizers for Dye-sensitized Solar Cells [03001-1-03001-6]
2) Structural and Optical Studies of 100 MeV Ni+7 Irradiated Cadmium Selenide Thin Films [03002-1-03002-3]
3) Оптичні властивості наночастинок оксиду цинку, легованих атомами Со, одержаних методом лазерної абляції в рідині [03003-1-03003-5]
4) Improvement of Mechanical, Thermal and Optical Properties of Barium Mixed Cobalt Tartrate Hydrate Crystals Grown by Gel Method [03004-1-03004-6]
5) CoRa: іноваційний програмний інструмент для Раманівської спектроскопії [03005-1-03005-4]
6) A Study the Aluminum Doped Zinc Oxide Thin Films [03006-1-03006-3]
7) Втрати фактору заповнення в сонячних елементах із мультикристалічного кремнію [03007-1-03007-4]
8) The Impact of Cracked Microparticles on the Mechanical and the Fracture Behavior of Particulate Composite [03008-1-03008-6]
9) Influence of the Calcination Temperature on the Combustion Synthesized Perovskite LaMnO3 Compound [03009-1-03009-6]
10) Study of Short Channel Effects in n-FinFET Structure for Si, GaAs, GaSb and GaN Channel Materials [03010-1-03010-5]
11) A First Principles Study of Chalcopyrite Mn-doped AlGaP2 Compounds [03011-1-03011-5]
12) Piecewise Linear and Nonlinear Window Functions for Modelling of Nanostructured Memristor Device [03012-1-03012-4]
13) Influence of Growth Temperature on Structure and Optical Properties of Tin Oxide Films by Spray Pyrolysis Method [03013-1-03013-4]
14) Simulation the Beta Power Sources Characteristics [03014-1-03014-5]
15) Optimizing the Emitter Layer for Higher Efficiency Solar Cell Based SiGe Using AMPS1D [03015-1-03015-4]
16) Структура та електрохімічні властивості композиту TiS2 / C, підданого лазерному опроміненню [03016-1-03016-5]
17) Синтез епітаксіальних шарів нітриду індію на підкладці поруватого фосфіду індію [03017-1-03017-3]
18) Структурні властивості полімерного нанокомпозиту сульфіду цинку з альгінатом [03018-1-03018-6]
19) Рухливість електронів в сульфіді кадмію [03019-1-03019-7]
20) Оптичні властивості нанокомпозиту CdS : Au НЧ [03020-1-03020-4]
21) Структура та оптичні властивості нікель-кобальтових феритів, отриманих методом золь-гель за участі автогоріння [03021-1-03021-7]
22) Особливості теплопровідності композитів на основі термопластичних полімерів та частинок алюмінію [03022-1-03022-5]
23) Сенсор хвильового фронту для визначення дефектів наноструктурованих поверхонь [03023-1-03023-6]
24) Ядерний квадрупольний резонанс і сенсорні властивості шаруватих напівпровідникових кристалів GaSe та InSe [03024-1-03024-5]
25) Фотолюмінесценція люмінофору ZnS, сонофрагментованого у розчині ізопропилового спирту [03025-1-03025-5]
26) Нанотрубки оксиду індію отримані методом радикало-променевої епітаксії [03026-1-03026-3]
27) Механізм протонування молекул аміаку на природно окисленій поверхні кремнію [03027-1-03027-5]
28) Розмірна залежність енергії Фермі сферичного металевого нанокластера [03028-1-03028-3]
29) Розсіювання електронів для одновісно деформованих монокристалів n-Ge [03029-1-03029-6]
30) Нелінійна рефракція водної суспензії наночастинок золота [03030-1-03030-6]
31) Розробка та експериментальна апробація електронної гармати [03031-1-03031-5]
32) Проблема граничного переходу до станів неперервного спектру в задачі про рух електрона в магнітному полі [03032-1-03032-3]
33) Рух нейтральної частинки відносно електрону в однорідному електричному полі [03033-1-03033-4]
34) Вивчення термоактивуємих процесів екстракції CO2 з карбонатних апатитів з використанням газової хроматографії [03034-1-03034-9]
35) Коливальні стани домішкових мікроутворень на гексагональної підкладці [03035-1-03035-5]
36) Researches of the Internal Mechanical Stresses Arising in Si-SiO2-PZT Structures [03036-1-03036-6]
37) Investigation of Temperature Sensors Based on Si [03037-1-03037-5]
38) Вдосконалення автоматичної системи управління рухом фізичного об'єкту в умовах невизначеності [03038-1-03038-7]
39) Транспортування низьковольтного стрічкового гвинтового електронного пучка для конфокального гіротрона з імпульсною магнітною системою [03039-1-03039-7]
40) Оптичні властивості плазмохімічних гідрогенізованих Si-C-N плівок [03040-1-03040-6]
41) Comparing the Tribological Properties of the Coatings (Ti-Hf-Zr-V-Nb-Ta)N and (Ti-Hf-Zr-V-Nb-Ta)N + DLC [03041-1-03041-4]
42) Про модифікуючий вплив заліза на вакуумні конденсати алюмінію [03042-1-03042-4]
43) Про природу центрів електролюмінесценції в пластично деформованих кристалах кремнію p-типу [03043-1-03043-5]
44) Optimizing the Materials Response in Humidity Capacitive Sensors [03045-1-03045-5]
45) Структура і властивості полімерних композитів і нанокомпозитів, підданих термомагнітній обробці [03046-1-03046-5]
46) A Recent Study of Quantum Atomic Spectrum of the Lowest Excitations for Schrödinger Equation with Typical Rational Spherical Potential at Planck's and Nanoscales [03047-1-03047-7]
47) Hydrogenation of Laser-crystallized a-Si:H Films [03048-1-03048-6]
48) Аномальні релаксаційні процеси у дворівневих системах [03049-1-03049-9]
49) Рентгенівський аналіз зразків, які містять наночастинки сполук кадмію [03050-1-03050-5]
50) Персоналії. Лобода Валерій Борисович [03051-1-03051-2]