Про природу центрів електролюмінесценції в пластично деформованих кристалах кремнію p-типу

Автори Б.В. Павлик , М.О. Кушлик , Д.П. Слободзян
Приналежність

Львівський національний університет імені Івана Франка, вул. ген. Тарнавського, 107, 79017 Львів, Україна

Е-mail kushlykmarik@gmail.com
Випуск Том 7, Рік 2015, Номер 3
Дати Одержано 28.07.2015; опубліковано online 20.10.2015
Посилання Б.В. Павлик, М.О. Кушлик, Д.П. Слободзян, Ж. нано- електрон. фіз. 7 № 3, 03043 (2015)
DOI
PACS Number(s) 61.72.Hh, 61.72.Lk, 61.72.Uf, 68.35.Dv, 72.20.Jv, 73.20.Hb, 73.40.Sx, 73.40.Qv, 78.60.Fi
Ключові слова Кремній р-типу, Дислокаційна електролюмінесценція, Рекомбінаційні центри, Пластична деформація (5) , Високотемпературний відпал (2) .
Анотація У роботі описуються дослідження дислокаційної електролюмінесценції монокристалів кремнію p- типу з високою концентрацією дислокацій на поверхні (111). Приводяться впливи високотемпературного відпалу в атмосфері проточного кисню на спектри люмінесценції та ємнісно-модуляційні спектри зразків. З аналізу результатів встановлена природа центрів рекомбінації та їх перебудова при високотемпературному відпалі. Показано, що осадження плівки Al на підкладку p-Si приводить до формування деформаційного потенціалу і, як наслідок, локалізації у приповерхневому шарі дефектів з об’єму кристалу, що відповідають центрам свічення.

Перелік посилань

English version of article