Діагностика реконструкції поверхні золота методами багатокутові еліпсометрії

Автори А.О. Голобородько , O.В. Крилов, Л.Й. Робур
Приналежність

Київський національний університет імені Тараса Шевченка, вул. Володимирська, 64/13, 01601 Київ, Україна

Е-mail
Випуск Том 7, Рік 2015, Номер 1
Дати Одержано 29.10.2014, опубліковано online - 25.03.2015
Посилання А.О. Голобородько, O.В. Крилов, Л.Й. Робур, Ж. нано- електрон. фіз. 7 № 1, 01025 (2015)
DOI
PACS Number(s) 78.68. + m, 68.55. – a, 68.35.B –
Ключові слова Анізотропне середовище (3) , Матриця Мюллера, Коефіцієнт відбиття (10) .
Анотація У роботі розглядаються зміна структури та оптичних властивостей плівок золота. Експериментально показано, що зміни структури поверхні достовірно фіксуються методами багатокутової Мюллер-поляриметрії. Проаналізовано вплив поверхні плівки золота на параметри моделі анізотропного середовища. Показано, що для достовірної класифікації плівок досить проводити вимірювання при куті, при якому різниця в параметрах анізотропії максимальна.

Перелік посилань

English version of article