Дослідження структурних, електричних та корозійних властивостей плівок NbN, нанесених методом магнетронного напилення (живлення постійним струмом) при різних потужностях

Автори B. Abdallah, M. Kakhia, W. Alssadat, W. Zetoune
Приналежність

Department of Physics, Atomic Energy Commission of Syria (AECS), P.O. Box 6091, Damascus, Syria

Е-mail pscientific27@aec.org.sy
Випуск Том 13, Рік 2021, Номер 6
Дати Одержано 13 листопада 2021; у відредагованій формі 18 грудня 2021; опубліковано online 20 грудня 2021
Посилання B. Abdallah, M. Kakhia, W. Alssadat, W. Zetoune, Ж. нано- електрон. фіз. 13 № 6, 06032 (2021)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.13(6).06032
PACS Number(s) 74.25.Ld, 81.15.Fg, 82.45.Bb, 81.10.Aj
Ключові слова Плівка NbN, Вплив потужності, Структурний (11) , Корозія (4) , Електричні характеристики (2) .
Анотація

В статті вивчено нанесення тонких плівок нітриду ніобію (NbN) на підкладки з нержавіючої сталі (SS304) і кремнію (100) за допомогою методу магнетронного розпилення при постійному струмі та різних потужностях від 100 до 150 Вт. Структура плівки аналізується за допомогою рентгенівської дифракції (XRD); дифракційні картини показують, що плівки мають переважну орієнтацію (111), що відповідає фазі кубічної структури. Для дослідження складу підготовлених плівок використовуються метод пружного зворотного розсіювання Резерфорда (RBS) та енергодисперсійне рентгенівське випромінювання (EDX). Морфологія поверхні плівок досліджується за допомогою зображень, отриманих скануючою електронною мікроскопією (SEM) та атомно-силовою мікроскопією (AFM). Зображення AFM уточнюють зміни морфології, особливо шорсткість залежно від потужності; отримано, що шорсткість зменшується зі збільшенням товщини плівки, а також потужності. Показники корозії та мікротвердості плівок пов'язані та приписуються кристалічності зразків, яка змінюється залежно від потужності. Корозійна стійкість плівок NbN на підкладках з SS304 підвищується. Ці привабливі результати можуть дозволити використання отриманих плівок в області медичних інструментів або обладнання (еквівалент сольової сироватки). Електричні вимірювання (C-V та I-V) плівок, нанесених при потужності 100 Вт, підтверджують потенційне електричне застосування плівок NbN, нанесених методом розпилення при постійному струмі.

Перелік посилань