Отримання плівок карбіду кремнію методом магнетронного розпилення складового вуглець-кремнієвої мішені

Автори В.І. Перекрестов , Г.С. Корнющенко , І.В. Загайко
Приналежність

Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна

Е-mail innasahaiko@ukr.net
Випуск Том 7, Рік 2015, Номер 2
Дати Одержано 21.01.2015, опубліковано online - 10.06.2015
Посилання В.І. Перекрестов, Г.С. Корнющенко, І.В. Загайко, Ж. нано- електрон. фіз. 7 № 2, 16 (2015)
DOI
PACS Number(s) 81.15.Cd, 61.50.Nw, 68.55.Nq
Ключові слова MS карбід кремнію, Магнетронне розпилення (15) , Складова мішені, Малі пересичення, Стехіометрія (5) , Фазовий склад (33) , Елементний склад (9) .
Анотація У роботі проаналізовано відомі методи отримання конденсатів SiC, політипу цього з'єднання, а також запропонована методика отримання карбіду кремнію за допомогою магнетронного розпилення складових мішеней. Наведено розрахунки оптимальних геометричних характеристик складеної з кремнію і графіту мішені для магнетронного розпилення. За результатами дослідження структури конденсатів SiC за допомогою ПЕМ і дифракції електронів, а також на підставі визначення елементного складу при використанні енерго-дисперсійного аналізу були уточнені геометричні характеристики складової мішені, а також встановлені оптимальні технологічні умови отримання конденсатів у вигляді політипу 3С-SiC, з близьким до стехіометричного елементним складом.

Перелік посилань

English version of article