Текстурування кремнієвої підкладки нанопорами та нанонитками Si для антивідбивних поверхонь сонячних елементів

Автори А.О. Дружинін , В.Ю. Єрохов, С.І. Нічкало, Є.І. Бережанський, М.В. Чекайло
Приналежність

Національний університет “Львівська політехніка”, вул. С. Бандери, 12, 79013 Львів, Україна

Е-mail
Випуск Том 7, Рік 2015, Номер 2
Дати Одержано 16.04.2015, опубліковано online - 10.06.2015
Посилання А.О. Дружинін, В.Ю. Єрохов, С.І. Нічкало, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 7 № 2, 02030 (2015)
DOI
PACS Number(s) 42.79.Wc, 84.60.Jt
Ключові слова Антивідбивне покриття, Пористий кремній (10) , Сонячний елемент (32) , Нанонитки Si, Текстурування поверхні, Електрохімічне травлення (12) , Фотоелектричний перетворювач (4) .
Анотація Показано перспективність отримання функціонального багатошарового антивідбивного покриття фронтальної поверхні типу “Black Si” фотоелектричних перетворювачів шляхом текстурування кремнієвої поверхні методом електрохімічного травлення. Представлено фізичну модель і технологічні аспекти отримання функціонального антивідбивного покриття типу “Black Si” з дискретною неоднорідністю показника заломлення. Наведено результати вивчення спектральних характеристик отриманого багатошарового мультипористого покриття типу “Black Si” для кремнієвих сонячних елементів методом електрохімічного травлення. Показано можливість створення текстури поверхні кремнієвої пластини з використанням нанониток кремнію, а також впорядкованих нанопор, отриманих методом метал-індукованого хімічного травлення.

Перелік посилань