Вплив потенціалу зміщення на фазовий склад, структуру, субструктуру і механічні характеристики багатошарової системи TiN / ZrN, отриманої вакуумно-дуговим випаровуванням
| Автори | О.В. Соболь1 , А.О. Андреев2 , В.А. Столбовий2 , В.Ф. Горбань3 , Н.В. Пінчук1 , А.О. Мейлехов1 |
| Приналежність | 1 НТУ «Харківський політехнічний інститут», вул. Фрунзе, 21, 61002 Харків, Україна 2 ННЦ «Харківський фізико-технічний інститут», вул. Академічна, 1, 61108 Харків, Україна 3 Інститут проблем матеріалознавства НАН України, вул. Кржижановського, 3, 03142 Київ, Україна |
| Е-mail | sool@kpi.kharkov.ua |
| Випуск | Том 7, Рік 2015, Номер 2 |
| Дати | Одержано 10.12.2014, опубліковано online - 10.06.2015 |
| Посилання | О.В. Соболь, А.О. Андреев, В.А. Столбовий, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 7 № 2, 02035 (2015) |
| DOI | |
| PACS Number(s) | 81.07.Bc, 61.05.сp, 68.55.jm, 61.82.Rx |
| Ключові слова | Вакуумно-дугового метод (2) , Тиск (29) , Потенціал зсуву (7) , ZrN (8) , TiN (97) , Текстура (11) , Субструктура (7) , Мікродеформація (5) , Розмір кристалітів (6) , Твердість (64) , Модуль пружності (12) . |
| Анотація | Вивчено вплив постійного та імпульсного негативного потенціалів зсуву, що подаються на підкладку в процесі осадження на фазовий склад, структуру, субструктуру і механічні характеристики багатошарових покриттів ZrN/TiN з товщиною бішару 50-200 нм. Встановлена двофазність одержуваного покриття з ZrN і TiN фаз з ГЦК решіткою структурного типу NaCl, без істотного перемішування і втрати планарності шарів. Використання високовольтних імпульсів дозволяє в значній мірі змінювати структуру і властивості при Ub < 100 В. При більшому значенні Ub, постійний потенціал стає визначальним для структурної інженерії покриття. Показано, що найбільша твердість притаманна покриттям отриманим при Ub = – 140...– 150 В, при цьому H/E досягає великої величини 0,14, що складно отримати в одношарових покриттях. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) AC Impedance Analysis of the Al/ZnO/p-Si/Al Schottky Diode: C-V Plots and Extraction of Parameters [02001-1-02001-4]2) Surface Potential and Threshold Voltage Model of Fully Depleted Narrow Channel SOI MOSFET Using Analytical Solution of 3D Poisson’s Equation [02002-1-02002-5]
3) Deformed Quantum Energy Spectra with Mixed Harmonic Potential for Nonrelativistic Schrödinger Equation [02003-1-02003-6]
4) Overview of Nanotechnology in Road Engineering [02004-1-02004-6]
5) Вплив типу розподілу міжатомних відстаней на функцію радіального розподілу аморфних речовин [02005-1-02005-5]
6) Design and Modeling of an Integrated Inductor in a Buck Converter DC-DC [02006-1-02006-6]
7) Optimization of Band Gap and Thickness for the Development of Efficient n-i-p+ Solar Cell [02007-1-02007-7]
8) Вплив температури відновлення оксида графена на низькотемпературну сорбцію водню [02008-1-02008-4]
9) Порівняння способів одержання сферичних наночастинок магнетитув полісахаридних оболонках [02009-1-02009-6]
10) Дослідження польових та температурних залежностей опору нанокарбонів, модифікованих нікелем та кобальтом [02010-1-02010-6]
11) Електрохімічні властивості легованих азотом наноструктурних алмазних покриттів, що синтезовані в плазмі тліючого розряду постійного струму [02011-1-02011-5]
12) Літієвий ферит у ролі катоду хімічних джерел струму: перспективи застосування золь-гель методу синтезу [02012-1-02012-7]
13) Структура і елементний склад плівок Pb1 – xSnxS [02013-1-02013-7]
14) Електронні властивості кристалу цирконію з вакансіями та динаміка вакансій: ab-initio розрахунки та молекулярна динаміка [02014-1-02014-7]
15) Модернізований метод усереднених характеристик для розв’язування задач мультигармонічних резонансних взаємодій у пристроях сильнострумової електроніки [02015-1-02015-8]
16) Отримання плівок карбіду кремнію методом магнетронного розпилення складового вуглець-кремнієвої мішені [02016-1-02016-5]
17) Пористий вуглецевий матеріал з рослинної сировини як поляризаційна складова електродів суперконденсаторів [02017-1-02017-3]
18) Енергетичні характеристики металевої наноплівки в діелектричному оточенні [02018-1-02018-5]
19) Про моделювання умов збудження черенковського та дифракційного випромінювань на періодичних металодіелектричних структурах [02019-1-02019-9]
20) Кристалографічний та орієнтаційний характер нанокристалітів у тонкоплівкових конденсатах PbTe-Bi2Te3 на ситалі [02020-1-02020-8]
21) Високочастотна провідність вуглецевих нанотрубок zigzag-конфігурації [02021-1-02021-6]
22) Структуровані нанооб'єкти політетрафторетиленових композитів [02022-1-02022-9]
23) Analysis of the p-i-n-structures Electrophysical Characteristics Influence on the Spectral Characteristics Sensitivity [02023-1-02023-5]
24) Застосування обробки в магнітному полі для низькозатратного підвищення ККД кремнієвих фотоелектричних перетворювачів [02024-1-02024-4]
25) Вплив нанонаповнених полімерних покриттів і магнітного поля на кінетику спаду фото-ЕРС в кристалах кремнію, що використовуються в сонячній енергетиці [02025-1-02025-5]
26) Fabrication and Characterization of ZnSCubic : P3HT, ZnSHexa : P3HT and ZnSHexa : P3HT:PVA-Ag Bulk Heterojunction Solar Cells [02026-1-02026-6]
27) Енергетичний метод пошуку констант розподілу вектора антиферомагнетизму для системи антиточок у двопідгратковому антиферомагнетику [02027-1-02027-9]
28) Окислення поверхні та швидка дифузія 18O-імпланту в наноструктурованих шарах сплаву Ti-6Al-4V [02028-1-02028-5]
29) Extracted Electronic Parameters of a Novel Ag/SnO2:In/Si/Au Schottky Diode for Solar Cell Application [02029-1-02029-4]
30) Текстурування кремнієвої підкладки нанопорами та нанонитками Si для антивідбивних поверхонь сонячних елементів [02030-1-02030-6]
31) Наноелектроніка: ефект Хола і вимірювання електрохімічних потенціалів в концепції «знизу-вгору» [02031-1-02031-15]
32) Fe-doped SnO2: A Quantum-chemical Approach [02032-1-02032-3]
33) Внутрішній розмірний ефект у полікристалічних плівках легкоплавких металів [02033-1-02033-6]
34) Формування багатокомпонентних захисних покриттів на нікелі: структура, фазоутворення, фізико-хімічні властивості [02034-1-02034-7]
35) Напівпровідникові наноматеріали і нанокристали [02036-1-02036-12]
36) Моделювання робочих характеристик сонячного елементу зі структурою p+-CuO / p-ZnTe / n-CdSe / n-MoSe2 / Mo [02037-1-02037-5]
37) Вплив експериментального зневоднення організму на структурні характеристики мінералу губчастої кісткової тканини [02038-1-02038-5]
38) Slab Waveguide Sensor with Left-handed Material Core Layer for Detection an Adlayer Thickness and Index [02039-1-02039-6]
39) Адгезійна міцність багатоелементних покриттів системи (TiNbCrZrSi)N [02040-1-02040-5]
40) Вплив іонів Ce3 + на інфрачервоне випромінювання Ca3Sc2Si3O12, легованого іонами Eu2 + [02041-1-02041-5]
41) Вплив високовольтного імпульсного потенціалу, що подається на підкладку, на фазовий склад і структуру вакуумно-дугових покриттів TiN [02042-1-02042-5]
42) Conduction Mechanisms in Polypyrrole-Copper Nanocomposites [02043-1-02043-4]
43) Тунельна провідність надпровідного індію в пористому склі [02044-1-02044-4]
