Автори | В.М. Латишев, А.С. Корнющенко, В.І. Перекрестов |
Афіліація | Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна |
Е-mail | latyshev.mail@ya.ru |
Випуск | Том 6, Рік 2014, Номер 4 |
Дати | Одержано 12.02.2013, опубліковано online - 29.11.2014 |
Цитування | В.М. Латишев, А.С. Корнющенко, В.І. Перекрестов, Ж. нано- електрон. фіз. 6 № 4, 04023 (2014) |
DOI | |
PACS Number(s) | 81.15.Cd, 81.05.Bx, 81.05.Dz |
Ключові слова | Нанонитки (2) , Наносистеми (4) , Цинк (49) , Оксид цинку (23) , Окислення (13) , Магнетронне розпилення (15) , Пересичення (6) , Zn (138) , ZnO (92) . |
Анотація | Вивчені закономірності формування наносистем цинку при конденсації слабко пересичених парів у високочистому інертному середовищі при варіюванні таких технологічних параметрів, як потужність розряду магнетронного розпилювача та тиск робочого газу (Ar). За допомогою рентгенофазового аналізу і РЕМ-досліджень з’ясовано, що найбільш тонкі та взаємозв’язані нанонитки цинку формуються при тиску робочого газу 12 Па і потужності магнетронного розпилювача 30 Вт. Показано, що процеси окислення наносистем цинку з максимально можливим збереженням морфології вихідних структур можливі при використанні в якості окислювального середовища суміші газів CO2 і O2. |
Перелік посилань English version of article |