Отримання та деякі особливості окислення наносистем Zn

Автори В.М. Латишев, А.С. Корнющенко, В.І. Перекрестов
Приналежність

Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна

Е-mail latyshev.mail@ya.ru
Випуск Том 6, Рік 2014, Номер 4
Дати Одержано 12.02.2013, опубліковано online - 29.11.2014
Посилання В.М. Латишев, А.С. Корнющенко, В.І. Перекрестов, Ж. нано- електрон. фіз. 6 № 4, 04023 (2014)
DOI
PACS Number(s) 81.15.Cd, 81.05.Bx, 81.05.Dz
Ключові слова Нанонитки (2) , Наносистеми (4) , Цинк (40) , Оксид цинку (17) , Окислення (13) , Магнетронне розпилення (15) , Пересичення (6) , Zn (132) , ZnO (88) .
Анотація Вивчені закономірності формування наносистем цинку при конденсації слабко пересичених парів у високочистому інертному середовищі при варіюванні таких технологічних параметрів, як потужність розряду магнетронного розпилювача та тиск робочого газу (Ar). За допомогою рентгенофазового аналізу і РЕМ-досліджень з’ясовано, що найбільш тонкі та взаємозв’язані нанонитки цинку формуються при тиску робочого газу 12 Па і потужності магнетронного розпилювача 30 Вт. Показано, що процеси окислення наносистем цинку з максимально можливим збереженням морфології вихідних структур можливі при використанні в якості окислювального середовища суміші газів CO2 і O2.

Перелік посилань

English version of article